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公开(公告)号:CN1968815B
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN200580019601.6
申请日:2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/038 , B41J2/1603 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2002/14475 , Y10T29/49401
Abstract: 根据本发明,一种用于制造排液头的方法包括步骤:在其上排列有能量产生元件(2)以产生用于排出液体的能量的基板(1)上,形成用于形成流路的固体层(3);在其上设置有固体层的基板上形成用于覆盖固体层的涂层(4);在沉积在固体层的涂层中通过光刻工艺形成用于排出液体的排出口(7);和去除固体层以形成与能量元件和排出口连通的流路(8),其中用于涂层的材料包含阳离子聚合性化合物,阳离子光聚合反应引发剂和阳离子光聚合反应的抑制剂,和其中固体层的材料包含甲基丙烯酸和甲基丙烯酸酯的共聚物,所述固体层与其中形成涂层的排出口的那部分形成边界。
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公开(公告)号:CN102770273A
公开(公告)日:2012-11-07
申请号:CN201180010907.0
申请日:2011-03-28
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/164 , B41J2/1645 , B41J2002/14475
Abstract: 一种制造液体排出头的方法,所述液体排出头具有与用于排出液体的排出口相连通的流路,该方法按下述顺序包括:准备基板,该基板具有作为平坦层的平坦地设置的第一层;由第一层形成流路的图案以及构件(A),该图案用于形成流路,构件(A)与图案之间隔着间隙设置于图案的外侧;设置第二层,该第二层填充间隙并覆盖图案和构件(A);在图案上方由第二层形成用于形成排出口的构件(B);去除构件(A),至少在基板上设置保持与构件(B)密切接触的第三层;以及去除图案以形成流路。
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公开(公告)号:CN101204880B
公开(公告)日:2012-04-04
申请号:CN200710160045.5
申请日:2007-12-21
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/162 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2002/14475 , B41J2202/11 , G03F1/00 , G03F1/50 , G03F1/70
Abstract: 本发明提供了制造液体排出头的方法,该液体排出头包括生成用于排出液体的能量的能量生成元件、和配备在面对能量生成元件的位置上并具有用于排出液体的排出口的排出部分。该方法包括如下步骤:在基板上形成用于形成排出口的构件的负光敏树脂层,以及将该层曝光于i线,以便形成在从基板到排出口的方向上变尖的排出部分,其中,对于用于曝光的光,该层具有每1μm厚度大约0.02到大约0.07的吸光度。
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公开(公告)号:CN101437684A
公开(公告)日:2009-05-20
申请号:CN200780015905.4
申请日:2007-05-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/14
CPC classification number: B41J2/1404 , B41J2/1603 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1635 , B41J2/1639 , B41J2202/11
Abstract: 一种喷墨头,包括:基板,其具有墨供应口;喷射出口,其用于喷射通过墨供应口供应的墨;流路部,其提供墨供应口和喷射出口之间的流体连通;其中,流路部包括靠近基板的近部(6A)和远离基板的远部(6B),在垂直于墨流动方向的截面上,近部的宽度与远部的宽度不同,并且,在近部和远部之间设置台阶部。
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公开(公告)号:CN1977219A
公开(公告)日:2007-06-06
申请号:CN200580021473.9
申请日:2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1404 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2202/11 , G03F7/095 , Y10T29/49401
Abstract: 一种用于制造微细结构的方法,包括:形成要由第一波长范围的致电离辐射曝光的第一致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤;在第一正性光敏材料层上形成要由第二波长范围的致电离辐射曝光的第二致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤;通过在作为上层的上述第二正性光敏材料层中进行分解反应而不在上述第一正性光敏材料层中进行分解反应,并用显影液进行显影,从而在所述第二正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤;以及,通过在预定区域中进行分解反应并进行显影,在作为下层的所述第一正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤。从而,在所述衬底中制造出凸形图案。
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公开(公告)号:CN1951696A
公开(公告)日:2007-04-25
申请号:CN200610136289.5
申请日:2006-10-17
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1404 , B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , Y10T29/49401
Abstract: 一种液体排送头,其包括:基底,其具有能量发生元件,用于产生排送液体所需的能量;排送端口,其用于排送液体,并被设置成与能量发生元件成相对的关系;壁板构件,其围成了腔室,该腔室适于存贮由能量发生元件产生的、排送液体所需的能量;排送部分,其形成了连接腔室与排送端口的流体通路;供应通路,其便于将液体输送到所述腔室中;以及成对的中空部分,它们被设置在壁板构件中,其中,中空部分相互对置,且在从排送端口到基底的方向上,中空部分至少夹置着整个排送端口,且中空部分与腔室是独立的。
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