公开(公告)号：CN105849871B

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201480068799.6

申请日：2014-12-17

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 菊本宪幸

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/027 ,  H01L21/306

CPC classification number: H01L21/6719 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68742

Abstract: 一种基板处理装置，腔室盖部以及杯部(161)位于第一位置的状态时，杯侧壁部(611)与受液侧壁部(253)在径向上重合，挡板部(166)被受液侧壁部(253)所支撑。腔室盖部以及杯部(161)向比第一位置更靠上方的第二位置移动时，挡板部(166)通过杯侧壁部(611)被悬挂而向上方移动。腔室盖部以及杯部(161)在第二位置的状态时，杯侧壁部(611)的下端位于比受液侧壁部(253)的上端更靠上方的位置，挡板部(166)将杯侧壁部(611)的下端与受液侧壁部(253)的上端之间的缝隙盖上。由此，即使来自旋转的基板上的处理液向杯侧壁部(611)的下方飞散，也能够抑制处理液在外侧壁部(164)上附着。

公开(公告)号：CN105590877B

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201510765872.1

申请日：2015-11-11

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 山田亮

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  G06T7/00

Abstract: 本发明涉及一种数据修正装置、描画装置、检查装置、数据修正方法、描画方法、检查方法及记录介质。数据修正部的蚀刻特性存储部将对于对象物上的多个对象位置的各者的蚀刻特性作为对象蚀刻特性而加以存储。特性群组获取部通过将与相互类似的对象蚀刻特性对应的对象位置包含于1个特性群组，而将多个对象位置分成比该多个对象位置少的特定数量的特性群组。分割数据修正部将通过蚀刻而形成在对象物上的图案的设计数据分割成与设定在对象物上的多个分割区域对应的多个分割数据，并对各分割数据基于代表与该分割数据对应的分割区域的最接近的对象位置所属的一个特性群组的蚀刻特性而进行修正。由此，能够高效地进行高精度的蚀刻修正。

公开(公告)号：CN105470167B

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：CN201510633671.6

申请日：2015-09-29

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 难波敏光

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/6708 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67115

Abstract: 本发明的目的在于提供一种基板处理装置，能够从处理单元向补充用罐回收处理液，并从补充用罐向供给用罐补充处理液。从供给用罐向处理单元的处理液喷嘴供给处理液，从处理液喷嘴向基板供给处理液。在处理单元使用的使用完的处理液被回收，并有选择地供给至第一以及第二补充用罐。在使用完的处理液向第一补充用罐供给的期间，第二补充用罐内的处理液补充到供给用罐，并且第一补充用罐内的处理液由加热部加热并循环。在使用完的处理液向第二补充用罐供给的期间，第一补充用罐内的处理液补充到供给用罐，并且第二补充用罐内的处理液由加热部加热并循环。

公开(公告)号：CN106555164A

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201610471340.1

申请日：2016-06-24

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 大泽笃史

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/46 ,  C23C14/54

CPC classification number: C23C14/0015 ,  C23C14/35 ,  C23C14/46 ,  C23C14/548

Abstract: 本发明提供一种能高精度且稳定地执行所期望的膜色的成膜处理的技术的成膜装置及数据制作方法。在成膜装置中，确定部基于从输入部输入的颜色信息，参照对应数据来确定成膜条件。另外，成膜条件中至少包含气体供应量作为膜色调整要素。已知一般来说，成膜处理时所供应的气体的种类或其供应量是主要的膜色调整要素。因此，本实施方式与根据成膜装置的操作者的直觉或经验来调整成膜条件的实施方式相比，能高精度且稳定地执行所期望的膜色的成膜处理。

公开(公告)号：CN106548965A

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：CN201610605747.9

申请日：2016-07-28

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 池田文彦

IPC: H01L21/677

Abstract: 本案涉及基板处理装置及基板处理方法。在一面从使基板上浮的上浮平台搬送基板一面对搬送中的基板实施处理的基板处理装置中，通过使基板的排列处理及基板向上浮平台的移载处理合理化而缩短基板处理装置的工作时间。本发明的基板处理装置具备：上浮平台，使基板上浮；搬送机构，从上浮平台接收基板并搬送；处理机构，对通过搬送机构搬送的基板实施处理；及移载机构，将基板移载至上浮平台；且移载机构具备：接纳上浮部，使搬送而来的基板上浮并予以接纳；排列部，使通过接纳上浮部而上浮的基板排列；保持部，保持通过排列部而排列的基板；及驱动部，使保持部移动至上浮平台。

