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公开(公告)号：CN112534166A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201980050812.8
申请日：2019-05-31
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种能够以更加准确的流量稳定地供给且抑制了装置间流量的偏差的阀装置。该阀装置具有：阀体(2)；阀座(48)；金属合金制的内盘(3)，其具有内侧环状部(32)、外侧环状部(31)、以及将内侧环状部(32)和外侧环状部(31)连接的连接部(37)；金属合金制的隔膜(41)，其以覆盖内盘(3)以及阀座(48)的方式设置，通过在相对于阀座(48)不接触的开位置以及相对于阀座(48)接触的闭位置之间移动而进行第1流路(21)和第2流路(22、23)之间的连通以及切断；以及按压转接器(43)，其将隔膜(41)的周缘部朝向外侧环状部(31)按压，内盘(3)具有比阀座(48)的硬度高的硬度，并且具有比阀体(2)以及隔膜(41)这两者的硬度低的硬度。
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公开(公告)号：CN110892182A
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201880047616.0
申请日：2018-06-06
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 气体供给系统(1)包括：自动阀(18)，其设置在流路(6)中并通过自动开闭来调节向腔室(4)供给的工艺气体的流量；以及手动阀(20)，其设置在流路(6)中的自动阀(18)的下游且位于腔室(4)附近，通过手动开闭来调节工艺气体的流量。手动阀(20)是具有隔膜(24)的直接隔膜阀，该隔膜(24)随着开闭与阀杆(32)和阀盘(28)联动，从而落座于阀座(44)或从阀座(44)离开，该手动阀(20)具有调节阀行程的行程调节机构(36)。
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公开(公告)号：CN104715802B
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201510122594.8
申请日：2015-03-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G21K3/00
Abstract: 本发明的课题之一在于提供：能够简易且廉价地制造1次X线的透射特性优异的散射X线除去用滤波栅的制造方法。解决手段之一是，在贯通图案成形工序中，通过对树脂基板GS照射同步加速光束，成形形成了以规定间隔配置有多个6角形状单位贯通部H的贯通图案的一次加工基板。接着，在无电解镀敷处理工序中，通过在含有具备X线吸收性的金属(Au)的无电解镀敷溶液中浸渍该一次加工基板，在单位贯通部H之间的连结部分B的表背面及单位贯通部H的内面形成无电解金镀敷层。
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公开(公告)号：CN110730870B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201880037585.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。
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公开(公告)号：CN112673204A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN201980058334.5
申请日：2019-09-10
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够容易地更换阀芯单元的技术。利用握把(8)产生的驱动力使杆(4)、嵌合圈部件(5)以及阀芯单元向阀座(2d)侧移动，通过按压更换环(7)，更换环(7)一边缩径一边在阀盖(3)内移动，并且成为自由状态而向凸缘部(13B)落下，利用握把(8)产生的驱动力，使杆(4)、嵌合圈部件(5)、阀芯单元(10)以及更换环(7)向阀座(2d)侧的相反侧移动，从而使更换环(7)的上表面(7B)与阀盖(3)的下表面(3C)抵接，并且，在使凸缘部(13B)与更换环(7)抵接的状态下，利用握把(8)的驱动力，仅使杆(4)以及嵌合圈部件(5)向阀座(2d)侧的相反侧移动，通过连结部件(11)的连结槽(11c)使连结环(6)扩径，而构成为阀芯单元(10)从杆(4)脱离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110023659A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201780073803.1
申请日：2017-11-02
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K1/00 , F16K7/14 , F16K31/122 , H01L21/205 , F16K31/02
Abstract: 提供一种流量控制范围较大且通用性得到提高的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12、13)；隔板(20)，其以能够开闭流路(12、13)的方式设于阀体(10)；操作构件(40)，其用于操作隔板(20)，被设为能够在使流路(12、13)开闭的开闭方向(A1、A2)上移动；主致动器(60)，其赋予操作构件(40)以与沿着开闭方向的打开方向(A1)或关闭方向赋予的操作压力相对应的驱动力；切换机构，其能够根据操作压力的大小选择将限定流路的开度的操作构件(40)的位置切换至彼此不同的第1打开位置(P1)或第2打开位置(P2)；以及调节机构(70、80)，其能够分别独立地调节第1打开位置(P1)和第2打开位置(P2)。
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公开(公告)号：CN104715802A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201510122594.8
申请日：2015-03-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G21K3/00
CPC classification number: G21K1/10
Abstract: 本发明的课题之一在于提供能够简易且廉价地制造1次X线的透射特性优异的散射X线除去用滤波栅的制造方法。解决手段之一是，在贯通图案成形工序中，通过对树脂基板GS照射同步加速光束，成形形成了以规定间隔配置有多个6角形状单位贯通部H的贯通图案的一次加工基板。接着，在无电解镀敷处理工序中，通过在含有具备X线吸收性的金属(Au)的无电解镀敷溶液中浸渍该一次加工基板，在单位贯通部H之间的连结部分B的表背面及单位贯通部H的内面形成无电解金镀敷层。
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公开(公告)号：CN110730869B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201880037514.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/31
Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。
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公开(公告)号：CN111164341A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201880062421.3
申请日：2018-09-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/122 , F16K7/12 , F16K31/02 , H01L21/02 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种不使用外部传感器或者使用尽可能少量的外部传感器，就能够精密地调整由经时、经年等引起的流量变动的阀装置。该阀装置具有：调整用驱动器(100)，其用于调整定位于开位置的操作构件的位置；通信部(210)，其从装置外部接收与由阀芯引起的流路的开度调整相关的调整信息；以及控制部(220)，其基于该调整信息驱动调整用驱动器(100)而调整操作构件的位置。
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公开(公告)号：CN110741403A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201880037554.5
申请日：2018-07-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G06Q50/04 , G05B19/418
Abstract: 提供一种能够容易地制造具有合适规格的设备的技术。根据信息处理装置(1)，分析部(11A)基于阀(30)的使用信息来创建表示适合阀(30)的合适规格的合适规格信息，规格比较部(11B)将合适规格信息与表示预定规格的规格信息进行比较，规格更新部(11C)基于规格比较部(11B)所做的比较结果更新阀(30)的规格信息，制造条件创建装置(制造条件创建部(11D)、制造条件更新部(11E))基于通过规格更新部(11C)所更新的规格信息来创建阀(30)的制造条件，指示信息创建部(11G)基于通过制造条件确定装置所确定的制造条件创建用于在显示设备(3)上显示的有关阀的制造的指示信息。
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