公开(公告)号：CN115812137A

公开(公告)日：2023-03-17

申请号：CN202180047409.7

申请日：2021-06-17

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 石垣裕之 ,  二村伊久雄 ,  间宫高弘

IPC: G01B9/021 ,  G01B9/02015

Abstract: 提供一种三维测量装置，能够实现测量精度的提高并且实现测量效率的提高。三维测量装置(1)基于所拍摄的干涉条纹图像，针对工件(W)上的各坐标位置，获取多组光轴方向规定位置的再现图像。接着，基于这些再现图像来决定该坐标位置的光轴方向对焦位置，并且将与该光轴方向对焦位置对应的次数确定为该坐标位置所涉及的次数。然后，获取各坐标位置的光轴方向对焦位置的光的相位信息，基于该坐标位置所涉及的相位信息和该坐标位置所涉及的次数来执行该坐标位置所涉及的三维测量。除此之外，三维测量装置(1)包括使参照光向参照面(25)照射的物镜(21)和使测量光向工件(W)照射的物镜(22)、以及使从干涉光学系统(3)射出的光成像到相机(33A、33B)的成像透镜(30A、30B)。

公开(公告)号：CN109690236B

公开(公告)日：2021-03-02

申请号：CN201780053363.3

申请日：2017-04-19

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 石垣裕之 ,  间宫高弘

IPC: G01B11/00 ,  G01B9/02

Abstract: 提供一种利用波长不同的光来实现测量范围的扩大并能够实现测量效率的提高的三维测量装置。三维测量装置包括：偏振分束器(20)，将入射的规定的光分割为偏振方向相互正交的两束偏振光，将一束作为测量光照射到工件(W)上，且将另一束作为参照光照射到参照面(23)上，并且能够将它们再次合成并射出；第一光投射系统(2A)，使第一光入射到该偏振分束器(20)的第一面(20a)；第二光投射系统(2B)，使第二光入射到该偏振分束器(20)的第二面(20b)；第一拍摄系统(4A)，能够拍摄从偏振分束器(20)的第一面(20a)射出的所述第一光；以及第二拍摄系统(4B)，能够拍摄从偏振分束器(20)的第二面(20b)射出的所述第二光。

公开(公告)号：CN103827626B

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201280044167.7

申请日：2012-04-25

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 间宫高弘 ,  石垣裕之

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B11/022 ,  G01B11/2531 ,  G06T7/0008 ,  G06T2207/10012 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/30141 ,  G06T2207/30152

Abstract: 提供能够在进行三维测量时实现测量精度的提高等的三维测量装置。基板检查装置（10）包括运送印刷基板（1）的传输带（13）、对印刷基板（1）照射亮度不同的四种图案光中的任一种的照明装置（14）、以及拍摄该图案光所照射的印刷基板（1）的相机（15）。并且，印刷基板（1）每被运送预定量，将相位每变化了预定量的同一亮度的图案光下拍摄的四套图像数据作为一组，获取在所述四种图案光下拍摄的四组的群数据。接着，判断图像数据的各像素的亮度值是否包含在预先设定的有效范围H内，并且从四个群数据中提取图像数据的各像素的亮度值处于有效范围H内的群数据，以该被提取的群数据为基础进行三维测量。

公开(公告)号：CN103245301B

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201210275511.5

申请日：2012-07-31

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 间宫高弘 ,  石垣裕之

IPC: G01B11/24 ,  G02F1/133 ,  G02F1/1343

Abstract: 提供能够有效地提高测量精度的三维测量装置。基板检查装置包括：对印刷基板照射条纹状的光图案的照射装置；对光图案进行拍摄的相机；以及基于拍摄的图像数据进行三维测量的控制装置。照射装置包括发射光的光源、以及将该光转换成条纹状的光图案的液晶光栅(4b)。液晶光栅(4b)在一对玻璃基板(31、32)之间形成有液晶层，并包括配置在其中一个玻璃基板(31)上的公共电极(33)和并排设置在另一个玻璃基板(32)上的多个带状电极(34)。并且，将带状电极(34)分成6条为1组的组，各组的带状电极(34a)等彼此分别并联连接，所述并联连接的带状电极(34a)群等分别与同一个开关元件(36a～36f)连接，并由该开关元件(36a～36f)分别控制。

公开(公告)号：CN103123255B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201210172459.0

申请日：2012-05-25

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 石垣裕之

IPC: G01B11/25

CPC classification number: G01B11/25 ,  G01B11/245 ,  G06T7/521 ,  G06T2207/30141

Abstract: 本发明的课题在于提供一种三维测量装置，在进行采用相移法的三维测量时，可实现更高精度的测量。基板检查装置包括：照射装置，其对印刷电路板照射条纹状的光图案；对其进行摄像的照相机；控制装置，其根据已拍摄的图像数据进行三维测量。控制装置根据从第1照射装置照射第1光图案而获得的图像数据获得第1测量值，根据从第2照射装置照射第2光图案而获得的图像数据获得第2测量值。另外，针对照射两个光图案的全部照射区域，将由两个测量值指定的值作为该区域的高度数据，针对仅仅照射任意一者的一部分照射区域，根据由上述全部照射区域的高度数据而计算的补充数据，指定该区域相关的测量值的条纹次数，获得该区域的高度数据。

