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公开(公告)号:CN102520581B
公开(公告)日:2014-05-21
申请号:CN201110442517.2
申请日:2009-07-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0382 , Y10S430/114 , Y10S430/128
Abstract: 本发明是一种化学增幅型光阻组合物,其至少含有1种或2种以上的具有羧基且不含有共价键结于碱性中心即氮上的氢的胺化合物或氧化胺化合物,但排除胺及氧化胺的氮原子被包含于芳香环的环状结构的情形。由此,可提供一种化学增幅光阻材料等的光阻材料、及使用此材料的图案形成方法,该光阻材料在用于微加工的微影成像术且特别是使用KrF激光、ArF激光、F2激光、极短紫外线、电子射线、X射线等作为曝光光源的微影术中,可赋予高解像性,同时在基板界面也能赋予良好图案形状。
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公开(公告)号:CN118878395A
公开(公告)日:2024-11-01
申请号:CN202410539199.9
申请日:2024-04-30
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07C19/01 , C07C17/16 , C07F3/02 , C07C2/86 , C07C9/22 , C07C29/36 , C07C29/40 , C07C31/125 , C07C45/51 , C07C47/02 , C07C41/48 , C07C43/303
Abstract: 本发明涉及一种如下通式(1)的1‑卤代‑2,6,14‑三甲基十八烷化合物,其中X1表示卤素原子。本发明还涉及制备如下通式(4)的5,13,17‑三甲基烷烃化合物的方法,其中n表示14至18的整数,该方法包括将上述1‑卤代‑2,6,14‑三甲基十八烷化合物(1)转化为如下通式(2)的亲核试剂2,6,14‑三甲基十八烷基化合物,其中M1表示Li或MgZ1,且Z1表示卤素原子或2,6,14‑三甲基十八烷基基团,随后使所述亲核试剂2,6,14‑三甲基十八烷基化合物(2)与如下通式(3)的亲电烷基试剂进行偶联反应,其中X2表示卤素原子或对甲苯磺酰氧基基团,且n如上文所定义,以形成上述5,13,17‑三甲基烷烃化合物(4)。#imgabs0#
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公开(公告)号:CN114380673B
公开(公告)日:2024-09-13
申请号:CN202111152190.5
申请日:2021-09-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07C45/51 , C07C47/21 , C07C43/315 , C07C41/50 , C07C41/48
Abstract: 本发明提供一种由如下通式(1)的二烷氧链烯基烷氧甲基醚化合物:R1CH2OCH2OCH2CH2CH=CH(CH2)aCH(OR2)(OR3) (1)来制备如下通式(5)的末端共轭链二烯醛化合物的方法:CH2=CHCH=CH(CH2)aCHO (5)其中a表示1至15的整数,式(1)中,R1表示氢原子、具有1至9个碳原子的正烷基基团、或苯基基团,R2和R3彼此独立地表示具有1至15个碳原子的一价烃基,或R2和R3可一起形成具有2至10个碳原子的二价烃基R2‑R3,且a如上所定义。
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公开(公告)号:CN112441895B
公开(公告)日:2024-01-23
申请号:CN202010905280.6
申请日:2020-09-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07C45/51 , C07C47/20 , C07C41/48 , C07C43/303 , C07F9/54
Abstract: 一种制备如下通式(2)的二烯炔醛化合物的方法:CH2=CHC≡CCH=CH(CH2)nCHO(2)其中n表示0到11的整数,该方法包括水解以下通式(1)的二烷氧基链二烯炔化合物以得到所述二烯炔醛化合物(2)的步骤:CH2=CHC≡CCH=CH(CH2)nCH(OR1)(OR2)(1)其中,R1和R2彼此独立地表示具有1至15个、优选1至8个、更优选1至4个碳原子的一1 2价烃基,或者R和R可以彼此键合以形成具有2
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公开(公告)号:CN110386855B
公开(公告)日:2023-03-28
申请号:CN201910310523.9
申请日:2019-04-17
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07C17/263 , C07C21/04 , C07C67/08 , C07C69/145 , C07F3/02 , C07C29/36 , C07C33/02
Abstract: 本发明的目的是以高收率和高纯度制备(9E,11Z)‑9,11‑十六碳二烯基乙酸酯。本发明提供了一种制备通式(1):CH3‑(CH2)3‑CH=CH‑CH=CH‑(CH2)a‑X的1‑卤代二烯的方法,包括在通式(2):OHC‑CH=CH‑(CH2)a‑X的卤代烯烃和通式(3):CH3‑(CH2)3‑CH‑‑P+Ar3的三芳基戊基鏻之间进行维蒂希反应以得到1‑卤代二烯的步骤,以及通过制备(9E,11Z)‑9,11‑十六碳二烯基乙酸酯的方法得到的(7E,9Z)‑1‑卤代‑7,9‑十四碳二烯的用途。
