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公开(公告)号：CN102175910B
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201110055062.9
申请日：2011-03-08
Applicant: 东南大学
IPC: G01R21/02 , G01R21/133 , B81C1/00
Abstract: 微电子机械微波功率自动检测系统及其检测方法和制备方法，检测系统包括一个粗测用电容式MEMS微波功率传感器、十个精确测量用电容式MEMS微波功率传感器、功率分配器、终端负载电阻、热电堆和控制用的反馈数字电路，反馈数字电路根据粗测用电容式MEMS微波功率传感器的粗测结果产生一个基准电压，并衍生出十个精度更高一位以粗测结果的为序列首的递增执行电压序列，再参考终端负载电阻的反应以及精度的需求，改变执行电压的序列，最终根据临界的下拉固支梁电容式MEMS微波功率传感器的执行电压计算出十个支路的微波功率的值。本发明提出一种新的微电子机械微波功率自动检测系统及检测方法和制备方法，实现对微波功率的精确检测。
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公开(公告)号：CN102608411A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210061074.7
申请日：2012-03-09
Applicant: 上海宏力半导体制造有限公司
IPC: G01R21/02
Abstract: 本发明涉及一种射频功率的检测方法，包括以下步骤：建氧气流量、腔室气压和射频功率开启时间的工艺菜单，在所述工艺菜单下，测取若干组热氧化厚度对应射频功率的数据，求取热氧化厚度与射频功率的关系；测取裸片表面氧化层的第一厚度T1；裸片放入腔室，在所述工艺菜单下通入氧气；裸片热氧化后，测取裸片表面氧化层的第二厚度T2；求取第二厚度T2与第一厚度T1的差值得到热氧化厚度T3；根据热氧化厚度T3对照所述工艺菜单下热氧化厚度与射频功率的关系，求取射频功率PRF。本发明采用特定工艺条件下热氧化厚度与射频功率的关系，通过获取热氧化厚度后推导出射频功率，方法简单，不需要停机，检测结果较精确。
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公开(公告)号：CN102385001A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110229127.7
申请日：2011-08-11
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的三通道微机械悬臂梁间接式微波功率传感器，通过把三个主线CPW相互之间呈120º的角放置，在每个主线CPW的输出端连接两个终端匹配电阻，每个终端匹配电阻附近有一个热电偶，将这三对热电偶相互之间也同样呈120º的角放置并串联连接形成热电堆，从而实现三通道微波功率的测量；同时在每个主线CPW信号线上横跨一个MEMS悬臂梁，MEMS悬臂梁的一端未被固定而另一端通过悬臂梁的锚区与副线CPW信号线相连接，其副线CPW另一端也连接两个终端匹配电阻，在这两个终端匹配电阻附近有一个热电堆，从而能够检测其中哪些通道输入了微波功率及其微波功率大小的比例；同时它具有低损耗、高灵敏度、好的线性度、高的集成度以及与砷化镓单片微波集成电路兼容的优点。
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公开(公告)号：CN102323475A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110229446.8
申请日：2011-08-11
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的三通道微机械固支梁间接式微波功率传感器不但具有传统热电式功率传感器的优点，如低损耗、高灵敏度和好的线性度，且实现了三通道微波功率的测量，同时也能够检测其中哪些通道输入了微波功率及其微波功率大小的比例，具有高的集成度和与砷化镓单片微波集成电路兼容的优点。该结构在砷化镓衬底上有三个用于引入微波信号的主线CPW，它们彼此对称放置且相互之间呈120º的角，每个主线CPW的输出端连接两个终端匹配电阻，每个终端电阻附近有一个热电偶，将这三对热电偶也成对称放置并串联连接形成热电堆，这三对热电偶相互之间也呈120º的角；在每个主线CPW信号线上横跨一个MEMS固支梁，MEMS固支梁下方有绝缘介质层，其固支梁的锚区与副线CPW信号线相连接。
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公开(公告)号：CN101692123B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200910035498.4
申请日：2009-09-25
Applicant: 东南大学
Abstract: 微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置是一种利用完全相同的功率传感器在同时检测直流功率与微波功率时，微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置，该装置包括三个完全相同的功率传感器并辅以功率分配器(16)、差分放大器(17)、自动增益控制器(18)；三个完全相同的功率传感器为第一功率传感器(a)、第二功率传感器(b)、第三功率传感器(c)；而且这种结构是基于MEMS技术的，具有MEMS的基本优点，如重量轻、功耗低等。这一系列优点是传统的微波功率检测器无法比拟的，因此它具有很好的研究和应用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101692123A
