公开(公告)号：CN101030764A

公开(公告)日：2007-09-05

申请号：CN200710085821.X

申请日：2007-02-28

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 三浦道雄 ,  松田聪 ,  松田隆志 ,  上田政则 ,  水户部整一

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/25 ,  H03H9/64

CPC classification number: H03H9/0222 ,  H03H9/02559 ,  H03H9/14541 ,  H03H9/6483

Abstract: 本发明公开了一种弹性边界波器件、谐振器以及滤波器。所述弹性边界波器件包括：LiNbO3基板；设置在所述基板上并激励弹性波的电极；以及设置在所述基板上以覆盖所述电极的二氧化硅膜，并且所述弹性边界波器件的参数具有范围中的任意一个，其中，“θ”为所述基板的旋转Y切割角，“a”为铜密度与用作所述电极的材料的密度之比，“λ”为由所述电极激励的弹性波的波长，“h”为所述电极的膜厚度，“H”为所述二氧化硅膜的厚度。

公开(公告)号：CN1788415A

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：CN200580000353.0

申请日：2005-01-05

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 神藤始

IPC: H03H9/145 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H03H3/08 ,  H03H9/25

CPC classification number: H04R31/00 ,  H03H3/08 ,  H03H9/0222 ,  H03H9/02929 ,  H03H9/059 ,  H03H9/1078 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49007 ,  Y10T29/4908 ,  Y10T29/49798

Abstract: 一种使用SH边界声波的边界声波装置，其中可以有效地减小不希望有的乱真响应，并能产生优异的谐振特性或滤波器特性。边界声波装置1包括第一介质层2，层叠在第一介质层2上的第二介质层6，以及包含指状电极3和反射器4和5的电极。在第一介质层2和/或第二介质层6上与它们之间的界面相对的表面上设置吸音层7。

公开(公告)号：CN105978524A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201610137318.3

申请日：2016-03-11

Applicant: 天工松下滤波方案日本有限公司

Inventor： 小松禎也 ,  清水英仁 ,  藤原城二 ,  鹤成哲也 ,  中村弘幸

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/145 ,  H03H9/64

CPC classification number: H03H9/25 ,  H03H9/02559 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/6496 ,  H03H9/725 ,  H03H9/0222 ,  H03H9/14538 ,  H03H9/6433

Abstract: 一种声波元件、天线双工器和电子设备。一种声波元件，包括：钽酸锂衬底，具有欧拉角(θ,ψ)，第一分量满足以及电极，设置在所述钽酸锂衬底上并且配置为激发波长λ的主声波，所述电极的密度ρM满足ρM≥ρTi，其中ρTi表示钛(Ti)的密度，并且所述电极的厚度hM满足0.141×exp(‑0.075ρM)λ≤hM≤0.134λ。本申请的实施例最小化了电极的厚度并且抑制了瑞利波杂散信号。

公开(公告)号：CN103262410B

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201180059880.4

申请日：2011-12-20

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 木户俊介 ,  岩本英树 ,  神藤始 ,  渡边宗久

IPC: H03H9/145 ,  H03H3/08 ,  H03H9/25

CPC classification number: H03H9/0222 ,  H01L41/04 ,  H01L41/047 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H03H3/02 ,  H03H3/04 ,  H03H3/08 ,  H03H3/10 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/54 ,  H03H2003/023 ,  H03H2003/027 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155

Abstract: 提供能对应高频且能提高Q值的弹性波装置。本发明的弹性波装置（1）中，在支撑基板（2）上层叠有进行传播的体波声速比在压电膜（5）传播的弹性波声速高的高声速膜（3），在高声速膜（3）上，层叠有进行传播的体波声速比在压电膜（5）传播的体波声速低的低声速膜（4），在低声速膜（4）上层叠有上述压电膜（5），且在压电膜（5）的一面层叠有IDT电极（6）。

公开(公告)号：CN101796727B

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN200780100263.8

申请日：2007-08-14

Applicant: 太阳诱电株式会社

Inventor： 松田隆志 ,  松田聪 ,  三浦道雄

IPC: H03H9/25

CPC classification number: H03H9/0222 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/6433

