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公开(公告)号：CN102420244A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110359848.X
申请日：2011-11-14
Applicant: 清华大学
IPC: H01L29/737 , H01L21/331 , H01L29/10
Abstract: 本发明提出一种一维金属/半导体纳米异质结晶体管及制备方法，该方法包括以下步骤：提供具有氧化层硅片；在氧化层上设置第一电极对和与其成预定角度的第二电极对，第一电极对包括第一和第二电极，第二电极对包括第三和第四电极；在第一和第二电极之间放入电镀液并对其施加交流电形成中间部分断开的一维金属纳米线；在中间断开处放入包含半导体纳米线的悬浮液并对其施加交流电将半导体纳米线与一维金属纳米线连接；在第三和第四电极之间形成另一一维金属纳米线。该方法实现载流子一维电传导减弱了散射效应的影响。并利用交流电沉积和介电电泳相结合的方法组装一维异质结在目标位置。具有无需掩模和真空环境的特点，成本低，适合批量生产。
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公开(公告)号：CN102313818A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110201164.7
申请日：2011-07-18
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出一种基于单壁碳纳米管阵列的柔性压阻流场传感器及制作方法，该基于单壁碳纳米管阵列的柔性压阻流场传感器包括柔性基底；至少一组微电极对，每一组微电极对包括：间隔地设置在柔性基底上第一微电极和第二微电极；至少一组单壁碳纳米管阵列，每一组单壁碳纳米管阵列的两端分别与对应地一组微电极对的第一微电极和第二微电极相连以使每一组单壁碳纳米管阵列处于拉伸状态，且每一组单壁碳纳米管阵列与柔性基底间隔开。根据本发明的基于单壁碳纳米管阵列的柔性压阻流场传感器具有灵敏度高、尺寸小、柔韧性强以及功耗低的优点。本发明实施例的制作方法设计简单，易于实现，且适用于该传感器的批量生产。
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公开(公告)号：CN101845646A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200910080813.5
申请日：2009-03-23
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种具有单晶和多晶结构的金纳米线的制备方法，包括以下步骤：1)采用半导体工艺在硅片上形成的金或铂的金属电极对；2)将上述硅片放入电镀槽的电镀液中，并在金属电极对上通以交流电，进行金纳米线的电沉积；3)将硅片取出，清洗烘干，完成具有单晶和多晶结构的金纳米线的制备。本发明的方法无需模板、具有简单快速、经济地实现单晶和多晶结构的金纳米线的制备。所获得的单晶和多晶结构的金纳米线的直径在5～100nm，长径比大于200。
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公开(公告)号：CN101555450A
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200810103558.7
申请日：2008-04-08
Applicant: 清华大学
CPC classification number: C12M35/04
Abstract: 本发明涉及一种实现对单细胞或小组织内部的注射和吸引的超声装置，包括穿刺微针本体的末端通过过渡接头与变幅杆固定；一超声换能器由一段中心开有螺孔的金属圆柱，一段加工出螺钉的金属圆柱，2压电陶瓷圆环与3片电极相间排列，加装在金属圆柱之间，通过螺钉连接成一体；第一金属圆柱的另一端面设一凸台，橡胶导管一端套在凸台上，该橡胶导管的另一端与压力调节部件连接；功率正弦信号发生器与所述的电极片电连接；超声换能器一端相连的变幅杆。本发明的超声装置，适于操作植物细胞或卵细胞类具有坚固细胞壁或具有弹性细胞膜，能避免细胞膜和细胞骨架的大幅度变形对细胞本体造成的伤害，提高穿刺成功率，实现向胞内注射外源物质或吸引胞内或组织内部组分。
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公开(公告)号：CN100451657C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200510007632.1
申请日：2005-02-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种微型膜片式加速度传感器的本体以及制备方法，该本体包括硅膜片和上盖、下盖，金电极和引线封装结构；其中在硅膜片上、下表面中心设置一圆形质量块；在硅膜片的周边有一凸起圆环，在凸起圆环内侧和质量块外侧相对称处设置两对一维或二维纳米材料；上盖或下盖的周边有一凸起圆环，并在上盖或下盖内的中心处设一凸起保护块，在膜片和纳米敏感元件上制作N对金电极和引线；膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起，并采用压焊工艺引出导线。本发明的制造工艺包括在离心力或电极电场诱导下，采用化学气相沉积工艺实现纳米材料在微结构上的定向、可控生长。根据本发明的这种微型膜片式加速度传感器具有很高的灵敏度，并可进行批量生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1892028A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN03157069.0
