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公开(公告)号：CN1841201B
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200610077420.5
申请日：2006-03-29
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC classification number: C07D307/33 , C07C381/12 , C07D307/77 , C08K5/42 , G03F7/0045
Abstract: 本发明提供一种式(I)的盐：其中环Y代表含有3—30个碳原子的单环或多环烃基，其中一个-CH2-基团被-COO-基团取代，以及单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1—6个碳原子的烷基、含有1—6个碳原子的烷氧基、含有1—4个碳原子的全氟烷基、含有1—6个碳原子的羟基烷基、羟基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地代表氟原子或含有1—6个碳原子的全氟烷基；A+代表有机抗衡离子；n表示0—12的整数。本发明还提供含有式(I)盐的化学放大的抗蚀组合物。
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公开(公告)号：CN101003591A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200610168220.0
申请日：2006-12-26
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: C08F220/38 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08J3/075
Abstract: 本发明提供一种树脂，该树脂通过照射产生酸并且是有机阳离子和阴离子聚合物的盐，其中阴离子聚合物没有碳－碳不饱和键。本发明还提供包含该树脂的化学放大光刻胶组合物。
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公开(公告)号：CN1955844A
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200610121843.2
申请日：2006-08-25
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14
Abstract: 本发明提供一种式(I)的盐，式中X表示含有1至30个碳原子的无环烃的二价或三价残基，或者含有单环或双环的含有3至30个碳原子的烃的二价或三价残基，其中所述烃中的－CH2－可以被－O－取代，并且X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至6个碳原子的羟烷基、羟基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；Y表示羟基、氰基或甲氧基；并且n表示1或2。本发明还提供一种包含式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN101086620B
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN200710108240.3
申请日：2007-06-04
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/108 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供一种式(I)表示的盐，其中，X表示n-价连接基团，Y1和Y2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，n表示2或3，并且A+表示有机抗衡离子。本发明进一步提供一种含有上述式(I)表示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN101003591B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200610168220.0
申请日：2006-12-26
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: C08F220/38 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08J3/075
Abstract: 本发明提供一种树脂，该树脂通过照射产生酸并且是有机阳离子和阴离子聚合物的盐，其中阴离子聚合物没有碳-碳不饱和键。本发明还提供包含该树脂的化学放大光刻胶组合物。
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公开(公告)号：CN1955844B
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200610121843.2
申请日：2006-08-25
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14
Abstract: 本发明提供一种式(I)的盐，式中X表示含有1至30个碳原子的无环烃的二价或三价残基，或者含有单环或双环的含有3至30个碳原子的烃的二价或三价残基，其中所述烃中的-CH2-可以被-O-取代，并且X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至6个碳原子的羟烷基、羟基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；Y表示羟基、氰基或甲氧基；并且n表示1或2。本发明还提供一种包含式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN101125823A
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200710140073.0
申请日：2007-08-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/02 , C07C381/12 , G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07D307/93 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , Y10S430/122
Abstract: 一种式(I)表示的盐，其中，X表示C1－C12二价直链或支链烃基，Y表示可以被至少一个取代基取代的C1－C30烃基，并且在所述C1－C30烃基中的至少一个－CH2－可以被－O－或－CO－取代，Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1－C6全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。本发明还提供一种含有上述式(I)表示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN101125824B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN200710140077.9
申请日：2007-08-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/02 , C07C381/12 , G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07D307/93 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , Y10S430/122
Abstract: 本发明提供一种式(I)表示的锍化合物，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。
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公开(公告)号：CN101125823B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN200710140073.0
申请日：2007-08-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/02 , C07C381/12 , G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07D307/93 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , Y10S430/122
Abstract: 一种式(I)表示的盐，其中，X表示C1-C12二价直链或支链烃基，Y表示可以被至少一个取代基取代的C1-C30烃基，并且在所述C1-C30烃基中的至少一个-CH2-可以被-O-或-CO-取代，Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。本发明还提供一种含有上述式(I)表示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN1955846B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200610142477.9
申请日：2006-10-26
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: C07C381/12 , C07C25/18 , C07C309/17 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0395 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中环X表示含有3至30个碳原子的单环或双环烃基，并且环X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷基、含有2至6个碳原子的烯基、含有2至6个碳原子的烷氧基或含有1至4个碳原子的全氟烷基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；并且n表示1至12的整数。本发明还提供包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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