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公开(公告)号:CN103278147A
公开(公告)日:2013-09-04
申请号:CN201310162684.0
申请日:2007-01-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/5607 , G01P15/097 , G01P15/18
CPC classification number: G01C19/5642 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/574 , G01P15/097 , G01P15/18
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器。该惯性力传感器包含用于检测惯性力的检测元件,检测元件具有第1正交臂和支承部,第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向连结,支承部支承第1臂。而且,第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据此结构既能检测互不相同的多个惯性力,也能检测多个检测轴的惯性力的小型惯性力传感器。
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公开(公告)号:CN101360968B
公开(公告)日:2013-06-05
申请号:CN200780001605.0
申请日:2007-01-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/5607 , G01P15/097 , G01P15/18
CPC classification number: G01C19/5642 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/574 , G01P15/097 , G01P15/18
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器。该惯性力传感器包含用于检测惯性力的检测元件,检测元件具有第1正交臂和支承部,第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向连结,支承部支承第1臂。而且,第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据此结构既能检测互不相同的多个惯性力,也能检测多个检测轴的惯性力的小型惯性力传感器。
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公开(公告)号:CN101598553B
公开(公告)日:2011-10-12
申请号:CN200910142583.0
申请日:2004-10-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/56
Abstract: 本发明提供一种旋转率传感器,包括:检测元件;电路单元,与检测元件电连接,以驱动方向的共振频率来驱动控制检测元件,并调整输出与从检测元件得到的旋转率相对应的信号;容器,用于收纳检测元件;以及片状的弹性体,被安装在容器上;其中,包含弹性体的旋转率传感器的支撑系统的传输特性曲线中的共振频率的峰值频率,小于检测元件的驱动方向以及旋转率检测方向的共振频率。
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公开(公告)号:CN101529257B
公开(公告)日:2011-06-15
申请号:CN200780038615.1
申请日:2007-11-09
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01P15/125 , G01P9/04 , G01C19/56
CPC classification number: G01P15/125 , G01C19/5719 , G01P1/023 , G01P5/14 , G01P15/18
Abstract: 本发明涉及一种传感器,其具备检测元件(28),该检测元件(28)具有加速度检测部。加速度检测部具有:经由可挠部(16)与固定部(14)连结的锤部(18)、与锤部(18)相对的基板部(10)、由配置于锤部(18)及基板部(10)的各自的相对面的相对电极(20、22、24、26)构成的电极部,由此,抑制锤部(18)向Z轴方向位移,能够提高X轴或Y轴的加速度的检测精度。
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公开(公告)号:CN101598552B
公开(公告)日:2011-06-01
申请号:CN200910142582.6
申请日:2004-10-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/56
Abstract: 本发明提供一种旋转率传感器,包括:检测元件;电路单元,与检测元件电连接,以驱动方向的共振频率来驱动控制检测元件,并调整输出与从检测元件得到的旋转率相对应的信号;容器,用于收纳检测元件;以及弹性体,被安装在容器上;其中,弹性体是嵌入了具有电传导性的细线的弹性体;包含弹性体的旋转率传感器的支撑系统的传输特性曲线中的共振频率的峰值频率,小于检测元件的驱动方向以及旋转率检测方向的共振频率;并且,支撑系统的传输特性曲线中的共振频率的峰值频率,大于作为检测元件的驱动方向的共振频率和旋转率检测方向的共振频率之差的失谐频率:并且,电路单元的低通滤波器的截止频率小于失谐频率。
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公开(公告)号:CN100535595C
公开(公告)日:2009-09-02
申请号:CN03801664.8
申请日:2003-08-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种角速度传感器包括具有音叉形状的基板(1),分别设在构成音叉的臂部上使臂部振动的驱动部(110),用来检测由各自的驱动部(110)造成的振动的监视部(150),以及用来当角速度施加时检测振动位移的检测部(120),其中每个驱动部(110)、每个监视部(150)和每个检测部(120)分别由在一个臂上形成的下电极层、压电体薄膜和上电极层组成,而压电薄膜的外周端部由具有至少一个平坦部的阶梯形状组成,取为在外周端部的平坦部上不设置上电极层的构成,借此防止下电极层与上电极层间的短路。
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公开(公告)号:CN100510630C
公开(公告)日:2009-07-08
申请号:CN02823621.1
申请日:2002-11-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5607 , H03H9/21 , H03H9/2484 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供一种提高了驱动效率的薄膜微型机械式谐振器(谐振器)、改善了对所加的角速度的检测灵敏度的谐振器陀螺仪、使用该谐振器陀螺仪的导航系统及汽车。谐振器包括由非压电材料制成的音叉、设于音叉的臂的主平面的内侧和外侧的第1和第2电极。在分别设于第1和第2电极上的第1和第2压电薄膜之上,分别设有第3和第4电极。通过在第3、第4电极上加上相互反相的交流电压,音叉就会以与中心线成直角的方向作为谐振方向而进行谐振。谐振器陀螺仪利用由其他电极和其他压电薄膜构成的检测部检测出与施加在该谐振器上的角速度对应的哥氏力。
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公开(公告)号:CN100494895C
公开(公告)日:2009-06-03
申请号:CN200580000023.1
申请日:2005-01-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5614
Abstract: 本发明提供一种角速度传感器,通过使用开关而在接头上产生同相的驱动信号,使臂(2)、(3)同时向音叉振子1的Z方向弯曲。分别由第一放大器和第二放大器对在臂(2)、(3)上设置的第十电极(22)和第十二电极(25)所得到的电荷进行放大处理。将这些输出值输入到差动放大器,由比较器对该输出值和由基准值发生装置所产生的规定值进行比较,在超过规定值的情况下判断为异常。由此,在音叉振子上不设置特别的异常诊断用信号输入电极、以及用于降低角速度输出的检测误差的基准电位接地电极的情况下,就能够进行异常诊断。
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公开(公告)号:CN1764822A
公开(公告)日:2006-04-26
申请号:CN200580000041.X
申请日:2005-02-01
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种角速度传感器,其包括:音叉型振子;设于音叉型振子上的驱动部;检测音叉型振子的挠变量的检测部。音叉型振子包括:具有第一端和第二端并具有基本振动频率的第一振动腕部、具有第一端和第二端并具有所述基本振动频率的第二振动腕部、以及将所述第一振动腕部的第一端和所述第二振动腕部的第一端连结的连结部。驱动部设置在所述第一振动腕部上,使所述第一振动腕部振动,具有驱动阻抗。检测部设置在所述第一振动腕部和所述第二振动腕部中的一个上,由所述音叉型振子上施加的角速度来检测第一振动腕部和第二振动腕部中的一个的挠变量。所述基本振动频率中驱动阻抗的值R1与同所述基本振动频率不同的频率的所述驱动阻抗的值R2的比R1/R2小于1。该角速度传感器即使受到外部干扰也不会输出不需要的信号。
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