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公开(公告)号：CN101329511A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200810128868.4
申请日：2008-06-20
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0397 , C07C69/00 , C07C2603/24 , C08F212/14 , C08F212/34 , C08F220/18 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , Y10S430/106
Abstract: 一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)树脂和(B)至少一种酸生成剂，所述的(A)树脂包含：(i)由式(I)表示的聚合单元，其中R7表示氢原子等，R8表示C1－C4烷基，p表示1至3的整数，q表示0至2的整数；(ii)选自由式(II)表示的聚合单元和由式(IV)表示的聚合单元中的至少一种聚合单元，在式(II)中，R1表示氢原子等，R2表示C1－C8烷基，并且环X表示脂环烃基，在式(IV)中，R3表示氢原子等，R4和R5独立地表示氢原子等，R10表示C1－C6烷基等；以及(iii)由式(III)表示的聚合单元，其中R3、R4和R5与上述定义相同，E表示二价烃基，G表示单键等，Z表示羰基等，并且L表示蒽基等。
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公开(公告)号：CN101130510A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200710142634.0
申请日：2007-08-20
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C321/12 , C07C323/10 , C07C309/17 , G03F7/039
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C07D313/06 , C07D333/46 , C07D335/00 , G03F7/0045 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供一种式(I)表示的盐，其中，X表示含有至少一个二价脂环族烃基的C3－C30二价基团，并且在所述C3－C30二价基团中的至少一个－CH2－可以被－O－或－CO－取代；Y表示可以被选自C1－C6烷氧基、C1－C4全氟烷基、C1－C6羟烷基、羟基和氰基中的至少一个基团取代的C3－C30环烃基，并且在所述C3－C30环烃基中的至少一个－CH2－可以被－O－或－CO－取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1－C6全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。
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公开(公告)号：CN1955845A
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200610142439.3
申请日：2006-10-26
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: C07C309/12 , C07C2603/74 , C07D333/46
Abstract: 本发明提供一种式(I)的盐，其中环X表示含有三环或更多环并且含有10至30个碳原子的多环烃基，并且环X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷基、含有1至6个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；n表示1至12的整数；并且A+表示选自由上式(IIa)、(IIb)和(IIc)的阳离子组成的组中的阳离子。本发明还提供一种包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN1690851A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN200510066667.2
申请日：2005-04-21
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: C08F220/18 , C07C69/73 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , C07D307/33 , C08F220/28 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/115 , Y10S430/122
Abstract: 本发明提供一种化学放大型正光刻胶组合物，其包含(A)树脂和(B)酸生成剂，所述的树脂包含(i)一种式(I)的结构单元和(ii)选自式(II)、(III)、(IV)和(V)的结构单元中的至少一种结构单元。本发明还提供一种用于光刻胶组合物的新单体，以及制备这些单体和组合物的方法。
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