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公开(公告)号:CN100487900C
公开(公告)日:2009-05-13
申请号:CN200480001425.9
申请日:2004-09-13
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/146
Abstract: 固体成像装置包括选择性透射入射光的滤色器。滤色器包括两个λ/4多层膜,和夹在λ/4多层膜之间的绝缘层。在此,滤光单元根据透射的入射光的波长具有多个区域,而绝缘层的光学厚度不是λ/4,该光学厚度在滤光单元的每个区域中不同,并且所述λ/4多层膜在滤光单元的所有区域中具有相同的光学厚度。由于滤色器具有较小厚度,所以固体成像装置具有较小尺寸。
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公开(公告)号:CN1918459A
公开(公告)日:2007-02-21
申请号:CN200480041703.3
申请日:2004-02-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01C7/045 , G01J5/20 , H01C7/06 , H01L27/16 , H01L31/09 , H01L37/00 , H01L41/094 , H04N5/33
Abstract: 本发明的红外线摄像元件的特征在于,具备一维或二维排列的多个像素单元(1a-1d),各像素单元包含热敏电阻,该热敏电阻由强相关电子类材料构成。由此,能够提供温度分辨率比以往高的红外线摄像元件。
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公开(公告)号:CN1898538A
公开(公告)日:2007-01-17
申请号:CN200580001407.5
申请日:2005-09-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 红外线传感器,包括:各自显示规定电容值的串联电容元件和参照电容元件,电容值根据射入元件中的红外线强度而变化的红外线检测电容元件,以及是串联电容元件的一个端子、参照电容元件的一个端子及红外线检测电容元件的一个端子相互连接起来的节点的输出节点。通过在串联电容元件的其他端子与参照电容元件的其他端子之间施加规定电压,来以输出节点的电位作为基准电位;通过在串联电容元件的其他端子与红外线检测电容元件的其他端子之间施加规定电压,来以所述输出节点的电位作为检测电位;作为基准电位与检测电位的电位差输出红外线强度。
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公开(公告)号:CN1806335A
公开(公告)日:2006-07-19
申请号:CN200580000447.8
申请日:2005-01-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/335 , H01L21/76
Abstract: 本发明提供一种固体摄像器件及其制造方法,在本发明的固体摄像器件的制造方法中,在n型半导体衬底(1)之上,淀积由氧化膜构成的衬垫绝缘膜(2)和由氮化膜构成的耐氧化性膜(3)。接着,通过形成开口(4),使半导体衬底(1)的元件隔离用区域露出来。接下来,在衬底上形成填埋开口(4)的耐氧化性膜(图中未示出),通过进行各向异性干法刻蚀形成侧壁(5)。再以耐氧化性膜(3)和侧壁(5)为掩模形成沟槽(6)。接着,对半导体衬底(1)中的在沟槽6的侧面露出的部分注入p型杂质,在半导体衬底(1)中的沟槽(6)的表面部形成热氧化膜。之后,用埋入用膜(8)填埋沟槽(6)。
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公开(公告)号:CN1538528A
公开(公告)日:2004-10-20
申请号:CN200410043100.9
申请日:2004-04-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L27/14625 , H01L27/14621 , H01L27/14636 , H04N9/045
Abstract: 在光电二极管上方形成光屏蔽膜,所述光电二极管将所接收到的光转换为电信号,在所述光电二极管和所述光屏蔽膜之间夹有绝缘膜。在截止膜中形成窗孔,以致截止所述光电二极管敏感的光线的波长范围内的至少预定波长的光线,允许低于所述预定波长的光线穿过。
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