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公开(公告)号：CN1516909A
公开(公告)日：2004-07-28
申请号：CN03800411.9
申请日：2003-01-31
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/02338 , H01P1/127 , H01P1/20 , H01P1/2013 , H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/2405 , H03H9/462 , H03H2009/02511 , Y10S977/733
Abstract: 提供一种适应于高频波段的小型、高性能的机械振动式滤波器。通过选取使机械振子微小化的微圆柱梁5，使机械共振频率高频化，并将多个微圆柱梁5排列成阵列状，在各微圆柱梁5的周围以预定的间隙配置共用检测电极6来抑制输出信号下降。另外，通过限制一部分机械振子的振动，能够观测并消除从输入信号到输出信号的伴随直接电磁耦合的噪声成分。
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公开(公告)号：CN1484266A
公开(公告)日：2004-03-24
申请号：CN03152236.X
申请日：2003-07-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 本发明揭示一种开关。将其活动电极上、下方向的驱动分开，以确保信号传递效率和绝缘性，而且进行信号通断的高速动作。该开关由活动电极、位于活动电极下部的固定电极和位于活动电极长边方向两侧面的活动电极驱动用的固定电极组成。活动电极的侧面形成凹部和凸部，并且在两端隔着空间配置具有对应的凹部和凸部的固定电极。
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公开(公告)号：CN1476033A
公开(公告)日：2004-02-18
申请号：CN03133185.8
申请日：2003-07-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , H01G5/40 , H01H2001/0078 , H01H2059/0027
Abstract: 本发明提供一种开关，它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第1根梁及第2根梁及第3根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极4～9，靠静电力使各梁1～3的位置变化、使梁1～3间的电容量变化。通过使第1根梁1及第2根梁2间产生静电力，使两根梁都可动，从而梁1、2能高速地电耦合。使配置在第2根梁2对面的第3根梁3产生静电力，预先靠近第1根梁1及第2根梁2，一旦第1根梁1及第2根梁间的静电力解除，第2根梁2向第3根梁3一侧移动，第1根梁1及第2根梁2的电耦合解除。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102449906A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201180002256.0
申请日：2011-02-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/1057 , B81B3/00 , B81B7/0077 , B81C1/00333 , B81C1/00476 , H03H3/0072 , H03H9/2405 , H03H9/2447
Abstract: 本发明的MEMS元件具有：在包括基板(1)、封装薄膜(7)、在垂直于基板(1)的表面的方向上隔着间隙而具有相互重叠的区域的、梁状结构体的可动部(3)和电极(5)；以及在基板1和封装薄膜(7)之间具有隔着电极(5)而形成的第一和第二空腔，其中，在垂直于基板表面的方向上，在可动部3侧中将空腔设为第一空腔(9)，将另一个空腔设为第二空腔时，在平行于基板表面的方向上，将第一空腔(9)与电极(5)接触的侧壁(A)的内侧表面(a)配置成比第二空腔(10)与侧壁(B)的电极(5)接触的内侧表面(b)更靠内侧，从而即使从封装薄膜(7)的外侧施加了机械应力，可动部(3)和电极(5)也不会碰撞。
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公开(公告)号：CN1943110A
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200680000095.0
申请日：2006-01-13
Applicant: 松下电器产业株式会社 , 国立大学法人东京大学
CPC classification number: H03H9/02259 , H03H3/0078 , H03H9/02244 , H03H2009/02519
Abstract: 一种没有桨叶的，并且能够有效振荡的高频扭转振荡器。所述扭转振荡器具有没有桨叶的横截面恒等的梁结构，并且具有经由缝隙贴近所述梁结构的侧表面设置的电极。二者之间的静电电容使得每单位扭转振荡量下的静电电容变化率最大，并且通过调整使得每单位AC电压下的静电电容变化率最大。在采用半导体工艺时，通过控制电极的厚度使这一调整变为可能。此外，所述振荡器采用单晶硅，并采用各向异性蚀刻制作梁形状，由此制造出具有良好的表面属性和高Q值的精密振荡器。
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公开(公告)号：CN1929066A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200610126133.9
申请日：2003-07-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种开关，它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第1根梁及第2根梁及第3根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极4～9，靠静电力使各梁1～3的位置变化、使梁1～3间的静电容量变化。通过使第1根梁1及第2根梁2间产生静电力，使两根梁都可动，从而梁1、2能高速地电耦合。另外，使配置在第2根梁2对面的第3根梁3产生静电力，预先靠近第1根梁1及第2根梁2，一旦第1根梁1及第2根梁间的静电力解除，第2根梁2向第3根梁3一侧移动，第1根梁1及第2根梁2的电耦合解除。
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公开(公告)号：CN1276449C
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN03133185.8
申请日：2003-07-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , H01G5/40 , H01H2001/0078 , H01H2059/0027
Abstract: 本发明提供一种开关，它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第1根梁及第2根梁及第3根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极4～9，靠静电力使各梁1～3的位置变化、使梁1～3间的电容量变化。通过使第1根梁1及第2根梁2间产生静电力，使两根梁都可动，从而梁1、2能高速地电耦合。使配置在第2根梁2对面的第3根梁3产生静电力，预先靠近第1根梁1及第2根梁2，一旦第1根梁1及第2根梁间的静电力解除，第2根梁2向第3根梁3一侧移动，第1根梁1及第2根梁2的电耦合解除。
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公开(公告)号：CN1723619A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN200480001767.0
申请日：2004-03-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 中村邦彦
Abstract: 通过具有进行机械共振振动的振动体(1)和位于靠近振动体(1)的电极(2)，并且电极(2)的表面形状成为振动体(1)以共振模式变形时的形状地构成机械共振器，使每单位振动位移量的静电电容变化变大，由此可以实现高效地进行电→机械转换或机械→电转换的机械共振器。另外，使用该机械共振器，在高密度集成化的电路中可以实现小型且高性能的滤波电路或开关电路。
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