公开(公告)号：CN110730869A

公开(公告)日：2020-01-24

申请号：CN201880037514.0

申请日：2018-06-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 三浦尊 ,  筱原努 ,  中田知宏 ,  稻田敏之 ,  渡边一诚 ,  近藤研太 ,  佐藤秀信 ,  汤原知子

IPC: F15B15/14 ,  F16K31/122 ,  H01L21/31

Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。

公开(公告)号：CN109952459A

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201780069196.1

申请日：2017-11-02

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 吉田俊英 ,  中田知宏 ,  篠原努 ,  稻田敏之 ,  船越高志

IPC: F16K31/02 ,  F16K31/122

Abstract: 提供一种流量调整用工时被大幅度地削减了的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12)；阀芯(20)，其被设为能够开闭阀体的流路(12)；操作构件(40)，其用于操作阀芯，被设为能够在使阀芯(20)开闭流路(12)的开闭方向(A1、A2)上在预先设定的使阀芯(20)关闭流路的关闭位置(CP)与使阀芯(20)打开流路(12)的打开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其用于使操作构件(40)向打开方向(A1)移动；以及压电致动器(100)，其用于调整被定位于打开位置(OP)的操作构件(40)的位置。

公开(公告)号：CN104704283B

公开(公告)日：2018-04-27

申请号：CN201380021762.3

申请日：2013-04-17

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 稻田敏之 ,  松田隆博 ,  小艾睦典

IPC: F17D1/02 ,  F16K27/00

CPC classification number: F15B13/0817 ,  F15B13/0814 ,  F15B13/0871 ,  F15B13/0896 ,  F16K27/003 ,  H01L21/67017 ,  Y10T137/87885

Abstract: 提供一种能够削减部件数量且能够容易地进行列数增减等变更的流体控制装置。作为下层的通路块而具有跨越多列地配置的多列用(3列用)通路块(21)。多列用通路块(21)跨越3列地支承流量控制器(16)的入口侧伸出部(16b)及与其呈串联状地配置的2个入口侧开关阀(14、15)。在多列用通路块(21)内设有：用于将串联排列的流体控制设备的通路彼此连通的纵向通路；和用于将相邻列的流体控制设备彼此连通的横向通路。

公开(公告)号：CN103732962B

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201280028298.6

申请日：2012-05-31

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 池田隼也 ,  小艾睦典 ,  牧野惠 ,  稻田敏之

IPC: F16K15/02 ,  F16K3/02 ,  F16K15/06 ,  F16K51/02

CPC classification number: F16K15/026 ,  F16K15/025 ,  F16K17/0466 ,  F16K25/005 ,  Y10T137/7924

Abstract: 本发明提供一种止回阀，提高耐热性并且解决了伴随高温使用而导致“栓体向密封构件的粘附”的技术课题，由此在高温条件下也能够使用。通过使被弹压构件（7）弹压的栓体（5）与密封构件（4）抵接而使设置在第1阀体（2）上的流体通路（2a）的开口成为关闭状态。密封构件（4）为进行了二次硫化的全氟橡胶制密封垫。在栓体（5）上形成有与密封构件（4）线接触的环状的密封部（6）。