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公开(公告)号：CN110709634B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201880036391.9
申请日：2018-05-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种小型并且对弯矩的耐力得到了改善的阀装置。具有：块状的阀体(30)；壳体(11)，其为筒状，其内置有驱动用于开闭流路的阀芯的驱动机构，该壳体与阀体(30)连接，自该阀体(30)的上表面(30t)朝向上方延伸；以及保护构件(50)，其与筒状的壳体(11)和阀体(30)抵接，用于抑制在弯矩作为外力作用于壳体(10)时在位于壳体(10)的根基部分的壳体构件(12)与阀体(30)之间产生的应力集中。
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公开(公告)号：CN110892182A
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201880047616.0
申请日：2018-06-06
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 气体供给系统(1)包括：自动阀(18)，其设置在流路(6)中并通过自动开闭来调节向腔室(4)供给的工艺气体的流量；以及手动阀(20)，其设置在流路(6)中的自动阀(18)的下游且位于腔室(4)附近，通过手动开闭来调节工艺气体的流量。手动阀(20)是具有隔膜(24)的直接隔膜阀，该隔膜(24)随着开闭与阀杆(32)和阀盘(28)联动，从而落座于阀座(44)或从阀座(44)离开，该手动阀(20)具有调节阀行程的行程调节机构(36)。
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公开(公告)号：CN107850254B
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201680031190.0
申请日：2016-05-27
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种高效地制造流体控制设备(10)的方法、方法中所用的接头用保护件(20、30)及流体控制设备(10)。接头用保护件(20、30)以可拆卸的方式被安装于在接头套管(13)插通在螺母的贯通孔中的状态下被焊接于主干部(12)的接头套管(13)。接头用保护件(20、30)的主体部(22)具有直径比接头套管(13)的外直径大的内周面(21)，以使内周面(21)与接头套管(13)的围绕轴的外周面(13B)之间具有间隙，主体部(22)具备用于相对于接头套管(13)进行装卸的缝隙(24)。通过将接头用保护件(20)安装于接头套管(13)，来抑制螺母沿着轴向的移动，使得接头套管13的密封部不从螺母突出，从而保护密封部。能够保持将接头用保护件(20、30)安装于主干部(12)的状态不变地进行清洗。
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公开(公告)号：CN107850254A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680031190.0
申请日：2016-05-27
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种高效地制造流体控制设备(10)的方法、方法中所用的接头用保护件(20、30)及流体控制设备(10)。接头用保护件(20、30)以可拆卸的方式被安装于在接头套管(13)插通在螺母的贯通孔中的状态下被焊接于主干部(12)的接头套管(13)。接头用保护件(20、30)的主体部(22)具有直径比接头套管(13)的外直径大的内周面(21)，以使内周面(21)与接头套管(13)的围绕轴的外周面(13B)之间具有间隙，主体部(22)具备用于相对于接头套管(13)进行装卸的缝隙(24)。通过将接头用保护件(20)安装于接头套管(13)，来抑制螺母沿着轴向的移动，使得接头套管13的密封部不从螺母突出，从而保护密封部。能够保持将接头用保护件(20、30)安装于主干部(12)的状态不变地进行清洗。
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公开(公告)号：CN106471298A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201580033240.4
申请日：2015-06-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/14 , C23C16/448 , H01L21/3065
Abstract: 在阀体(2)凹处(2c)底面(14)的平坦部(14b)上以包含流体流出通路(2b)的在凹处(2c)的底面(14)开口的部分的方式设置有沉头孔(15)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110730869B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201880037514.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/31
Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。
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公开(公告)号：CN111836985A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201980016155.5
申请日：2019-02-19
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供进一步降低物理性冲击对阀芯的影响的阀装置。阀装置(1)具有：阀座(41)，其配置在与形成于阀体(3)内的流路连接的开口的周围；隔膜(5)，其通过在相对于阀座(41)接触的接触位置以及相对于阀座(41)不接触的非接触位置之间移动而进行流路的开闭；按压转接器(6)，其与隔膜(5)的周缘部接触；壳体(2)，其内置有使隔膜(5)动作的致动器，与形成于阀体(3)的螺纹孔螺纹结合而固定在阀体(3)；以及转接器固定环(7)，其与螺纹孔螺纹结合并对按压转接器(6)以及隔膜(5)进行按压，并且固定在阀体(3)内。
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公开(公告)号：CN111295544A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201880071418.8
申请日：2018-10-24
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种组装有节流孔、过滤器等功能部件的流路组件，功能部件与划定流路的流路部件之间被长期可靠地密封。在流路构件(51、52)的相对面(51f、52f)的外侧具有介于流路构件(51、52)之间的环状的弹性构件(54)，流路构件(52)具有凿紧部(52e_c)，凿紧部(52e_c)将流路构件(51、52)和板状构件一体化，以相对面(51f、52f)中的一者朝向相对面(51f、52f)中的另一者的方式对流路构件(52)施加力，对作为板状构件的节流孔板(53)与相对面(51f、52f)之间进行密封，弹性构件(54)在流路构件(51、52)之间被压扁而对流路构件(51、52)之间进行密封。
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公开(公告)号：CN111065852A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201880056569.6
申请日：2018-08-17
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种实现小型化并且不使用焊接就能够进行制造的接头块。该接头块具有块主体(10)和安装在形成于块主体(10)的长度方向的另一端侧的凹部(15)的封闭构件(50)，该接头块具有：密封机构，其具有形成于块主体(10)的相对面(15b)的圆环状突起(13)，并且在第1流路(12c)的开口(12p)的周围圆环状突起(13)咬入于另一方的相对面(50e)，由此将块主体(10)与封闭构件(50)之间密封；铆接部(16)，其是将封闭构件(50)朝向块主体(10)的相对面(15b)按压而在块主体(10)形成的；以及卡合部(EN)，其由凹部(15)的内周部(15a)和封闭构件(50)的与凹部(15)的内周部(15a)卡合的外周部(51)形成，由铆接部(16)和卡合部(EN)分担将密封机构的圆环状突起(13)向另一方的相对面(50e)按压的按压力。
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公开(公告)号：CN107614955B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201680030545.4
申请日：2016-05-27
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16L37/14 , F16L23/036
CPC classification number: F16L37/15 , F16L23/036 , F16L37/144
Abstract: 一种管接头的接头方法，包括：准备第一管件(4)、第二管件(6)、推压部件(10)、以及壳体(8)，该壳体(8)具有第一开口(22)、第二开口(24)、第三开口(26)、凸缘收容空间(1)(32)和收容空间(2)(28)；通过将第一管件(4)自第二开口(24)向第一开口(22)插入，使第一管件(4)的第一凸缘部(16)卡止于凸缘收容空间(1)(32),将第二管件(6)自其第二凸缘部(18)插入第二开口(24)；通过将推压部件(10)自第三开口(26)插入并收容于收容空间(2)(28)，将第二凸缘部(18)向第一凸缘部(16)推压以形成将第一凸缘部(16)和第二凸缘部(18)密封的密封部。
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