公开(公告)号：CN103162641A

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201210132207.5

申请日：2012-04-27

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 梅村信行 ,  间宫高弘 ,  石垣裕之

IPC: G01B11/25

CPC classification number: G01B11/2509 ,  G01B11/2513

Abstract: 本发明提供一种三维测量装置，其中，在采用相移法而进行三维测量时，能谋求测量精度的提高，并且能谋求测量时间的缩短。基板检查装置包括：对印刷电路板照射条纹状的光图案的照射装置；对其摄像的照相机；根据图像数据进行三维测量的控制装置。照射装置包括光源与液晶快门，该液晶快门形成用于将该光变换为条纹状的光图案的光栅。控制装置在第1照射装置的第1光图案的条件下进行第1摄像处理，在其结束的同时，开始液晶快门的光栅切换，在不等待该光栅切换完成的情况下，在第2照射装置的第2光图案的条件下进行第2摄像处理，在其结束的同时，开始液晶快门的光栅切换，在不等待该光栅切换完成的情况下，进行下一第1摄像处理。

公开(公告)号：CN101782525A

公开(公告)日：2010-07-21

申请号：CN201010002371.5

申请日：2010-01-12

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 石垣裕之

IPC: G01N21/84

CPC classification number: G01B11/25 ,  G01B21/045 ,  G06T7/521

Abstract: 本发明的课题在于提供一种三维测量装置，其不采用远心光学系统，谋求测量精度的提高。具有三维测量装置的基板检查设备包括照射装置(4)，其对印刷有焊锡膏的印刷基板的表面，照射条纹状的图案光；对印刷基板上的已照射的部分进行摄像用的CCD照相机(5)；控制装置，其根据通过CCD照相机(5)摄像的图像数据，进行印刷基板上的各坐标位置的高度测量。另外，控制装置根据CCD照相机(5)的高度(Lco)，与对印刷基板照射的图案光的照射角(α)，对会由CCD照相机(5)的透镜(5a)的视场角产生的测量数据的偏差进行补偿。

公开(公告)号：CN111051810A

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201880056431.6

申请日：2018-08-29

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 石垣裕之 ,  间宫高弘

IPC: G01B11/24 ,  G06T7/521

Abstract: 提供一种能够实现测量精度的提高并且能够实现测量效率的提高的三维测量装置。三维测量装置(1)基于由拍摄系统(4A、4B)拍摄得到的干涉条纹图像针对工件(W)上的规定的测量区域的各坐标位置以规定的测量范围间隔获取多组光轴方向规定位置的强度图像数据。接着，基于这些多组强度图像数据来决定该坐标位置处的光轴方向对焦位置，并且将与该光轴方向对焦位置对应的阶数确定为与该坐标位置相关的阶数。然后，获取测量区域的各坐标位置处的光轴方向对焦位置的光的相位信息，基于与该坐标位置相关的相位信息和与该坐标位置相关的阶数来执行与该坐标位置相关的三维测量。

公开(公告)号：CN107110643B

公开(公告)日：2020-04-07

申请号：CN201680003486.1

申请日：2016-01-08

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 大山刚 ,  坂井田宪彦 ,  间宫高弘 ,  石垣裕之

IPC: G01B11/25 ,  G06T1/00

Abstract: 提供一种在利用相移法进行三维测量时能够在更短时间内实现更高精度的测量的三维测量装置。基板检查装置(1)具备：照明装置(4)，对印刷基板(2)照射条纹状的光图案；相机(5)，拍摄在印刷基板(2)上照射光图案的部分；控制装置(6)，基于所拍摄的图像数据进行三维测量。控制装置(6)基于在第一位置照射第一周期的第一光图案所获得的图像数据来计算第一高度测量值，并从该图像数据取得增益和偏移的值。另外，基于在斜移半个像素间距的第二位置照射第二周期的第二光图案所获得的图像数据并利用所述增益和偏移的值来计算第二高度测量值。并且，将由第一测量值和第二测量值确定的高度数据作为真实的数据来获取。

公开(公告)号：CN107407556B

公开(公告)日：2019-11-05

申请号：CN201680018284.4

申请日：2016-01-08

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 大山刚 ,  坂井田宪彦 ,  间宫高弘 ,  石垣裕之

IPC: G01B11/25 ,  G06T1/00

Abstract: 提供一种在利用相移法进行三维测量时能够以更短时间实现更高精度的测量的三维测量装置。基板检查装置(8)具备：照明装置(10)，向印刷基板(1)照射预定的光图案；相机(11)，拍摄照射该光图案的部分；以及控制装置(12)，实施各种控制和图像处理、运算处理。控制装置(12)首先基于以四组相位照射与焊料区域对应的第一亮度的第一光图案来拍摄的四组图像数据，进行与焊料区域有关的三维测量，并且基于该四组图像数据掌握根据预定的拍摄条件所确定的增益和偏移的关系。接着基于以二组相位照射与背景区域对应的第二亮度的第二光图案来拍摄的二组图像数据，并利用所述增益和偏移的关系，进行与背景区域有关的三维测量。