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公开(公告)号:CN101918888A
公开(公告)日:2010-12-15
申请号:CN200980102063.5
申请日:2009-03-31
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: G02F1/1343 , C22C21/00 , C22F1/04 , G09F9/30 , H01L21/3205 , H01L23/52 , H01L29/786
CPC classification number: H01L29/458 , C22C21/00 , C22C21/10 , C23C14/3414 , H01L27/12 , H01L27/124 , H01L29/4908 , Y10T428/12049
Abstract: 本发明开发一种铝合金膜,并提供一种具有该铝合金膜的显示装置,所述铝合金膜在用于显示装置的薄膜晶体管基板的配线构造中可以使铝合金薄膜与透明像素电极直接接触,同时可以兼顾低电阻率和耐热性,改善对薄膜晶体管的制造工序中使用的胺系剥离液及碱性显影液的腐蚀性。本发明涉及一种显示装置,其为氧化物导电膜和Al合金膜直接接触、Al合金成分的至少一部分在所述Al合金膜的接触表面析出而存在的显示装置,其中,所述Al合金膜包含至少1种选自Ni、Ag、Zn及Co中的元素(元素X1)、以及至少1种可以与所述元素X1形成金属间化合物的元素(元素X2),形成最大直径150nm以下的由X1-X2及Al-X1-X2中的至少一方表示的金属间化合物。
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公开(公告)号:CN101548324A
公开(公告)日:2009-09-30
申请号:CN200880000927.8
申请日:2008-04-10
Applicant: 索尼碟片数位解决方案股份有限公司 , 株式会社神户制钢所 , 克贝鲁可科研股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种包括反射膜的只读光学信息记录介质,该反射膜具有高反射率,并且在被保持在高温高湿环境中时的耐环境性以及在被保持在高强度光照射环境中时的耐光性和对于重复再生试验的重复再生耐用性方面都很优良。在基板上顺序层压了至少一层反射膜和至少一层透光层的只读光学信息记录介质中,所述反射膜由包括0.01at%~1.0at%的Bi和0.1at%~13.0at%的Cu的Ag基合金构成。
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公开(公告)号:CN100334239C
公开(公告)日:2007-08-29
申请号:CN200410100020.2
申请日:2004-11-30
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C22C5/06 , C23C14/185 , C23C14/3414 , Y10T428/12896
Abstract: 本发明提供一种兼有低电阻率、高耐热性的FPD用Ag基合金配线电极膜、以及用于形成该Ag基合金配线电极膜的FPD用Ag基合金溅射靶、以及具备该Ag基合金配线电极膜的FPD。本发明的FPD用Ag基合金配线电极膜,在有源型FPD的情况下,构成连接到用于使其驱动的TFT2上的配线电极膜(3)、(4)、(5)、(6)、(7)。所述配线电极膜,由含有0.1~4.0at%的Nd、和/或0.01~1.5at%的Bi、剩余部分实质上由Ag构成的Ag基合金形成。除了Nd之外,所述Ag基合金还可以含有合计0.01~1.5at%的选自由Cu、Au、Pd构成的物质组中的一种或者两种以上元素。
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公开(公告)号:CN1331138C
公开(公告)日:2007-08-08
申请号:CN200510066665.3
申请日:2005-04-21
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: G11B7/258 , G11B7/2533 , G11B7/2534 , G11B7/259 , Y10T428/21
Abstract: 考虑到这种情况,完成了本发明,且本发明的一个目的是发现显示通过纯Ag或通过常规Ag合金没有实现的水平的高耐内聚性、高耐光性、高耐热性、高反射率、高透射率、低吸光率,和高热传导率的Ag基合金,和在这种合金的基础上,提供一种具有优异写/读性能和长期使用可靠性的光学信息记录介质用半反射膜和反射膜;在沉积这种半反射膜和反射膜中使用的光学信息记录介质用溅射靶材;和一种配备有这种半反膜或反射膜的光学信息记录介质。光学信息记录介质用半反射膜或反射膜,其包含Ag基合金,其中Ag基合金包含0.005至0.40%(原子%,除非另外注明)的Bi和总量为0.05至5%的选自Zn、Al、Ga、In、Si、Ge和Sn中的至少一种元素。