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公开(公告)号:CN115448838A
公开(公告)日:2022-12-09
申请号:CN202210634265.1
申请日:2022-06-06
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07C69/145 , C07C67/08
Abstract: 本发明提供一种制备如下通式(3)的2‑(1,5,5‑三甲基‑2‑环戊烯基)乙酸乙酯的方法,其中Ac表示乙酰基基团,该方法包括:使如下通式(1)的卤代乙醛烷基3,4,4‑三甲基‑2‑环戊烯基缩醛化合物,其中R表示具有1至4个碳原子的直链或支链烷基基团,且Y表示卤素原子,在碱的存在下进行脱氢卤化反应,随后进行重排反应以获得如下通式(2)的(1,5,5‑三甲基‑2‑环戊烯基)乙酸酯化合物,其中R如上定义,并使(1,5,5‑三甲基‑2‑环戊烯基)乙酸酯化合物(2)的烷氧基羰基甲基基团进行多步转化以转化为2‑乙酰氧基乙基基团,从而获得2‑(1,5,5‑三甲基‑2‑环戊烯基)乙酸乙酯(3)。
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公开(公告)号:CN109956850B
公开(公告)日:2022-06-21
申请号:CN201811600494.1
申请日:2018-12-26
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 提供用于选择性地且高效地生产3,7‑二甲基‑7‑辛烯醇及其羧酸酯的方法。更具体地提供一种用于生产3,7‑二甲基‑7‑辛烯醇的方法,包括以下步骤:使3‑甲基‑3‑丁烯基亲核试剂(2)和1,3‑二卤代‑2‑甲基丙烷化合物(3)进行偶联反应,得到2,6‑二甲基‑6‑庚烯基卤化合物(4);将所述化合物(4)转化为2,6‑二甲基‑6‑庚烯基亲核试剂(5);和使所述亲核试剂(5)与选自由甲醛、多聚甲醛和1,3,5‑三噁烷组成的组中的至少一种亲电试剂进行加成反应,然后进行水解反应,得到3,7‑二甲基‑7‑辛烯醇(6),具体结构式如下。
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公开(公告)号:CN114621073A
公开(公告)日:2022-06-14
申请号:CN202111483900.2
申请日:2021-12-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07C47/21 , C07C45/41 , C07C67/39 , C07C69/533 , C07C67/08
Abstract: 本发明涉及一种用于制备下式(2)3‑异丙烯基‑6‑庚烯醛化合物的方法:其中R1表示氢原子或甲基基团,该方法包括:使下式(1)的3‑异丙烯基‑6‑庚烯酸酯化合物与还原剂进行还原反应从而形成3‑异丙烯基‑6‑庚烯醛化合物(2),式(1)中R1如上所定义,且R2表示具有1至10个碳原子的一价烃基。
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公开(公告)号:CN113831232A
公开(公告)日:2021-12-24
申请号:CN202110703343.4
申请日:2021-06-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供了一种用于制备下式(4)的(9Z,11E)‑9,11‑十六碳二烯醛的方法,包括:使下式(1)的(2E)‑2‑庚烯醛与以下通式(2)的三芳基膦9,9‑二烷氧基壬基叶立德化合物发生维蒂希反应,其中Ar表示可以彼此相同或不同的芳基基团,R1和R2彼此独立地表示具有1至15个碳原子的一价烃基,或R1和R2可一起形成具有2至10个碳原子的二价烃基R1‑R2,以形成以下通式(3)的(5E,7Z)‑16,16‑二烷氧基‑5,7‑十六碳二烯化合物,其中R1和R2如上定义;和使(5E,7Z)‑16,16‑二烷氧基‑5,7‑十六碳二烯化合物(3)水解以形成(9Z,11E)‑9,11‑十六碳二烯醛(4)。
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公开(公告)号:CN108727170B
公开(公告)日:2021-10-26
申请号:CN201810362349.8
申请日:2018-04-20
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07C45/42 , C07C47/21 , C07C17/272 , C07C21/04
Abstract: 提供了用作具有跳跃二烯骨架的中间体的1‑卤代‑6,9‑十五碳二烯和制备(7Z,10Z)‑7,10‑十六碳二烯醛的方法。更具体而言,提供了制备(7Z,10Z)‑7,10‑十六碳二烯醛的方法,其包括使由(6Z,9Z)‑1‑卤代‑6,9‑十五碳二烯制成的格氏试剂与原甲酸酯进行亲核取代反应,以得到(7Z,10Z)‑1,1‑二烷氧基‑7,10‑十六碳二烯;以及在不进行氧化反应的情况下水解所述(7Z,10Z)‑1,1‑二烷氧基‑7,10‑十六碳二烯以获得(7Z,10Z)‑7,10‑十六碳二烯醛;等等。
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