Abstract: 本发明的弹性边界波装置包括多个弹性边界波元件，所述弹性边界波装置的特征在于，所述弹性边界波元件包括：压电材料层；电极，所述电极配置在所述压电材料层之上；第一电介质层，所述第一电介质层以覆盖所述电极的方式形成在所述压电材料层之上；以及第二电介质层，所述第二电介质层形成在所述第一电介质层之上；所述第二电介质层的声速比所述第一电介质层的声速快，所述多个弹性边界波元件中的至少一个弹性边界波元件的第二电介质层的声速不同于其他弹性边界波元件的第二电介质层的声速。由此，能够改善弹性边界波装置的作为滤波器的抑制度。

公开(公告)号：CN102948073B

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201180029717.3

申请日：2011-05-31

Applicant: 天工松下滤波方案日本有限公司

Inventor： 冈本庄司 ,  后藤令 ,  中西秀和 ,  中村弘幸

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/72

CPC classification number: H03H9/14541 ,  H03H9/0222 ,  H03H9/02559

Abstract: 本发明提供一种弹性波元件。IDT电极从压电体侧开始依次具有以Mo为主成分的第1电极层、和设置在第1电极层上且以Al为主成分的第2电极层，IDT电极具有0.15λ以下的总膜厚，并且第1电极层具有0.05λ以上的膜厚，第2电极层具有0.025λ以上的膜厚。

公开(公告)号：CN103891138A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201280047258.6

申请日：2012-09-24

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 神藤始 ,  岩本英树

IPC: H03H9/145

CPC classification number: H03H9/17 ,  H03H9/0222 ,  H03H9/02559 ,  H03H9/02574

Abstract: 本发明提供不管压电体的厚度偏差如何都难以产生频率特性的偏差且能提高机电耦合系数k2的弹性波装置。弹性波装置(1)在支承基板(2)上层叠介质层(3)、压电体(4)以及IDT电极(5)，所述介质层(3)由包含低速介质和高速介质的介质构成，其中低速介质是与在压电体中传播、利用的弹性波的传播速度相比与该弹性波的主振动分量相同的体波的传播速度低的介质，高速介质是与该弹性波的主振动分量相同的体波的传播速度高于该弹性波的传播速度的介质。

公开(公告)号：CN103348591A

公开(公告)日：2013-10-09

申请号：CN201280008139.X

申请日：2012-01-24

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 川崎幸一郎 ,  奥田哲朗

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/64

CPC classification number: H03H9/6483 ,  H03H7/075 ,  H03H9/0222 ,  H03H9/1452 ,  H03H9/14573 ,  H03H9/6496

Abstract: 本发明提供一种通频带的低频侧部分中的插入损耗小的梯型滤波器装置。串联臂谐振器的IDT电极中的变迹角度θ处于2°～14°的范围内。

公开(公告)号：CN103312288A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201310079212.9

申请日：2013-03-13

Applicant: 太阳诱电株式会社

Inventor： 横山刚 ,  岩崎誉志纪 ,  西原时弘 ,  恩田阳介

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/54

CPC classification number: H01L41/0805 ,  H01L41/187 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/02102 ,  H03H9/0222 ,  H03H9/02228 ,  H03H9/173 ,  H03H9/174 ,  H03H9/175 ,  H03H9/54 ,  H03H9/584

Abstract: 一种声波器件，其包括：由含有二价元素和四价元素、或者二价元素和五价元素的氮化铝膜制成的压电膜；以及激发经由压电膜传播的声波的电极。

公开(公告)号：CN101714858B

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：CN200910222851.X

申请日：2005-03-24

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 门田道雄 ,  神藤始

IPC: H03H9/64 ,  H03H3/08

CPC classification number: H03H9/0222 ,  H03H3/04 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/4908

Abstract: 本发明提供一种频率偏差较小的声界面波装置的制造方法。该声界面波装置，按顺序叠层第1～第3媒质(1～3)、并且第1媒质(1)与第2媒质(2)间的界面上设有电极(5)。该制造方法中，准备叠层第1媒质(1)与第2媒质(2)，并在第1、第2媒质(1、2)的界面中设有电极(5)的叠层体，在该叠层体阶段，通过调整第2媒质(2)的膜厚来调整频率或声表面波、伪声界面波或声界面波的声速，实施该调整后，形成声界面波的声速及/或材料与第2媒质不同的第3媒质(3)。