光阻图案形成方法
    41.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102520581B

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201110442517.2

    申请日:2009-07-10

    CPC classification number: G03F7/0045 G03F7/0382 Y10S430/114 Y10S430/128

    Abstract: 本发明是一种化学增幅型光阻组合物,其至少含有1种或2种以上的具有羧基且不含有共价键结于碱性中心即氮上的氢的胺化合物或氧化胺化合物,但排除胺及氧化胺的氮原子被包含于芳香环的环状结构的情形。由此,可提供一种化学增幅光阻材料等的光阻材料、及使用此材料的图案形成方法,该光阻材料在用于微加工的微影成像术且特别是使用KrF激光、ArF激光、F2激光、极短紫外线、电子射线、X射线等作为曝光光源的微影术中,可赋予高解像性,同时在基板界面也能赋予良好图案形状。

    2-(1,5,5-三甲基-2-环戊烯基)乙酸乙酯的制备方法

    公开(公告)号:CN115448838A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202210634265.1

    申请日:2022-06-06

    Abstract: 本发明提供一种制备如下通式(3)的2‑(1,5,5‑三甲基‑2‑环戊烯基)乙酸乙酯的方法,其中Ac表示乙酰基基团,该方法包括:使如下通式(1)的卤代乙醛烷基3,4,4‑三甲基‑2‑环戊烯基缩醛化合物,其中R表示具有1至4个碳原子的直链或支链烷基基团,且Y表示卤素原子,在碱的存在下进行脱氢卤化反应,随后进行重排反应以获得如下通式(2)的(1,5,5‑三甲基‑2‑环戊烯基)乙酸酯化合物,其中R如上定义,并使(1,5,5‑三甲基‑2‑环戊烯基)乙酸酯化合物(2)的烷氧基羰基甲基基团进行多步转化以转化为2‑乙酰氧基乙基基团,从而获得2‑(1,5,5‑三甲基‑2‑环戊烯基)乙酸乙酯(3)。

    (9Z,11E)-9,11-十六碳二烯醛的制备方法

    公开(公告)号:CN113831232A

    公开(公告)日:2021-12-24

    申请号:CN202110703343.4

    申请日:2021-06-24

    Abstract: 本发明提供了一种用于制备下式(4)的(9Z,11E)‑9,11‑十六碳二烯醛的方法,包括:使下式(1)的(2E)‑2‑庚烯醛与以下通式(2)的三芳基膦9,9‑二烷氧基壬基叶立德化合物发生维蒂希反应,其中Ar表示可以彼此相同或不同的芳基基团,R1和R2彼此独立地表示具有1至15个碳原子的一价烃基,或R1和R2可一起形成具有2至10个碳原子的二价烃基R1‑R2,以形成以下通式(3)的(5E,7Z)‑16,16‑二烷氧基‑5,7‑十六碳二烯化合物,其中R1和R2如上定义;和使(5E,7Z)‑16,16‑二烷氧基‑5,7‑十六碳二烯化合物(3)水解以形成(9Z,11E)‑9,11‑十六碳二烯醛(4)。

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