公开(公告)号：CN106257639A

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201610444504.1

申请日：2016-06-20

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 武明励 ,  安藤幸嗣 ,  前川直嗣 ,  安武阳介

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明的基板处理装置一边抑制残留处理液进入器件区域一边处理上表面周缘部，具有：基板保持部，将基板保持为大致水平，围绕规定旋转轴旋转，旋转机构，使基板保持部围绕旋转轴旋转，处理液喷出部，以使液流接触以旋转轴为中心旋转的基板的上表面周缘部的旋转轨迹中的一部分的着落位置的方式喷出处理液的液流，气体喷出部，从上方朝向旋转轨迹中的着落位置的基板的旋转方向的上游侧的第一位置喷出非活性气体的第一气流，使第一气流从第一位置朝向基板的周缘，从上方朝向旋转轨迹中的第一位置的基板的旋转方向的上游侧的第二位置喷出非活性气体的第二气流，使第二气流从第二位置朝向基板的周缘；第二气流喷出时的动能小于第一气流喷出时的动能。

公开(公告)号：CN106252199A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201610404966.0

申请日：2016-06-08

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 岩畑翔太 ,  尾辻正幸

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/02057 ,  B81C1/00928 ,  H01L21/02063 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67023

Abstract: 本发明提供一种能够抑制或防止图案的倒塌的基板处理方法以及基板处理装置。基板处理方法包括：基板保持步骤，通过基板保持单元将在上表面形成有图案的基板保持为水平姿势，液膜形成步骤，形成覆盖整个所述上表面的有机溶剂的液膜，以将在所述上表面存在的处理液置换为有机溶剂的液体，薄膜保持步骤，一边将整个所述上表面的周围保持在有机溶剂蒸气的环境一边使所述基板以第一高旋转速度旋转来使所述有机溶剂的液膜变薄，由此，在所述上表面保持有机溶剂的薄膜，薄膜除去步骤，在所述薄膜保持步骤之后，从所述上表面除去所述薄膜；所述薄膜除去步骤包括使所述基板以第二高旋转速度旋转的高速旋转步骤。

公开(公告)号：CN106064542A

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：CN201610260676.3

申请日：2016-04-25

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 增市干雄 ,  滩原壮一

IPC: B41N10/02 ,  B41M5/025

CPC classification number: B41N10/02 ,  B41M5/025

Abstract: 本发明提供一种平板状橡皮布以及利用该橡皮布的转印方法，该平板状橡皮布通过与板状体抵接被转印图案或者向板状体转印图案，该平板状橡皮布，具有：担载层，具有与板状体相向的一个主面，在一个主面的图案担载区域担载图案，基体材料，用于支撑担载层的另一主面；担载层具有槽部，该槽部朝向板状体开口，并与包围担载层的周边空间连接；在担载层的一个主面中的除了图案担载区域之外的非图案担载区域设置有槽部。

公开(公告)号：CN106004007A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610187209.2

申请日：2016-03-29

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 藤泽浩之 ,  野田修平 ,  米谷和朗

IPC: B41C1/00

CPC classification number: B41C1/00

Abstract: 本发明提供一种不在磁鼓的外周面部配置磁铁体且能够抑制作用于记录介质的磁力下降的磁鼓、图像记录装置、以及磁鼓的制造方法。在磁鼓上，避开壁厚部中的外周面形成有沿磁鼓的中心轴方向延伸的多个空隙部。多个磁铁体分别插入保持在多个空隙部内。因此，不会发生图像记录处理的精度因在外周面配置的磁铁体的存在而下降的情况。另外，与在磁鼓的内周面的中心轴侧配置磁铁体的其他方式相比，抑制作用于记录介质的磁力下降。

公开(公告)号：CN105992997A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201580008338.4

申请日：2015-01-20

Applicant: 株式会社思可林集团

Inventor： 古川至 ,  中井一博 ,  北村清志

IPC: G06F3/0481 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70525

Abstract: 提供能够在随着设计数据的更新而更新作业单时简单地选择期望的作业单来执行更新工作的图案描画装置用的GUI装置、图案描画系统、作业单更新方法以及程序。该图案描画装置用的GUI装置在更新作业单时使用，该作业单定义根据设计数据生成描画数据的一系列处理，GUI装置具有：显示部，具有画面；操作部，操作显示部的画面；显示控制部，控制显示部的画面显示；显示输入更新后的更新设计数据名称的输入部(82)，显示与输入的更新设计数据名称相关的作业单列表(83)，显示用于指示针对从作业单列表(83)中被强调显示的更新对象的作业单将设计数据置换为更新设计数据的更新按钮(91)。