公开(公告)号：CN109794399A

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201811330713.9

申请日：2018-11-09

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 远藤智章 ,  吉田博斗 ,  增田幸容

IPC: B05C11/10

Abstract: 提供液体提供单元，确保不从喷嘴滴液。液体提供单元具有：第一止回阀(50)，其配设在将泵(4)与容器(3)连接的第一配管(5)上，阻止液体从泵朝向容器流动；和第二止回阀(60)，其配设在将喷嘴(2)与泵连接的第二配管(6)上，阻止液体从喷嘴朝向泵流动，第二止回阀具有：竖立设置的筒状的阀室(600)；和在阀室内移动自如的球体(601)，阀室由第一阀室(600a)和圆柱状的第二阀室(600b)形成，第一阀室使一端侧与喷嘴连通且在球体与内壁之间形成间隙，第二阀室与第一阀室的另一端连结且供球体嵌入，在对喷嘴提供液体时，球体在第一阀室内漂浮，在停止对喷嘴提供液体时，球体通过自重而在第二阀室内向下移动而使第二配管的路径内成为负压。

公开(公告)号：CN101714499A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910178215.1

申请日：2009-09-27

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 福冈武臣 ,  大宫直树 ,  增田幸容 ,  秋田壮一郎 ,  高桥聪 ,  成田亮治

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/68 ,  B23K26/00

Abstract: 本发明提供一种即使在加工单元与摄像对象物之间对存在不透光层的被加工物进行拍摄，也能够对摄像对象物进行拍摄的加工装置。该加工装置具有基部，其特征在于具有：保持台，其具有对被加工物进行保持的、由透明体形成的保持垫；加工单元，其对保持在该保持台上的被加工物进行加工；加工进给单元，其使所述保持台和所述加工单元在与该保持台的表面平行的X轴方向以及与该X轴方向垂直的Y轴方向上相对地进给；以及摄像单元，其以位于保持垫的下方位置的方式被安装在所述基部上，透过所述由透明体形成的保持垫来拍摄保持在所述保持台上的被加工物，在拍摄被加工物时，通过所述加工进给单元使所述保持台移动到该摄像单元上方。

公开(公告)号：CN101712101A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910175726.8

申请日：2009-09-29

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 增田幸容 ,  大庭龙吾

IPC: B23K26/06 ,  B23K26/40 ,  H01L21/78 ,  H01L21/268

CPC classification number: B23K26/066

Abstract: 本发明提供一种激光加工装置，其能够在不更换掩模的情况下，容易地调整作为激光光线在工件上的成像宽度的加工线的宽度，能够提高作业效率并抑制成本提升。在光学系统(55)的镜片(56)与中继透镜(57)之间配设与激光光线(L)的光轴正交的平板状的掩模(60)。掩模(60)能在水平方向上移动，激光光线(L)透过形成于掩模(60)上且沿移动方向延伸的细长的梯形形状的开口(61)。激光光线(L)透过了开口(61)的部分的截面形状在晶片(1)上成像。通过移动掩模(60)，能够调整激光光线(L)在晶片(1)上的成像宽度。