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：CN200910035498.4
申请日：2009-09-25
Applicant: 东南大学
Abstract: 微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置是一种利用完全相同的功率传感器在同时检测直流功率与微波功率时，微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置，该装置包括三个完全相同的功率传感器并辅以功率分配器(16)、差分放大器(17)、自动增益控制器(18)；三个完全相同的功率传感器为第一功率传感器(a)、第二功率传感器(b)、第三功率传感器(c)；而且这种结构是基于MEMS技术的，具有MEMS的基本优点，如重量轻、功耗低等。这一系列优点是传统的微波功率检测器无法比拟的，因此它具有很好的研究和应用价值。
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公开(公告)号：CN101131407A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200710132952.9
申请日：2007-10-09
Applicant: 东南大学
Abstract: 微电子机械可重构宽频带微波功率传感器是一种利用共面波导天线接收微波功率从而引起电阻发热，通过热电堆测出微波信号幅度的传感器。该传感器是在砷化镓衬底(9)上，形成工作在不同频段的共面波导天线(4)，通过微机械电容式串联开关(4)来控制共面波导天线(4)工作在不同频段，共面波导天线(4)再与共面波导传输线(5)连接从而传输微波信号，在共面波导传输线(5)终端有两个并联的电阻作为负载电阻(11)，负载电阻(11)发热引起其外侧的热电堆(6)的发热，热电堆(6)由于发热的不均而产生了温度差，温度差导致热电堆(6)产生塞贝克效应，在其两端产生直流电压输出，而该输出电压与输入的待测微波功率成正比，测量这个电压便可以得出微波功率的数值。
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公开(公告)号：CN101046487A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200710021764.9
申请日：2007-04-27
Applicant: 东南大学
Abstract: 基于微电子机械技术的双热电堆平衡式微波功率传感器是一种利用热平衡从而测量微波的新型传感器。该传感器由第一共面波导传输线(1)接收待测微波信号，通过第一负载电阻(2)吸收此信号功率并转换为热量，该热量使设于负载电阻附近的第一热电堆(3)温度升高，从而产生电势差，通过第一压焊块(4)输出，而在传感器的右端，设有同样结构的负载电阻、热电堆和共面波导传输线，由电压源(11)供电，第二热电堆(7)同样产生电势差，通过第二压焊块(6)输出，调整电压源(11)的大小，使第二压焊块(6)的输出电压与第一压焊块(4)的输出电压相同，则第二负载电阻(8)上消耗的直流功率就等于待测微波功率，从而实现了微波功率的测量。
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公开(公告)号：CN119125665A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411189553.6
申请日：2024-08-28
Applicant: 盐城科乐电力有限公司
IPC: G01R21/02 , G01K13/00 , G06F18/213 , G06F18/2433
Abstract: 本发明属于高压开关柜内部电气设备的功率状态检测和异常诊断技术领域，具体涉及一种电气设备异常功率状态检测方法及系统。本发明提供了一种基于温度信息监测电气设备功率状态的全新方法，适用于高压开关柜等内部空间狭小、环境恶劣、难以直接测量功率的场景。该方法通过在设备关键部位安装温度传感器，采集温度数据并进行预处理，识别出加热点、加热段和加热区域，提取这些区域的温度特征，并利用历史数据建立模型预测每个区域对设备功率消耗的影响。最终将所有区域的影响值进行加权求和，得到修正后的功率值，并与设备正常运行的功率范围进行对比，评估设备功率状态是否异常，从而触发报警或采取保护措施，避免潜在的安全风险。
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公开(公告)号：CN117031116B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202310993606.9
申请日：2023-08-08
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01R21/02
Abstract: 本发明公开了一种片上微波功率精密测量方法及其系统，包括检测芯片，计算模块，DC源，微波信号源、探针台和电压表，所述微波信号源的输出端和所述DC源的输出端分别与所述探针台的探针连接，所述测试芯片上设置有热电偶和共面波导线，所述测试芯片包括量热芯片和短路芯片，所述探针的输出端通过所述共面波导线与所述测试芯片的输入端连接，所述测试芯片的输出端通过所述热电偶与所述电压表的信号输入端连接，所述电压表的输出端与所述计算模块连接；本发明无需测量和修正探针的插入损耗，采用量热方式直接测量探针端口的功率，避免了测量过程中带来的误差，提高功率测量的准确性。
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