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公开(公告)号：CN101275260A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200710144095.4
申请日：2007-12-20
Applicant: 厦门大学
IPC: C25D7/12 , C25D5/02 , H01L21/445
Abstract: N型硅表面区域选择性电化学沉积铜微结构的制备方法，涉及一种硅表面的微加工技术。提供一种低成本、加工步骤简单、加工速度快且无需掩模光刻等复杂工艺，并可一次性在n型硅表面直接生长金属微结构的N型硅表面区域选择性电化学沉积铜微结构的制备方法。将原始母版上的微结构转移至琼脂糖表面，浸泡在铜镀液中得琼脂糖凝胶模板；再将其下部浸没在电解池中使模板微结构部分暴露于铜镀液液面上；在n型硅片背面溅射Ti/Au层形成欧姆结；将溅射Ti/Au层的n型硅片的抛光面正置于模板的微结构面，将n型硅片作为工作电极，在n型硅片上生长铜微结构；将已生长铜微结构的n型硅片与存储有铜镀液的琼脂糖凝胶模板分离。
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公开(公告)号：CN101234744A
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200710008512.2
申请日：2007-01-30
Applicant: 厦门大学
Abstract: GaAs上微/纳光学元件制备方法，涉及一种微/纳光学元件。提供一种低成本、方法简单且无需掩模光刻等复杂工艺，并可一次性在半导体GaAs材料表面直接刻蚀加工微/纳光学阵列元件的制备方法。用具有微/纳光学阵列的石英为原始母版，将石英微/纳光学元件上的浮雕结构精确复制到高分子材料表面，并依次溅射Ti层和Pt层，表面金属化得模板电极；将模板电极作为工作电极，调节模板电极与被加工工件GaAs片平行；将电化学刻蚀溶液加入电解池，在模板电极上产生刻蚀剂，利用刻蚀溶液中的约束剂将刻蚀剂层厚度压缩至微米级或者纳米级厚度；控制GaAs片向模板电极表面移动，直至模板电极上的结构全部复制于被加工工件表面，控制两者分离。
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公开(公告)号：CN100406618C
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN03101271.X
申请日：2003-01-17
Applicant: 厦门大学
Abstract: 涉及采用约束刻蚀剂层技术在金属表面进行复杂三维微结构的加工。步骤为将带有微结构的加工工具固定于固定架上；刻蚀溶液注入容器；加工工具进入溶液；启动电化学系统，在加工工具表面产生刻蚀剂；利用清除剂将刻蚀剂层压缩到纳米级或微米级厚度；启动驱动装置，对工件刻蚀，使工件表面凹陷脱离刻蚀剂层，至刻蚀完毕。加工装置设加工工具、固定架、驱动装置、计算机、电化学系统。可进行各种复杂三维微结构的批量复制加工；一步完成批量微结构的刻蚀，省去光刻中的涂胶、曝光、显影和去胶，降低成本，提高了加工精度和表面平整度；加工过程具有距离敏感性，可通过精确控制模板的进给距离精确控制加工量。
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公开(公告)号：CN1858593A
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：CN200610071318.4
申请日：2006-03-23
Applicant: 厦门大学
Abstract: 生物芯片专用亲疏水模式片基，涉及一种生物芯片片基，提供一种在载玻片、硅片或其他载体上修饰疏水性表面(疏水层厚约为2～5μm)中构建具有亲水性的、面积大小一致的点(点的形状、面积、密度、阵列排布形式可根据需要决定，点的形状一般为圆点)的生物芯片专用亲疏水模式片基。设有基底，基底的上表面设有疏水层，在疏水层上布设有阵列式亲水点。
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公开(公告)号：CN1249899C
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：CN01135525.5
申请日：2001-10-09
Applicant: 厦门大学
