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公开(公告)号：CN106918990A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201611114494.1
申请日：2016-12-06
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/039 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08F2220/282 , C08F2220/286 , G03F7/004 , G03F7/0035
Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：具有由式(I)表示的结构单元的树脂：其中，R1表示氢原子、卤原子、或任选具有卤原子的C1至C6烷基，且R2表示任选具有取代基的C1至C42烃基；碱溶性树脂；酸生成剂；和溶剂。
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公开(公告)号：CN101125824B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN200710140077.9
申请日：2007-08-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/02 , C07C381/12 , G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07D307/93 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , Y10S430/122
Abstract: 本发明提供一种式(I)表示的锍化合物，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。
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公开(公告)号：CN102023482A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010283695.0
申请日：2010-09-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046
Abstract: 本发明提供一种光刻胶组合物，包含产酸剂和树脂，所述树脂含有衍生自式(I)表示的单体的结构单元：其中R1表示氢原子等，R2表示氢原子或C1-C4烷基，A1表示单键等，B1表示：式(1a)表示的基团：其中R3、R4和R5各自独立地表示C1-C16脂肪族烃基，并且R4和R5可以相互键合以与键合R4和R5的碳原子一起形成C3-C18环，具有内酯结构的C4-C20饱和环状基团，或者具有至少一个羟基的C5-C20饱和环烃基。
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公开(公告)号：CN113227211A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980086116.2
申请日：2019-12-24
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明提供具有高弹性模量及低湿度膨胀系数的光学膜。一种包含重均分子量为200,000～1,000,000的聚酰胺系树脂的光学膜，所述聚酰胺系树脂至少具有式(1)表示的结构单元及式(3)表示的结构单元。式(1)中，Ar1表示具有碳原子数为1～12的氟烷基的2价芳香族基团，X1表示2价有机基团。式(3)中，Z1表示Ar1，或者表示并非Ar1的2价有机基团，Ar1与前述式(1)中的定义相同，X2表示2价有机基团，其中，在Z1表示Ar1的情况下，式(1)中的X1与式(3)中的X2相互不同。
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公开(公告)号：CN102890416A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210251309.9
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法。所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包括由式(I)表示的结构单元的树脂，和酸生成剂，其中R1、A1、R2、Rb1、Rb2、Lb1、环Wb1、Rb3、Rb4、m和Z1+如说明书中限定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102890407A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210250658.9
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，酸生成剂，和由式(II)表示的化合物，其中R1、A1、A13、A14、X12、R23、R24、R25、R26、X21和X22如说明书中限定。
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公开(公告)号：CN102736417A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210138439.1
申请日：2012-04-11
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0046 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，其包括由式(I)表示的盐：其中R1和R2独立地每一个表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X1表示C1-C17二价饱和烃基团，等，s1表示1或2，和t1表示0或1，前提是s1和t1的和是1或2，R3表示C1-C12饱和烃基团，等，u1表示0-8的整数，和(Z1)+表示有机阳离子，由式(II-0)表示的盐其中R4表示C1-C24烃基团等，X2表示C1-C6烷烃二基基团等，和(Z2)+表示有机阳离子，和树脂，其在碱水溶液中是不溶的或可溶性差的但在酸的作用下变得可溶于碱水溶液。
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公开(公告)号：CN102167677A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110039458.4
申请日：2011-02-15
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C381/12 , C07C25/18 , C07C309/17 , C07D303/16 , C07D305/06 , C07D307/12 , C07D309/06 , C07D407/04 , C07D493/04 , C07D333/46 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: C07C381/12 , C07C303/32 , C07C309/06 , C07C309/12 , C07C309/19 , C07D303/12 , C07D303/17 , C07D303/40 , C07D305/06 , C07D317/72 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , G03F7/38 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供盐和含有该盐的光致抗蚀剂组合物。所述盐是由式(I)表示的盐，其中R1和R2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X1表示C1-C17二价饱和烃基，所述C1-C17二价饱和烃基可以具有一个或多个氟原子，并且其中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，R3表示具有环醚结构的基团，并且Z1+表示有机阳离子。
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公开(公告)号：CN101955476A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010230018.2
申请日：2010-07-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07D317/72 , C07D319/08 , C07D339/06 , C07D497/10 , C07D493/10 , C07D493/22 , C07D495/22 , C07C381/12 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: C07C25/18 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供一种盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物。所述盐具有由式(aa)表示的二价基团，其中Xa和Xb各自独立地表示-O-或-S-，Ra、Rb、Rc和Rd各自独立地表示氢原子、C1-C4烷基或C1-C4烷氧基，并且m表示1或2。
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公开(公告)号：CN111381295A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201911360850.1
申请日：2019-12-24
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供即使受到冲击、也能有效地抑制反射L*及a*的变化的光学膜。本发明的解决手段为下述光学膜，其屈服点应变为1.60％以上，弹性模量为5.0GPa以上，以及，全光线透过率为89％以上。
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