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公开(公告)号：CN103217869B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201310105336.X
申请日：2013-03-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种用于激光等离子体极紫外光源的雾状液体锡靶发生器，包括容器、振杆、喷嘴、加热系统、加压系统和冷却机构；喷嘴上有以喷嘴中心为对称点呈中心对称且均匀分布的微孔，微孔出口端的直径大于入口端的直径，各微孔从不同的角度指向到激光作用点。加热系统让在常温下呈固态的锡材熔化成为液态；振杆的振动使液体由连续液流碎裂成液滴；加压系统用来给容器加高压，让液体从喷嘴极小的微孔中喷出并形成浓雾状；激光束通过透镜的聚焦打在汇聚的液体喷雾上产生EUV辐射；真空系统通过机械泵将靶室内抽真空。本发明喷射靶靶材喷射距离远，对喷嘴和收集镜等光学元件的影响小，对激光吸收效率和EUV转换效率较高，系统稳定性好，更适合工业上大规模生产。
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公开(公告)号：CN103105740B
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201310015937.1
申请日：2013-01-16
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种极紫外光源产生装置，包括聚焦透镜、电机、轴承、温度控制器、液体靶材、器皿和固体靶材；固体靶材位于聚焦透镜的焦平面上，器皿用于放置液体靶材，器皿位于固体靶材的下方，固体靶材部分浸入液体靶材中；温度控制器用于给器皿中的液体靶材加热使之保持液态；轴承位于固体靶材的中心，电机与轴承相连，电机用于驱动固体靶材绕轴承转动，固体靶材转动时粘附液体靶材；工作时，激光光束通过聚焦透镜聚焦后轰击粘附在所述固体靶材上方的液体靶材，激光与液体靶材相互作用产生等离子体，等离子体辐射出极紫外光。本发明能够极大的消除碎屑对反射镜以及其他光学元件的污染；能提高其产生EUV的稳定性；成本低；技术实现容易。
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公开(公告)号：CN103001108B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201210513358.5
申请日：2012-12-03
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/08
Abstract: 本发明公开了一种准分子激光再生放大器，包括依次位于同一光路上的第一反射镜、第一波片、耦合镜、放大腔、第二波片和第二反射镜；第一、第二波片均为四分之一波片，第一、第二反射镜为全反镜，且其反射面均朝向放大腔，耦合镜与放大腔的光轴之间的夹角等于耦合镜的布鲁斯角的余角。本发明通过在放大器内放置波片使输入光与输出光尽管位于耦合镜两侧，方向相同，但两者被很好地隔离，利于消除再生放大腔对主振荡器的影响，并且结构简单，便于调整，能够充分提取放大腔中的能量。
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公开(公告)号：CN103036146B
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201210493440.6
申请日：2012-11-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S5/042
Abstract: 一种准分子激光器脉冲电源，属于脉冲功率技术，解决现有脉冲电源中高压磁开关需要较复杂复位电路的问题，以简化电路结构，提高可靠性。本发明包括IGBT开关管、开关管驱动电路、一级磁开关、直流偏置电流源、可饱和脉冲变压器和二级磁开关。本发明在一级磁开关压缩电路设置直流偏置电流源，可控制调节初级储能电路能量转移效率、脉冲压缩宽度以及脉冲延时；利用可饱和脉冲变压器次级绕组和二级磁开关两端充放电电压方向相反的特殊性，省去了磁芯复位电路，两级磁开关均可在长期高重复率条件下工作，具有较强的通流能力和较高的耐压承受等级，故障率极低且基本免维护；特别适用于要求精准延时控制的光刻用短脉冲放电激励的气体激光器。
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公开(公告)号：CN103744197A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201310740490.4
申请日：2013-12-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于激光脉冲整形的等离子体开关，该等离子体开关的背景气体中混有易电离的气体，并使气体能够处于不断流动的状态，开关中还放置有冷却装置。易电离的气体可以为三乙胺。开关的具体结构包括真空腔，以及位于真空腔内的第一透镜、第二透镜、风扇和热交换器；第一透镜、第二透镜为两个相同的ZnSe透镜，真空腔上开有两个正对的观察窗，用于激光的输入和输出；真空腔的两个观察窗的中心，与第一透镜、第二透镜的中心在一条直线上，且两透镜间的距离为2f，f为透镜的焦距。本发明与现有等离子体开关的优势是在缩短脉宽的同时，保证了较高的激光透过率，从而使输出脉冲有较高的峰值功率，并提高了装置的重复率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102680451B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201210136681.5
