洁净室
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101583829A

    公开(公告)日:2009-11-18

    申请号:CN200880001528.3

    申请日:2008-10-20

    CPC classification number: F24F3/161 H01L21/67115

    Abstract: 本发明提供一种洁净室,以与生产设备等放热体(10)的上表面(10-1)对置的方式,配置排尘辅助构件(15)的排尘促进面(15-1),在放热体的上表面与排尘辅助构件的排尘促进面之间,灰尘或化学物质等物体的大小,与该物体在空气中自由落下时的空气阻力平衡,并且最终稳定的落下速度(临界速度)被该速度以上的上升气流抵消,由此灰尘以及化学物质等物体不会落到放热体上。

    树脂分离方法
    26.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101434112A

    公开(公告)日:2009-05-20

    申请号:CN200810215716.8

    申请日:2008-09-02

    CPC classification number: B29B17/02 B29B2017/0203 B29B2017/0258 Y02W30/622

    Abstract: 本发明涉及树脂材料的再利用,提供不发生排水、不受树脂材料比重及介质损耗特性影响的树脂材料的高纯度分离方法。该方法是将2种以上玻璃化温度不同的树脂(玻璃化温度:第1种树脂1<第2种树脂2)的分离对象物载置于分离部件3上,接着以第1种树脂1和第2种树脂2的玻璃化温度之间的温度进行第1次加热,再进行加压,藉此使第1种树脂1附着。接着通过以高于第1次加热温度的温度加以第2次加热的热过程,使第2种树脂2的形状复原,藉此脱离回收,另外用刀片5等将保持粘附在分离部件3上的第1种树脂1剥离并回收。

    薄膜形成装置
    30.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1127696A

    公开(公告)日:1996-07-31

    申请号:CN95115918.6

    申请日:1995-09-11

    Abstract: 一种薄膜形成装置,包括:具有多个喷涂液体用喷孔的涂液喷头;使沉积了上述涂液的上述涂敷基片绕转轴旋转的旋转装置;使上述涂液喷头和涂敷基片在该基片邻近转轴的附近区域和离开转轴的离开区域之间作互为相对移动的相对移动装置;相对移动控制装置,使随着上述涂液喷头和基片的相对位置从所邻近转轴区域相对移向离开转轴区域时,相应减少相对移动速度和旋转装置的旋转角速度。根据本发明,可用简单的控制制得均匀的薄膜。

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