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公开(公告)号：CN103732972A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201380001709.7
申请日：2013-02-20
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K27/003 , C23C16/45561 , H01L21/67017 , Y10T137/4259 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明提供一种不必进行流体控制装置的大幅改造便能够在管线间实现不同清洗气体的供给的清洗管线变更用通路块接头、以及具备这样的清洗管线变更用通路块接头的流体控制装置。在多条管线中的至少一条管线（Q）中，在三通阀用通路部的上侧连接有清洗管线变更用通路块接头（5）。清洗管线变更用通路块接头（5）具有：与三通阀用通路部的工艺气体用入口通路（7a）连通的工艺气体用入口通路（5a）；将工艺气体用入口通路（5a）与三通阀用通路部的出口通路（8a）连通的出口通路（5b）；不与三通阀用通路部的清洗气体用入口通路（9a）连通而将其封闭的通路封闭部（5c）；与出口通路（5b）连通并在上表面开口的新清洗气体用入口通路（5d）。
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公开(公告)号：CN103620241A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201280023466.2
申请日：2012-03-06
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16L19/00 , F16B5/0241 , F16B5/0258 , F16B43/001 , F16K27/003
Abstract: 本发明提供一种使调平作业变得容易且将基于弹性部件的振动吸收效果进一步提高的下层部件的固定装置、以及具有该固定装置的流体控制装置，该调平作业使下层部件的上表面彼此成为同一平面。该下层部件的固定装置构成为，一旦将下层部件（2）固定后，使所需要的下层部件（2）以抵抗弹性部件（21）的弹力的方式向上方移动，由此，能够将多个下层部件（2）的上表面位置微调整。弹性部件（21）是由橡胶或者合成树脂构成的环状体，在弹性部件的内周面的上部以及下部设有用于能够使弹性部件（21）相对于上下方向的力而弹性弯曲变形的切口（21a）、（21b）。
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公开(公告)号：CN111033104B
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN201880051365.3
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明通过提供使布线简化的阀以及搭载有该阀的流体供给管线来提高材料气体的控制的精度。阀(V)具备阀本体(3)和与阀本体(3)连结的驱动压力控制装置(4)。驱动压力控制装置(4)具有：驱动压力导入通道(431)，与管线外的驱动压力供给源(G)连接；自动阀(411)，将驱动压力导入通道(431)打开或关闭；驱动压力导入通道(433)，与阀本体(3)的驱动压力导入口(3a)连结；自动阀(412)，与自动阀(411)联动来将驱动压力导入通道(433)打开或关闭，并将从驱动压力导入通道(433)释放驱动压力的排气通路(44)打开或关闭；以及驱动压力导入通道(432)，经由自动阀(411)和自动阀(412)来连结驱动压力导入通道(431)与驱动压力导入通道(433)。
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公开(公告)号：CN113728187A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202080028985.2
申请日：2020-02-18
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 一种流路形成区块，具备：第一区块；第二区块，其被安装于第一区块，且具有第一流路以及第二流路；垫片，其被设置于第一区块与第二区块之间，且对第一区块和第二区块之间进行密封，第二区块具有被形成于与垫片对置的面、并将第一流路和第二流路连通的连通部，垫片具有被形成于与连通部对置的位置的凹部。
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公开(公告)号：CN110832236B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201880044044.0
申请日：2018-06-12
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/17 , F16F15/02 , F16F15/073 , H02N2/18
Abstract: 提供一种能够搭载各种电子设备并且解决了布线、电池更换的问题的具有发电功能的气动式阀装置。具有：致动器(7)，其具有壳体部(10、11)和可动部(13)，该可动部(13)收纳在利用驱动流体驱动而使阀芯沿着关闭方向或打开方向移动的壳体部(10、11)；弹簧构件(30)，其对可动部(13)向抵抗驱动流体的驱动力的方向施力；以及发电减振单元(100)，其包括利用了压电元件的压电效应的、将由致动器(7)的动作所产生的振动系统的振动转换为电力的发电功能和抑制施加于装置的振动的减振功能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111295544B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201880071418.8
申请日：2018-10-24
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种组装有节流孔、过滤器等功能部件的流路组件，功能部件与划定流路的流路部件之间被长期可靠地密封。在流路构件(51、52)的相对面(51f、52f)的外侧具有介于流路构件(51、52)之间的环状的弹性构件(54)，流路构件(52)具有凿紧部(52e_c)，凿紧部(52e_c)将流路构件(51、52)和板状构件一体化，以相对面(51f、52f)中的一者朝向相对面(51f、52f)中的另一者的方式对流路构件(52)施加力，对作为板状构件的节流孔板(53)与相对面(51f、52f)之间进行密封，弹性构件(54)在流路构件(51、52)之间被压扁而对流路构件(51、52)之间进行密封。
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公开(公告)号：CN112997031A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN201980071903.X
申请日：2019-10-18
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种流体控制装置和流体装置的制造方法，该流体控制装置在不减少流体的供给流量的情况下实现了进一步的小型化、集成化，也削减了组装工时。流体控制装置具有：接头块(20)，其划定在上表面开口的流体流路，并且在底面侧具有卡合部；支承构件(50)，其利用引导部(55)允许接头块(20)向长度方向的移动并且将该接头块(20)约束于该支承构件(50)的上表面；以及流体设备，其固定于接头块(20)的上表面，在该流体控制装置中，在支承构件(50)以柱塞(500)的顶端部从支承构件的上表面突出的方式设置一个以上的柱塞(500)，在接头块的底面设有凹部，该凹部与所述柱塞(500)的顶端部卡合，由此，对接头块(20)的长度方向上的位置进行定位。
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公开(公告)号：CN111433496A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN201880077575.X
申请日：2018-11-13
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够实现小型化、低成本化并且具有泄放功能的阀装置。阀体(20)划定在该阀体(20)的表面开口并且内置有阀元件(2)的收纳凹部(22)、以及与收纳凹部(22)连接的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)，阀元件(2)具有将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的通过收纳凹部(22)的直接的连通切断的密封部、通过阀元件(2)而使初级侧流路(21)和次级侧流路(24)连通的迂回流路(50a)、以及经由收纳凹部(22)而使迂回流路(50a)和次级侧流路(24)连通的泄放孔(50p)。
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公开(公告)号：CN111033430A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880051417.7
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明旨在精密地监视利用多个流体控制设备所构成的流体供给管线整体。另外，抑制每个流体控制设备的动作的偏差来提高流体供给管线的精度。利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F1、V11～V14)所构成的流体供给管线(L1)具有：第一连接单元，其将流体供给管线(L1)外的机构与流体供给管线(L1)上的流体控制设备(F1)进行连接；以及第二连接单元，其在流体供给管线(L1)从第一连接单元分支，来与其他流体控制设备(F1、V11～V14)进行连接。
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公开(公告)号：CN104737086B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201380057366.6
申请日：2013-10-18
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/00 , F15B13/044 , F16K27/003 , G05D7/0652 , G05D7/0682 , Y10T137/87249 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明实现半导体制造装置用集成型气体供给装置的气体供给线路的增加、装置的小型化、装置内部的气体流路内容积的减小，提高装置的气体置换性，并且实现设置空间的削减、各仪器类的维护管理的容易化。通过在以平面观察隔开间隔地并列设置的气体入口侧块（12）及气体出口侧块（13）上，将设置有多个流量控制部的两台流量控制器（3）对置状地组合固定，并且在各流量控制器（3）中设置入口开闭阀（1）及出口开闭阀（5），来形成包括至少四个气体供给线路（S）的气体供给单元（U），将该气体供给单元（U）堆叠多台并固定。
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