角速度传感器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100535595C

    公开(公告)日:2009-09-02

    申请号:CN03801664.8

    申请日:2003-08-06

    CPC classification number: G01C19/5607

    Abstract: 一种角速度传感器包括具有音叉形状的基板(1),分别设在构成音叉的臂部上使臂部振动的驱动部(110),用来检测由各自的驱动部(110)造成的振动的监视部(150),以及用来当角速度施加时检测振动位移的检测部(120),其中每个驱动部(110)、每个监视部(150)和每个检测部(120)分别由在一个臂上形成的下电极层、压电体薄膜和上电极层组成,而压电薄膜的外周端部由具有至少一个平坦部的阶梯形状组成,取为在外周端部的平坦部上不设置上电极层的构成,借此防止下电极层与上电极层间的短路。

    角速度传感器
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1596363A

    公开(公告)日:2005-03-16

    申请号:CN03801664.8

    申请日:2003-08-06

    CPC classification number: G01C19/5607

    Abstract: 一种角速度传感器包括具有音叉形状的基板(1),分别设在构成音叉的臂部上使臂部振动的驱动部(110),用来检测由各自的驱动部(110)造成的振动的监视部(150),以及用来当角速度施加时检测振动位移的检测部(120),其中每个驱动部(110)、每个监视部(150)和每个检测部(120)分别由在一个臂上形成的下电极层、压电体薄膜和上电极层组成,而压电薄膜的外周端部由具有至少一个平坦部的阶梯形状组成,取为在外周端部的平坦部上不设置上电极层的构成,借此防止下电极层与上电极层间的短路。

    电阻器及其制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1449570A

    公开(公告)日:2003-10-15

    申请号:CN01814950.2

    申请日:2001-08-30

    CPC classification number: H01C17/006 H01C1/142 H01C17/288

    Abstract: 提供一种电阻器,可提高上面电极与端面电极电连接的可靠性及提高第一薄膜与第二薄膜的贴附力,能提高可靠性。在基板的一个主面上形成的上面电极由第一上面电极层和重叠在该第一上面电极层上的贴附层构成,同时设置在所述基板的边缘并与所述一对上面电极电连接的端面电极由位于基板边缘的第一薄膜和由Cu系合金薄膜构成的与该第一薄膜电连接的第二薄膜和由镍镀层构成的覆盖所述第二薄膜的第一镀膜和覆盖所述第一镀膜的第二镀膜构成。

    物理量传感器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102439405A

    公开(公告)日:2012-05-02

    申请号:CN201080022073.0

    申请日:2010-05-26

    CPC classification number: G01L9/0016 G01L1/162

    Abstract: 本发明提供一种物理量传感器,具备梁状的振动体和支撑梁状的振动体的两端的固定部。另外,在梁状的振动体的中央部形成驱动元件,在两端部形成反馈元件。构成为使梁状的振动体进行固有振动,并通过检测振动体的固有振动频率来检测作用于梁状的振动体的物理量。由此,能够以稳定的状态检测作用于物体的应变和载荷等物理量。

    物理量传感器
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102362162A

    公开(公告)日:2012-02-22

    申请号:CN201080013152.5

    申请日:2010-03-08

    CPC classification number: G01L1/183

    Abstract: 本发明提供一种物理量传感器,包括:起变形体,其根据应力而产生变形;振子,其以对应于该变形的频率或对应于该变形的振幅进行振动;以及处理电路,其对从振子输出的信号进行处理。振子配置在起变形体上,以便传递该变形。处理电路按照实质上不传递该变形的方式与起变形体结合。该物理量传感器能够稳定地检测作用于物体的变形或张力。

    电阻器
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100466112C

    公开(公告)日:2009-03-04

    申请号:CN02800503.1

    申请日:2002-02-28

    CPC classification number: H01C7/003 H01C1/148

    Abstract: 本发明的电阻器包括:一基板、一对设置于该基板的上面的上面电极层、和一连接于该一对上面电极层的电阻膜。该上面电极层由对基板和电阻膜的粘接性好的第1薄膜层、和具有比第1薄膜层的体积电阻率低的体积电阻率的第2上面电极薄膜。又,本发明的电阻器于基板的端缘设置有一对与上面电极层电连接的侧面电极,该侧面电极具有第1侧面电极薄膜层和第2侧面电极薄膜层,并且形成该第2侧面电极薄膜层的材料具有与该第1侧面电极薄膜层固溶的固溶性。

    电阻器及其制造方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1305079C

    公开(公告)日:2007-03-14

    申请号:CN01814950.2

    申请日:2001-08-30

    CPC classification number: H01C17/006 H01C1/142 H01C17/288

    Abstract: 提供一种电阻器,可提高上面电极与端面电极电连接的可靠性及提高第一薄膜与第二薄膜的贴附力,能提高可靠性。在基板的一个主面上形成的上面电极由第一上面电极层和重叠在该第一上面电极层上的贴附层构成,同时设置在所述基板的边缘并与所述一对上面电极电连接的端面电极由位于基板边缘的第一薄膜和由Cu系合金薄膜构成的与该第一薄膜电连接的第二薄膜和由镍镀层构成的覆盖所述第二薄膜的第一镀膜和覆盖所述第一镀膜的第二镀膜构成。

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