流体控制器
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101611254A

    公开(公告)日:2009-12-23

    申请号:CN200880004114.6

    申请日:2008-01-30

    CPC classification number: F16K31/1225

    Abstract: 本发明提供一种流体控制器,使小流量的微调变得容易,用户方能够设定所希望的小流量。对向上移动时的小流量活塞停止位置进行设定的小流量活塞停止位置设定机构(12)具有:小流量调整螺钉(31),其以与阀杆(5)上端面之间存在间隙的方式螺合在设置于壳体(4)顶壁(15)上的贯通螺纹孔(15a)中;形成在小流量调整螺钉(31)的前端部的锥部(32);止挡活塞(33),该止挡活塞的上表面具有与该锥部(32)以规定间隙相对的锥部(34)、且其下表面(33a)对小流量活塞(8)的上方停止位置进行限制;夹置于小流量调整螺钉(31)的锥部(32)和止挡活塞(33)的锥部(34)之间且在他们之间传递力的多个力传递用球体(35)。

    阀装置和流体控制装置
    23.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110709634B

    公开(公告)日:2021-07-30

    申请号:CN201880036391.9

    申请日:2018-05-25

    Abstract: 提供一种小型并且对弯矩的耐力得到了改善的阀装置。具有:块状的阀体(30);壳体(11),其为筒状,其内置有驱动用于开闭流路的阀芯的驱动机构,该壳体与阀体(30)连接,自该阀体(30)的上表面(30t)朝向上方延伸;以及保护构件(50),其与筒状的壳体(11)和阀体(30)抵接,用于抑制在弯矩作为外力作用于壳体(10)时在位于壳体(10)的根基部分的壳体构件(12)与阀体(30)之间产生的应力集中。

    电磁阀、阀、流体控制装置、及电磁阀更换方法

    公开(公告)号:CN113167406A

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN201980077177.2

    申请日:2019-11-19

    Abstract: 提供一种电磁阀、阀、流体控制装置、及电磁阀更换方法,即使在将阀集成设置的装置中使用也能够抑制该装置的大型化。电磁阀(30)具备:壳体(31)、容纳于壳体(31)且具备卷绕有线圈(34)的绕线管(33A)的螺线管、设置在绕线管(33A)的轴上且配置为能够沿着轴向移动的可动体(36A)、设置在绕线管(33A)的轴上且固定在壳体(31)内的固定部(35)、以及设置为能够与可动体(36A)一起移动并对驱动流体通路进行开闭的上阀芯(36D)。流入端口在绕线管(33A)的轴向上的壳体(31)的上表面(31K)侧开口,流出端口在绕线管(33A)的轴向上的壳体(31)的下表面(31E)侧开口。

    阀装置
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112534166A

    公开(公告)日:2021-03-19

    申请号:CN201980050812.8

    申请日:2019-05-31

    Abstract: 本发明提供一种能够以更加准确的流量稳定地供给且抑制了装置间流量的偏差的阀装置。该阀装置具有:阀体(2);阀座(48);金属合金制的内盘(3),其具有内侧环状部(32)、外侧环状部(31)、以及将内侧环状部(32)和外侧环状部(31)连接的连接部(37);金属合金制的隔膜(41),其以覆盖内盘(3)以及阀座(48)的方式设置,通过在相对于阀座(48)不接触的开位置以及相对于阀座(48)接触的闭位置之间移动而进行第1流路(21)和第2流路(22、23)之间的连通以及切断;以及按压转接器(43),其将隔膜(41)的周缘部朝向外侧环状部(31)按压,内盘(3)具有比阀座(48)的硬度高的硬度,并且具有比阀体(2)以及隔膜(41)这两者的硬度低的硬度。

    气体供给系统
    26.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110892182A

    公开(公告)日:2020-03-17

    申请号:CN201880047616.0

    申请日:2018-06-06

    Abstract: 气体供给系统(1)包括:自动阀(18),其设置在流路(6)中并通过自动开闭来调节向腔室(4)供给的工艺气体的流量;以及手动阀(20),其设置在流路(6)中的自动阀(18)的下游且位于腔室(4)附近,通过手动开闭来调节工艺气体的流量。手动阀(20)是具有隔膜(24)的直接隔膜阀,该隔膜(24)随着开闭与阀杆(32)和阀盘(28)联动,从而落座于阀座(44)或从阀座(44)离开,该手动阀(20)具有调节阀行程的行程调节机构(36)。

    隔膜阀
    27.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107407430B

    公开(公告)日:2019-10-22

    申请号:CN201680017445.8

    申请日:2016-03-04

    Abstract: 本发明提供一种通过着眼于隔膜压具的按压面的曲率半径与隔膜的曲率半径的比,来实现隔膜的耐久性的提高的隔膜阀。将隔膜(5)的曲率半径记为SRa,将隔膜压具(6)的按压面的曲率半径记为SRb,则SRb/SRa=0.4~0.6。

    多级活塞式致动器
    28.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106795898B

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201480082528.6

    申请日:2014-10-07

    Abstract: 本发明涉及一种多级活塞式致动器,使抵抗弹簧压力的空气压力施加至嵌入气缸体的多个活塞体的压力室,从推杆将其输出取出,活塞级数的变更变得容易,能够实现小型化以及轴向长度的缩短。在本发明的多级活塞式致动器中,多个活塞体分别与嵌入气缸体的隔离件组合,在两者之间形成压力室,活塞体具有受压板部、从该受压板部沿内外的相反方向延伸的轴棒和滑动导向筒状部,所述轴棒具有与压力室连通的轴空气通路,隔离件具有底板部、从该底板部沿内外的同一方向延伸的大径最外筒状部和滑动导向筒状部,所述底板部具有接收邻接的活塞体的轴棒的贯通孔,所述大径最外筒状部嵌入气缸体,所述滑动导向筒状部与活塞体的滑动导向筒状部滑动自如地嵌合,多个活塞体的轴棒彼此机械地抵接,从而使输出施加至推杆。

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