申请日：2012-05-04
Applicant: 华中科技大学 , 武汉四方光电科技有限公司
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明公开了一种基于振动充气装置并配合锁相放大器来去除气体拉曼散射中毛细管等产生的背景噪声的装置和方法。它包括振动装置和锁相放大处理方法。振动装置产生的振动使玻璃毛细管中的气体产生微小波动，改变毛细管内的气体分子数大小，获得以固定频率波动的气体分子拉曼散射信号。锁相放大器通过信号发生器提供的参考频率将以该频率波动的气体分子拉曼散射信号从总的拉曼散射信号中提取出来。本发明克服了拉曼气体分析检测过程中背景散射噪声对测量结果的影响，解决了各种装置无法彻底去除背景噪声的缺陷。本发明提供的气体拉曼散射检测装置系统结构简单，操作方便，具有很强的实用性。
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公开(公告)号：CN103066490A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210534934.4
申请日：2012-12-11
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种光纤碱金属蒸汽激光器，包括空芯光子晶体光纤、第一单模光纤、第二单模光纤、刻蚀于第一单模光纤上的第一布拉格光栅、刻蚀于第二单模光纤上的第二布拉格光栅以及与第一单模光纤连接的泵浦光源；工作物质均匀填充于空芯光子晶体光纤中，泵浦光源出射的泵浦光通过第一单模光纤耦合作用于工作物质并产生受激种子激光，受激种子激光在第一布拉格光栅和第二布拉格光栅组成的谐振腔内来回振荡增益，并从第二单模光纤输出连续的激光。本发明提供的光纤碱金属蒸汽激光器对光路的准直性要求低；谐振腔与工作物质一体化的设计免调节、免维护、稳定性高；整个设计体积小、重量轻，紧凑性好，利于移动；光纤端面输出激光利于与外部光路耦合。
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公开(公告)号：CN103064260A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210533926.8
申请日：2012-12-10
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于极紫外光刻机光源的锡液滴靶产生装置；该锡液滴靶产生装置包括第一储液器、压力装置、恒温控制器、真空喷射室、喷孔和均匀扰动装置；喷孔位于第一储液器底部与真空喷射室顶部之间，使得第一储液器与真空喷射室连通；在第一储液器与真空喷射室压力差的作用下，液体从喷孔喷出并形成射流柱；均匀扰动装置给第一储液器中的液体施加均匀扰动并使得射流柱断裂形成均匀液滴靶。本发明克服了气体靶的靶材密度对激光致等离子体极紫外辐射转换效率的限制，也相当大部分的改善了固体靶的靶材碎屑对光学元件的损伤；本发明产生的靶材液滴均匀、稳定，大小可控，方法简单可靠。
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公开(公告)号：CN103063411A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210544766.7
申请日：2012-12-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种高功率线偏振激光光束性能的测量装置；包括第一楔形镜，第一探测器和第二探测器；线偏振激光以布儒斯特角入射至第一楔形镜的外反射面上，入射光偏振方向在入射面内，反射光束光强为零，适当使楔形镜的外反射面有微小偏转，有少量激光经第一楔形镜的外反射面的反射光由第一探测器进行测量，经第一楔形镜的内反射面的反射光由第二探测器进行测量。而大部分透射的激光能量经过第二楔形镜后实现光斑无放大出射，其偏振特性不受影响。本发明采用楔形镜对入射激光进行分光，能够降低反射光束的能量及保持透射光束的偏振性，对激光光束多个参数进行同时测量。
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公开(公告)号：CN103049028A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210494571.6
申请日：2012-11-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: G05F1/56
Abstract: 一种用于高压磁开关复位的恒流源，属于功率电子技术，解决现有恒流源缺乏高压隔离电路的问题，以用于高电压脉冲场合。本发明包括全桥逆变器、谐振电路、整流桥、高频滤波电路、反馈电路和控制电路。本发明利用MOS场效应管工作在零电流状态，使得输入的能量可以近乎无损耗地传输给串联谐振电路；通过调节MOS场效应管周期可以调节输出电流的大小，输出具有恒流源的特性，无须在输出端提供额外的镇流电阻；采用由滤波电感、滤波电容、隔离二极管和钳位二极管组成的高频滤波电路，阻断了脉冲电源中磁开关或变压器的复位电路中耦合的高压脉冲的影响，确保了恒流源的安全性。
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