Abstract: 涉及一种利用电渗流的装置，尤其是一种微型电渗泵。设有泵体，泵体内设流体通道，流体通道设至少3个正负相间的电极室，每两个电极室之间设置多孔芯，多孔芯表面带正或负电荷，每个电极室通过导电体与电源连接，电极室中充有电解质溶液。泵体可为组装，连续或芯片式结构，通道可为管道、沟道或芯片式微沟道，组装方便，响应快，能在低电压驱动下产生高中低液压，流量范围广，芯片化，便于操作，泵的工作寿命长，可广泛用于化学化工、生物医学、环境监测等领域的流动注射系统的流体驱动泵。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1351258A
公开(公告)日：2002-05-29
申请号：CN00131582.X
申请日：2000-10-28
Applicant: 厦门大学
IPC: G01N27/447 , G01N27/453
Abstract: 涉及一种用电泳法分离和分析(生物)化学体系的装置与方法。设有分离通道,通道的首尾两端各有至少一个入水口与出水口,且入、出水口区各有一个电极,分离通道至少包括两个区段,区段通过接点依序相互连接,接点提供电学连接,通过用离子导电体隔开通道与储液池实现,储液池与通道分隔开,储液池设有电极。分离效率高、高效廉价、可微型化使之成为芯片系统,使用安全简便。
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公开(公告)号：CN1037622C
公开(公告)日：1998-03-04
申请号：CN92110009.4
申请日：1992-08-21
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明提供一种电化学表面耐蚀刷处理方法与装置。该装置主要由电缆、手柄、散热片、石墨电极、参考电极和电解池等组成。石墨电极为阴极，电解池由塑料泡沫或长纤维材料组成。方法是将工件先预处理，装置吸足处理溶液，开启恒电位仪，控制电位，使装置为辅助电极，且接触工件表面缓慢移动，反复数次，再冲净，不受大功率电源、大电解槽设备及大量电解液的限制，可在工业现场对大工件进行电化学处理，大幅度提高性能与处理效率。
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公开(公告)号：CN1070695A
公开(公告)日：1993-04-07
申请号：CN92110009.4
申请日：1992-08-21
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明提供一种电化学表面耐蚀刷处理方法与装置。该装置主要由电缆、手柄、散热片、石墨电极、参考电极和电解池等组成。石墨电极为阴极，电解池由塑料泡沫或长纤维材料组成。方法是将工件先预处理，装置吸足处理溶液，开启恒电位仪，控制电位，使装置为辅助电极，且接触工件表面缓慢移动，反复数次，再冲净。不受大功率电源、大电解槽设备及大量电解液的限制，可在工业现场对大工件进行电化学处理，大幅度提高性能与处理效率。
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公开(公告)号：CN1011077B
公开(公告)日：1991-01-02
申请号：CN89102557.X
申请日：1989-04-17
Applicant: 厦门大学
IPC: G01N27/416
Abstract: 本发明涉及应用电解研究电化学变量的装置。它提供一种改进的用于流动体系的电流检测器，采用薄层型、三电极结构，工作电极和辅助电极的形状、大小相同，完全面对面放置，上、下池体之间有隔膜，在隔膜与上、下池体之间分别有垫片，其工作电极表面各点电位一致，电流密度分布均匀；检测灵敏度和电解效率较高，而且电解效率与浓度无关；浓度线性范围宽。同时，有效地避免了辅助电极反应产物的干扰，是一种实用性强的电流检测器。
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公开(公告)号：CN1036833A
公开(公告)日：1989-11-01
申请号：CN89101310.5
申请日：1989-03-07
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明涉及一种毛细管电泳装置。它提供一种开放式结构，利用前导和尾随毛细管进样端口的表面张力实现样品进样的毛细管等速电泳仪的进样装置，由前导和尾随毛细管、调节机构、支撑架和进样器组成。其进样体积易于改变，所耗样品体积与实际进样体积基本相当，溶液的淋洗、充注以及样品的进样操作简化，工艺简单，造价低廉。
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