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公开(公告)号：CN109690236A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201780053363.3
申请日：2017-04-19
Applicant: CKD株式会社
Abstract: 提供一种利用波长不同的光来实现测量范围的扩大并能够实现测量效率的提高的三维测量装置。三维测量装置包括：偏振分束器(20)，将入射的规定的光分割为偏振方向相互正交的两束偏振光，将一束作为测量光照射到工件(W)上，且将另一束作为参照光照射到参照面(23)上，并且能够将它们再次合成并射出；第一光投射系统(2A)，使第一光入射到该偏振分束器(20)的第一面(20a)；第二光投射系统(2B)，使第二光入射到该偏振分束器(20)的第二面(20b)；第一拍摄系统(4A)，能够拍摄从偏振分束器(20)的第一面(20a)射出的所述第一光；以及第二拍摄系统(4B)，能够拍摄从偏振分束器(20)的第二面(20b)射出的所述第二光。
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公开(公告)号：CN107532891A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680025912.1
申请日：2016-01-08
Applicant: CKD株式会社
Abstract: 提供一种三维测量装置，当进行利用了相移法的三维测量时，能够以更短时间实现更高精度的测量。基板检查装置(1)包括：向印刷基板(2)照射预定的光图案的两个照明装置(4A、4B)；对被照射光图案部分进行拍摄的相机(5)；以及进行各种图像处理、运算处理等的控制装置(6)。并且，在第一照射装置(4A)的第一光图案下执行了第一拍摄处理后，不等待第一液晶栅格(4Ab)的切换处理的完成，能够在第二照射装置(4B)的第二光图案下执行第二拍摄处理。在第二光图案所涉及的测量中，利用通过预定的拍摄条件确定的增益与偏移的关系、以及根据图像数据上的各像素的亮度值确定的增益或者偏移的值，基于在相位变化为2组的第二光图案下拍摄的2组的图像数据，通过相移法进行高度测量。
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公开(公告)号：CN107407556A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680018284.4
申请日：2016-01-08
Applicant: CKD株式会社
Abstract: 提供一种在利用相移法进行三维测量时能够以更短时间实现更高精度的测量的三维测量装置。基板检查装置(8)具备：照明装置(10)，向印刷基板(1)照射预定的光图案；相机(11)，拍摄照射该光图案的部分；以及控制装置(12)，实施各种控制和图像处理、运算处理。控制装置(12)首先基于以四组相位照射与焊料区域对应的第一亮度的第一光图案来拍摄的四组图像数据，进行与焊料区域有关的三维测量，并且基于该四组图像数据掌握根据预定的拍摄条件所确定的增益和偏移的关系。接着基于以二组相位照射与背景区域对应的第二亮度的第二光图案来拍摄的二组图像数据，并利用所述增益和偏移的关系，进行与背景区域有关的三维测量。
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公开(公告)号：CN103827626A
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201280044167.7
申请日：2012-04-25
Applicant: CKD株式会社
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/022 , G01B11/2531 , G06T7/0008 , G06T2207/10012 , G06T2207/10152 , G06T2207/30141 , G06T2207/30152
Abstract: 提供能够在进行三维测量时实现测量精度的提高等的三维测量装置。基板检查装置（10）包括运送印刷基板（1）的传输带（13）、对印刷基板（1）照射亮度不同的四种图案光中的任一种的照明装置（14）、以及拍摄该图案光所照射的印刷基板（1）的相机（15）。并且，印刷基板（1）每被运送预定量，将相位每变化了预定量的同一亮度的图案光下拍摄的四套图像数据作为一组，获取在所述四种图案光下拍摄的四组的群数据。接着，判断图像数据的各像素的亮度值是否包含在预先设定的有效范围H内，并且从四个群数据中提取图像数据的各像素的亮度值处于有效范围H内的群数据，以该被提取的群数据为基础进行三维测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103162642A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201210132219.8
申请日：2012-04-27
Applicant: CKD株式会社
Inventor： 石垣裕之
IPC: G01B11/25
CPC classification number: G01B11/2509 , G01B11/2513 , G06T7/521 , G06T2207/10152 , G06T2207/30141 , G06T2207/30152