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公开(公告)号:CN1303437C
公开(公告)日:2007-03-07
申请号:CN200410063217.3
申请日:2004-06-30
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/024 , C23C14/185 , C23C14/3414 , C23C14/541 , G02B5/08 , Y10T428/12472 , Y10T428/12993
Abstract: 一种反射器用银合金反射膜及反射器,(1)是以表面粗糙度Ra在2.0nm以下为特征的反射器用银合金反射膜,(2)在上述银合金反射膜中含有合计0.1%~3.0原子%的稀土类元素(Nd等),或者是进一步含有合计0.5%~5.0原子%的Au、Pd、Cu、Pt中的一种以上的反射器用银合金反射膜,(3)在基体上形成上述银合金反射膜的反射器等。该反射器用银合金反射膜和反射器,即使在加热环境下表面平滑性也优良、显示高反射率。
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公开(公告)号:CN1823179A
公开(公告)日:2006-08-23
申请号:CN200480020394.1
申请日:2004-07-14
CPC classification number: C22C5/06 , C22F1/14 , C23C14/3414
Abstract: 一种Ag系溅射靶(6),在和溅射面平行的面上切断该溅射靶而使多个溅射面露出,在每个露出的溅射面上选择多个位置,通过下式基于全部的选择位置的结晶粒径而算出值A1以及值B1,当这些值A1以及值B1中的大的值被称为结晶粒径的3维偏差时,该结晶粒径的3维偏差为18%以下。A1=(Dmax-Dave)/Dave×100(%),B1=(Dave-Dmin)/Dave×100(%),Dmax:全部选择位置的结晶粒径D的最大值,Dmin:全部选择位置的结晶粒径D的最小值,Dave:全部选择位置的结晶粒径D的平均值。
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公开(公告)号:CN1734606A
公开(公告)日:2006-02-15
申请号:CN200510083393.8
申请日:2005-07-14
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 一种用于光学信息记录介质的Ag合金反射膜,其含有Ag作为主要组分,还含有总量大于3.0atom%且小于或等于10atom%的选自Nd、Sn、Gd和In的至少一种元素。该反射膜还可以含有0.01-3atom%的Bi和Sb中的至少一种,和/或还可以含有20atom%或更少的选自Mn、Cu、La和Zn的至少一种元素。一种光学信息记录介质,其包括该Ag合金反射膜,可以进行激光标示。一种Ag合金溅射目标,具有与Ag合金反射膜类似的组成。
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公开(公告)号:CN1719320A
公开(公告)日:2006-01-11
申请号:CN200510081886.8
申请日:2005-07-06
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: G02F1/136227 , G02F1/1368
Abstract: 显示器及其制备方法。该显示器包括基材、在所述基材上形成的薄膜晶体管和透明导电膜以及使所述薄膜晶体管和所述透明导电膜电连接的铝合金膜,以使在所述铝合金膜和所述透明导电膜之间界面处存在所述铝合金的氧化物膜,而所述氧化物膜具有1~10nm的厚度并含有不超过44原子%的氧。该显示器具有彼此直接接触的铝合金膜和透明导电膜,避免了在它们之间需要阻挡层金属。
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公开(公告)号:CN1576892A
公开(公告)日:2005-02-09
申请号:CN200410063217.3
申请日:2004-06-30
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/024 , C23C14/185 , C23C14/3414 , C23C14/541 , G02B5/08 , Y10T428/12472 , Y10T428/12993
Abstract: 一种反射器用银合金反射膜及反射器,(1)是以表面粗糙度Ra在2.0nm以下为特征的反射器用银合金反射膜,(2)在上述银合金反射膜中含有合计0.1%~3.0原子%的稀土类元素(Nd等),或者是进一步含有合计0.5%~5.0原子%的Au、Pd、Cu、Pt中的一种以上的反射器用银合金反射膜,(3)在基体上形成上述银合金反射膜的反射器等。该反射器用银合金反射膜和反射器,即使在加热环境下表面平滑性也优良、显示高反射率。
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