公开(公告)号：CN110892182A

公开(公告)日：2020-03-17

申请号：CN201880047616.0

申请日：2018-06-06

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 三浦尊 ,  中田知宏 ,  稻田敏之 ,  渡边一诚 ,  近藤研太 ,  佐藤秀信

IPC: F16K7/16 ,  F16K31/44 ,  F16K31/50 ,  H01L21/31

Abstract: 气体供给系统(1)包括：自动阀(18)，其设置在流路(6)中并通过自动开闭来调节向腔室(4)供给的工艺气体的流量；以及手动阀(20)，其设置在流路(6)中的自动阀(18)的下游且位于腔室(4)附近，通过手动开闭来调节工艺气体的流量。手动阀(20)是具有隔膜(24)的直接隔膜阀，该隔膜(24)随着开闭与阀杆(32)和阀盘(28)联动，从而落座于阀座(44)或从阀座(44)离开，该手动阀(20)具有调节阀行程的行程调节机构(36)。

公开(公告)号：CN110730869B

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN201880037514.0

申请日：2018-06-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 三浦尊 ,  筱原努 ,  中田知宏 ,  稻田敏之 ,  渡边一诚 ,  近藤研太 ,  佐藤秀信 ,  汤原知子

IPC: F15B15/14 ,  F16K31/122 ,  H01L21/31

Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。

公开(公告)号：CN110730870B

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：CN201880037585.0

申请日：2018-06-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 三浦尊 ,  筱原努 ,  中田知宏 ,  稻田敏之 ,  渡边一诚 ,  近藤研太 ,  佐藤秀信 ,  汤原知子

IPC: F15B15/14 ,  F16K31/122 ,  H01L21/205

Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。

公开(公告)号：CN112469934A

公开(公告)日：2021-03-09

申请号：CN201980049272.1

申请日：2019-06-18

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 佐藤龙彦 ,  中田知宏 ,  篠原努 ,  三浦尊

IPC: F16K7/17

Abstract: 本发明提供一种能够改善密封性能、小型化并且更加稳定地控制较大的流量的阀装置。所述阀装置具有：阀体(2)；筒状构件(3)，其设于收纳凹部(23)内且与第1流路(21)连通；阀座(48)，其由筒状构件(3)支承；密封构件(49)，其介于收纳凹部(23)的底面的第1流路(21)的开口周围与筒状构件(3)的下端部之间；环状板(11)，其气密或液密地固定于在阀体(2)的收纳凹部(23)的内周面形成的环状的支承部(24)且气密或液密地固定于在筒状构件(3)的外周面形成的环状的支承部(37)，具有与第2流路(22)连通的多个开口，且具有挠性；以及隔膜(41)，其通过在相对于阀座(48)不接触的开位置以及相对于阀座(48)接触的闭位置之间移动而进行第1流路(21)和第2流路(22)之间的连通以及切断。

公开(公告)号：CN111819383A

公开(公告)日：2020-10-23

申请号：CN201880091025.3

申请日：2018-03-09

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 近藤研太 ,  吉田俊英 ,  滝本昌彦 ,  篠原努 ,  中田知宏 ,  三浦尊 ,  中泽正彦

IPC: F16K31/02 ,  F16K31/122

Abstract: 本发明提供能够确保流体的流量并且能够精密地调整流量的阀装置。该阀装置具有：主致动器(60)，其承受所供给的驱动流体的压力，并且使操作构件(40)向开位置或闭位置移动；调整用致动器(100)，其配置为主致动器(60)产生的力的至少一部分作用于该调整用致动器(100)，用于对定位于开位置的操作构件的位置进行调整；以及压力调节器(200)，其设于驱动流体向主致动器(60)的供给路径，对所供给的所述驱动流体的压力进行调压，以便抑制向主致动器(60)供给的驱动流体的压力的变动。

公开(公告)号：CN110730870A

公开(公告)日：2020-01-24

申请号：CN201880037585.0

申请日：2018-06-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 三浦尊 ,  筱原努 ,  中田知宏 ,  稻田敏之 ,  渡边一诚 ,  近藤研太 ,  佐藤秀信 ,  汤原知子

IPC: F15B15/14 ,  F16K31/122 ,  H01L21/205

Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。

公开(公告)号：CN110730869A

公开(公告)日：2020-01-24

申请号：CN201880037514.0

申请日：2018-06-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 三浦尊 ,  筱原努 ,  中田知宏 ,  稻田敏之 ,  渡边一诚 ,  近藤研太 ,  佐藤秀信 ,  汤原知子

IPC: F15B15/14 ,  F16K31/122 ,  H01L21/31

Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。