有机薄膜晶体管、其制造方法和电子装置

    公开(公告)号:CN101645488A

    公开(公告)日:2010-02-10

    申请号:CN200910161731.3

    申请日:2009-08-07

    Abstract: 本发明公开了有机薄膜晶体管、其制造方法和电子装置,所述有机薄膜晶体管包括:由有机绝缘层形成的基板;通过使用镀膜技术在所述基板上沉积的第一层,所述第一层用于形成源极电极和漏极电极;也通过使用镀膜技术而沉积的覆盖所述第一层且由金属材料构成的第二层,所述第二层用于形成所述源极电极和所述漏极电极,所述第二层的金属材料与所述第一层相比能够与有机半导体材料形成更低的欧姆接触;以及在各自都用所述第一层和所述第二层形成的所述源极电极与所述漏极电极之间的区域上方形成的有机半导体层。本发明公开的电子装置中设置有上述有机薄膜晶体管。因此,本发明能够实现优良的器件特性和低的生产成本。

    半导体器件的制造方法
    24.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1146059C

    公开(公告)日:2004-04-14

    申请号:CN01124308.2

    申请日:2001-05-31

    CPC classification number: H01L29/66757 H01L27/12

    Abstract: 在衬底上形成一个多晶硅层。在多晶硅层上形成绝缘层和栅电极。然后,通过用栅电极作掩膜将杂质掺入多晶硅层中以自对准方式形成沟道区,源区和漏区。然后,形成能量吸收层以覆盖整个衬底。从能量吸收层一侧辐射脉冲激光束。脉冲激光束的能量几乎全部吸收进能量吸收层,通过热辐射对下面的层面进行间接热处理。换句话说,对杂质进行激活并消除绝缘层中的缺陷,同时不会对衬底造成热损坏。

    光能转换装置
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1422443A

    公开(公告)日:2003-06-04

    申请号:CN01807883.4

    申请日:2001-03-13

    CPC classification number: H01L31/03682 Y02E10/546

    Abstract: 一种光能转换装置10,包含:形成在衬底上的第一杂质掺杂的半导体层5,它是混有第一杂质的半导体材料层;形成在第一杂质掺杂的半导体层5上的光活性层6,它是含氢的非晶半导体材料层;和混有第二杂质并且形成在光活性半导体层6上的第二杂质掺杂的半导体层7。第二杂质掺杂的半导体层是氢浓度比光活性半导体层6的材料低的多晶半导体材料层。在光活性半导体层6和第二杂质掺杂的半导体层7之间的界面结构中,深度方向的平均晶粒粒径在从第二杂质掺杂的半导体层向衬底1前进的方向上逐步降低。通过控制第二杂质掺杂的半导体层7的氢浓度,显著降低了第二杂质掺杂的半导体层7中的悬挂键的数目,显示出较高的结晶度,提高了装置10的转换效率。

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