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公开(公告)号：CN116356252B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202310424015.X
申请日：2020-10-09
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本公开提供蒸镀掩模的制造方法。一种蒸镀掩模的制造方法，其具备：准备金属板的工序，该金属板具备第1面和位于上述第1面的相反侧的第2面；以及加工工序，在上述金属板上形成两个以上的贯通孔，上述加工工序包含：第1面蚀刻工序，通过对上述第1面进行蚀刻而在上述第1面形成两个以上的第1凹部；利用树脂覆盖上述第1凹部的工序；第2面蚀刻工序，通过对上述第2面进行蚀刻而在上述第2面形成与上述两个以上的第1凹部连接的两个以上的第2凹部；以及除去上述树脂的工序，上述第1凹部包含形成有凹陷部的壁面、或者上述第2凹部包含形成有凹陷部的壁面。
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公开(公告)号：CN117305765A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202310760852.X
申请日：2023-06-26
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 一种掩模的制造方法、掩模及掩模装置的制造方法。所述掩模可以具备：第一部分，其包括至少1个第一贯通孔组；和第二部分，其包括至少1个在第一方向上与第一贯通孔组相邻的第二贯通孔组。掩模的制造方法可以具备：准备包括原始基材和抗蚀剂层的层叠体的步骤；使用第一曝光掩模，对与第一部分对应的抗蚀剂层进行曝光的第一曝光过程；使用第二曝光掩模，对与第二部分对应的抗蚀剂层进行曝光的第二曝光过程；对与第一部分对应的抗蚀剂层和与第二部分对应的抗蚀剂层进行显影的过程；以及隔着与第一部分对应的抗蚀剂层和与第二部分对应的抗蚀剂层对原始基材进行蚀刻的过程。
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公开(公告)号：CN116463585A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310454051.0
申请日：2020-03-27
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及一种蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。蒸镀掩模的贯通孔的壁面包括：从第1端向第2面扩展的第1壁面；从第2端向第1面扩展的第2壁面；在连接部连接到第1壁面的第2壁面；和连接第1壁面与第2壁面的连接部。沿着第1面的法线方向从第1面侧观察贯通孔时，贯通孔的第1端包括：沿第1方向延伸并具有第1尺寸的第1部分；和沿与第1方向交叉的第2方向延伸并具有比第1尺寸短的第2尺寸的第2部分。第1壁面包括：从第1部分向连接部扩展的第1壁面区划；和从第2部分向连接部扩展的第2壁面区划。第1壁面区划的高度小于第2壁面区划的高度。
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公开(公告)号：CN111004996B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN201911322407.5
申请日：2015-04-28
Applicant: 大日本印刷株式会社
Inventor： 池永知加雄
IPC: C23C14/04 , C23F1/02 , H01L51/00 , H01L51/50 , H05B33/10 , B21B38/04 , B21B15/00 , B21B3/02 , B21B1/40
Abstract: 本发明提供一种金属板的制造方法以及蒸镀掩模的制造方法，该金属板能够制作抑制了贯通孔的尺寸偏差的蒸镀掩模。长度方向的金属板的板厚的平均值为规定值±3％的范围内。另外，在将长度方向的金属板的板厚的平均值设为A，将长度方向的金属板的板厚的标准偏差乘以3而得到的值设为B时，(B/A)×100(％)为5％以下。此外，在将宽度方向的金属板的板厚的标准偏差乘以3而得到的值设为C，将为了计算出宽度方向的金属板的板厚的标准偏差而沿着宽度方向测定金属板的板厚时得到的、宽度方向的中央部的金属板的板厚的值设为X时，(C/X)×100(％)为3％以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111217023B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202010084742.2
申请日：2017-09-29
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供蒸镀掩模包装体、蒸镀掩模包装方法及蒸镀掩模的制造方法，该蒸镀掩模包装体具备：承接部；与承接部对置的盖部；以及蒸镀掩模，其被配置于承接部与盖部之间，具有多个有效区域，所述有效区域形成有贯通孔。承接部具有：与盖部对置的第1对置面；和设置于第1对置面的凹部。凹部被第1挠性膜覆盖。蒸镀掩模的有效区域隔着第1挠性膜被配置于凹部上。
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公开(公告)号：CN113388813A
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202110267508.8
申请日：2021-03-12
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本公开涉及有机器件及其制造装置、蒸镀室的评价及维护方法、标准掩模装置及其制造方法、标准基板。有机器件的制造装置的蒸镀室的评价方法具备：蒸镀工序，在蒸镀室中，经由标准掩模装置的标准掩模的贯通孔使材料蒸镀于包含标准标记的标准基板，在标准基板上形成蒸镀层；搬出工序，将形成有蒸镀层的标准基板从制造装置搬出；以及观察工序，观察从制造装置搬出的标准基板中的标准标记与蒸镀层的位置关系。
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公开(公告)号：CN110438447B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201910813046.8
申请日：2018-01-15
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分，第1部分具有：位于第1面侧的第1端部；和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括：形成于第1面侧的第1凹部；和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。
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公开(公告)号：CN111534788A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010081387.3
申请日：2020-02-06
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供蒸镀掩模装置、掩模支承机构及蒸镀掩模装置的制造方法。蒸镀掩模装置具备：框架；支承体，其具有固定于框架的多个支承部件；以及蒸镀掩模，其固定于框架。多个支承部件至少包含：第1支承部件，其最接近框架的第3部分与第4部分的中间位置；和第2支承部件，其比第1支承部件靠框架的第3部分侧。第1支承部件在从框架向下方以第1挠曲量挠曲的状态下从下方支承蒸镀掩模，第2支承部件在从框架向下方以比第1挠曲量小的第2挠曲量挠曲的状态下从下方支承蒸镀掩模。
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