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公开(公告)号：CN111004996A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911322407.5
申请日：2015-04-28
Applicant: 大日本印刷株式会社
Inventor： 池永知加雄
IPC: C23C14/04 , C23F1/02 , H01L51/00 , H01L51/50 , H05B33/10 , B21B38/04 , B21B15/00 , B21B3/02 , B21B1/40
Abstract: 本发明提供一种金属板的制造方法以及蒸镀掩模的制造方法，该金属板能够制作抑制了贯通孔的尺寸偏差的蒸镀掩模。长度方向的金属板的板厚的平均值为规定值±3％的范围内。另外，在将长度方向的金属板的板厚的平均值设为A，将长度方向的金属板的板厚的标准偏差乘以3而得到的值设为B时，(B/A)×100(％)为5％以下。此外，在将宽度方向的金属板的板厚的标准偏差乘以3而得到的值设为C，将为了计算出宽度方向的金属板的板厚的标准偏差而沿着宽度方向测定金属板的板厚时得到的、宽度方向的中央部的金属板的板厚的值设为X时，(C/X)×100(％)为3％以下。
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公开(公告)号：CN110578119A
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201910496695.X
申请日：2019-06-10
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: C23C14/24 , C23C14/04 , C23C14/12 , C22C38/10 , C22C38/08 , C21D1/26 , C21D1/74 , C21D6/00 , C21D8/02 , C21D9/00 , C23F1/02 , C23F1/28 , B21C37/02
Abstract: 本发明涉及金属板、卷绕体及其梱包方法和保管方法、梱包体、蒸镀掩模的制造方法。提供一种能够适当地实施蒸镀掩模的检查工序的卷绕体。用于制造蒸镀掩模的金属板的卷绕体具备：轴构件，其具有150mm以上且550mm以下的外径；和金属板，其缠绕于轴构件上并具有50μm以下的厚度。
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公开(公告)号：CN109778113A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811344229.1
申请日：2018-11-13
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及制造蒸镀掩模的金属板及其制造方法、蒸镀掩模及其制造方法和具备其的蒸镀掩模装置。为了制造蒸镀掩模而使用的金属板具有30μm以下的厚度。通过利用EBSD法测定出现在金属板的截面中的晶粒并对测定结果进行分析而算出的晶粒的平均截面积为0.5μm2以上且50μm2以下。平均截面积通过在将晶体取向之差为5度以上的部分认定为晶界的条件下利用面积法对由EBSD法得到的测定结果进行分析而算出。
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公开(公告)号：CN108330435A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810034119.9
申请日：2018-01-15
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分，第1部分具有：位于第1面侧的第1端部；和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括：形成于第1面侧的第1凹部；和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108070823A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201711138223.4
申请日：2017-11-16
Applicant: 大日本印刷株式会社
Inventor： 池永知加雄
CPC classification number: C23C14/04 , C23C14/24 , H01L51/50 , H05B33/10 , C23C14/042
Abstract: 本发明提供蒸镀掩模，在使蒸镀掩模紧密贴合于被蒸镀基板时，能够抑制在该蒸镀掩模上产生皱褶。蒸镀掩模(20)具备：构成面对被蒸镀基板的一侧的面的第1面(20a)；和构成第1面(20a)的相反侧的面的第2面(20b)，蒸镀掩模具有形成有多个贯通孔(25)的有效区域(22)，具有长度方向(dL)，并沿长度方向(dL)排列有1个以上的有效区域(22)，且翘曲成至少在长度方向(dL)的中央部的与长度方向(dL)垂直的截面中凸向第1面(20a)侧。
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公开(公告)号：CN105637110B
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201480056293.3
申请日：2014-09-24
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C21D6/001 , C21D8/00 , C21D2261/00 , C23F1/00 , C23F1/02
Abstract: 本发明的目的在于提供一种金属板，该金属板能够制作抑制了贯通孔位置的偏差的蒸镀掩模。将热处理前后的距离之差相对于热处理前的样品中的2个测定点间的距离的百万分率定义为热复原率。该情况下，各样品中的热复原率的平均值为‑10ppm以上且+10ppm以下，且各样品中的热复原率的偏差为20ppm以下。
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公开(公告)号：CN106460150A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201680001423.2
申请日：2016-02-05
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供一种金属板，其能够在第1面上稳定地设置宽度窄的抗蚀剂图案。金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序。利用X射线光电子分光法实施了由板材得到的金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1/A2为0.4以下。
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公开(公告)号：CN105637110A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201480056293.3
申请日：2014-09-24
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C21D6/001 , C21D8/00 , C21D2261/00 , C23F1/00 , C23F1/02
Abstract: 本发明的目的在于提供一种金属板，该金属板能够制作抑制了贯通孔位置的偏差的蒸镀掩模。将热处理前后的距离之差相对于热处理前的样品中的2个测定点间的距离的百万分率定义为热复原率。该情况下，各样品中的热复原率的平均值为-10ppm以上且+10ppm以下，且各样品中的热复原率的偏差为20ppm以下。
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公开(公告)号：CN105492654A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480048190.2
申请日：2014-09-12
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: C23F1/00 , C23C14/021 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23F1/02
Abstract: 本发明的目的在于提供一种具有良好的传送性的金属板。金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4％以下。另外，中央部分的陡峭度的最大值为一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为另一端侧部分的陡峭度的最大值以下。此外，一端侧部分的陡峭度的最大值与另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4％以下。
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