申请日：2003-09-12
Applicant: 清华大学 , 韩国三星综合技术研究院
IPC: F04B45/047
Abstract: 本发明公开了属于精密机械中微型流体泵技术领域的一种双压电梁驱动的膜片气泵。它包含一个腔体、两个双压电梁、一个带有单向阀的膜片以及引出电极。其中双压电梁一端固支，另一端与膜片的侧边相连。泵腔内的双压电梁通入交变电压驱动膜片在谐振点振动，通过膜片上单向阀的作用，使空气沿一个方向流动，实现与外界的气体交换。这种气泵具有结构简单、输出流量大、功耗低、侧面尺寸小、无电磁噪音、可动部件少、可靠性高等诸多优点，易于推广应用。
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公开(公告)号：CN1279338C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200410091549.2
申请日：2004-11-19
Applicant: 清华大学
Abstract: 共振隧穿微机械力传感器及其制造方法，属于微机电系统和传感技术领域。为了增加隧穿间隙以降低制造和控制的难度、提高传感器灵敏度，本发明公开了一种共振隧穿微机械力传感器，主要结构由上、下两个硅片组成，上硅片下表面生长有隧穿阳极，下硅片上表面与隧穿阳极对应位置处生长有隧穿阴极，隧穿阴极表面生长具有多薄层结构的隧穿结，多薄层结构由绝缘体性材料和金属性材料交替结合而成，或由不同带隙的半导体材料交替结合而成。本发明还公开了制造所述微机械力传感器的方法。本发明所述微机械力传感器具有灵敏性高、功耗低、噪声低、温度系数小等优点，而且加工工艺简单，适合大批量生产，易于推广应用。
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公开(公告)号：CN1805650A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200510056940.3
申请日：2005-03-24
Applicant: 清华大学
IPC: H05H3/02
Abstract: 本发明提供一种原子芯片用原子束的发生方法和装置。该装置包括真空室、原子源、二维微调台、磁铁和内外光路系统；内外光路系统中包括主激光器和再泵浦激光器；真空室内安装有中心带有孔的1/4波片反射镜组和直导线组；磁光阱中采用光学泵浦激光和再泵浦激光将原子制备到最优弱场搜寻态上。本发明装置体积小、结构简单，能够为原子芯片提供最优弱场搜寻态、纵向速度低且分布均匀、横向速度几乎为零、密度高的原子束，可应用于原子在芯片上导引、分波、干涉、原子钟以及玻色－爱因斯坦凝聚(BEC)研究。
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公开(公告)号：CN117250549A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311432077.1
申请日：2023-10-31
Applicant: 清华大学
IPC: G01R31/396 , G01D21/02
Abstract: 本申请提供了一种基于柔性传感器的电池/电池组监测装置、系统及方法，所述装置包含一个或多个柔性传感器；所述柔性传感器用于根据待测电池/电池组的结构特征变形调整后，采集所述待测电池/电池组的状态参数变化数据；其中，所述变形调整至少包含折叠、弯曲、裁剪、切割和粘接中一种或多种的组合。以此，对柔性传感器进行折叠、弯曲、裁剪、切割、粘接等操作使结构变形后的柔性传感器能够与电池组中多个相邻电池的关键部位同时接触、也更容易布置在电池内部狭小空间中的关键位置。
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公开(公告)号：CN109518185B
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201910025845.9
申请日：2019-01-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供了一种具有可动结构的器件的表面防护方法，包括步骤：将器件置于化学气相沉积室内，在沉积温度‑20～400℃的条件下，将沉积材料均匀地沉积在器件的外围，在器件的外围形成第一保护层；采用原子层沉积技术在第一保护层的外围形成第二保护层；第二保护层为氧化物或金属形成的纳米级涂层，用于防护10个以下的水或其它液体分子组成的小分子团等影响器件的液体分子的侵蚀；第一保护层为聚合物形成的微米级防止液体影响的涂层，用于防护10个以上的水或其它液体分子组成的大分子团等液体分子的侵蚀。本发明的表面防护方法能提高对具有可动结构的器件的防护效果，保证具有可动结构的器件的精度和灵敏度。
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