Abstract: 本发明提供一种三维测量装置，其中，在采用相移法而进行三维测量时，能谋求测量精度的提高，并且能谋求测量时间的缩短。基板检查装置包括：对印刷电路板照射条纹状的光图案的照射装置；对其摄像的照相机；根据已拍摄的图像数据进行三维测量的控制装置。照射装置包括发出规定光的光源与液晶快门，该液晶快门形成用于将该光变换为条纹状的光图案的光栅。控制装置在进行第1摄像处理后进行第2摄像处理，在两个摄像处理结束后，同时进行两个照射装置的光栅的切换处理，其中，上述第1摄像处理为从第1照射装置照射第1光图案而进行的多次摄像处理中的一次，该第2摄像处理为从第2照射装置照射第2光图案而进行的多次摄像处理中的一次。
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公开(公告)号：CN103123255A
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201210172459.0
申请日：2012-05-25
Applicant: CKD株式会社
Inventor： 石垣裕之
IPC: G01B11/25
CPC classification number: G01B11/25 , G01B11/245 , G06T7/521 , G06T2207/30141
Abstract: 本发明的课题在于提供一种三维测量装置，在进行采用相移法的三维测量时，可实现更高精度的测量。基板检查装置包括：照射装置，其对印刷电路板照射条纹状的光图案；对其进行摄像的照相机；控制装置，其根据已拍摄的图像数据进行三维测量。控制装置根据从第1照射装置照射第1光图案而获得的图像数据获得第1测量值，根据从第2照射装置照射第2光图案而获得的图像数据获得第2测量值。另外，针对照射两个光图案的全部照射区域，将由两个测量值指定的值作为该区域的高度数据，针对仅仅照射任意一者的一部分照射区域，根据由上述全部照射区域的高度数据而计算的补充数据，指定该区域相关的测量值的条纹次数，获得该区域的高度数据。
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公开(公告)号：CN101782375B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201010003942.7
申请日：2010-01-13
Applicant: CKD株式会社
CPC classification number: G01B11/0608 , G01B11/03
Abstract: 本发明提供一种三维测量装置，在进行采用了相位移法的三维测量时，能以较短的时间进行较高精度的测量。具有三维测量装置的基板检查装置包括照射装置，其对印刷有焊锡膏的印刷基板照射条纹状的光图案；CCD照相机，其对印刷基板上的被照射的部分进行摄像；控制装置，其根据通过前述摄像的图像数据进行三维测量。控制装置根据在第1位置照射周期为2μm的第1光图案而获得的图像数据，计算各像素的第1高度数据。另外，在按照半像素倾斜偏移的第2位置，根据照射周期为4μm的第2光图案而获得的图像数据，计算各像素的第2高度数据。接着，根据第2高度数据指定各第1高度数据的条纹数量，将该第1高度数据的值置换为考虑了条纹数量的值。
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公开(公告)号：CN101782375A
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN201010003942.7
申请日：2010-01-13
Applicant: CKD株式会社
CPC classification number: G01B11/0608 , G01B11/03
Abstract: 本发明提供一种三维测量装置，在进行采用了相位移法的三维测量时，能以较短的时间进行较高精度的测量。具有三维测量装置的基板检查装置包括照射装置，其对印刷有焊锡膏的印刷基板照射条纹状的光图案；CCD照相机，其对印刷基板上的被照射的部分进行摄像；控制装置，其根据通过前述摄像的图像数据进行三维测量。控制装置根据在第1位置照射周期为2μm的第1光图案而获得的图像数据，计算各像素的第1高度数据。另外，在按照半像素倾斜偏移的第2位置，根据照射周期为4μm的第2光图案而获得的图像数据，计算各像素的第2高度数据。接着，根据第2高度数据指定各第1高度数据的条纹数量，将该第1高度数据的值置换为考虑了条纹数量的值。
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公开(公告)号：CN1510393A
公开(公告)日：2004-07-07
申请号：CN200310118256.4
申请日：2003-12-08
Applicant: CKD株式会社
IPC: G01B11/24 , H05K3/00 , G01N21/956
Abstract: 本发明的课题在于提供一种测定装置，该测定装置即使在衬底发生翘曲等的情况下，仍不进行物理的矫正，可进行更加正确的测定。三维测定装置(1)包括三维测定用照射机构(5)；可通过Z轴移动机构(9)上下移动的CCD照相机(6)；主控制机构(7)。伴随各拍摄区域的拍摄和测定，在规定的拍摄区域，测定相对预定的基准标高的高度方向的偏差量，在该偏差量在预定的允许范围内的场合，在保持相对高度关系的状态，进行该区域的测定用的拍摄，当转移到下一拍摄区域时，按照偏差量，对相对高度关系进行补偿。在偏差量不在允许范围内的场合，按照偏差量，对相对高度关系进行补偿后，进行测定用的拍摄。
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