排水处理装置
    52.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103209931A

    公开(公告)日:2013-07-17

    申请号:CN201180054810.X

    申请日:2011-08-10

    CPC classification number: C02F3/30 C02F2103/32 C02F2103/346

    Abstract: 本发明涉及一种排水处理装置,其具有:反应槽,所述反应槽通过生物污泥而对含有BOD成分的有机性排水进行生物处理;污泥分离槽(16),所述污泥分离槽(16)将在所述反应槽中所得到的处理水与所述污泥分离,所述反应槽包括无氧生物处理槽(10)、和被供给所述生物处理所必需的氧的第一生物处理槽(12)及第二生物处理槽(14),所述有机性排水连续地流入第一生物处理槽(12),并在第一生物处理槽(12)及第二生物处理槽(14)中被实施生物处理,向第二生物处理槽(14)及无氧生物处理槽(10)送回污泥分离槽(16)内的污泥,至少向第一生物处理槽(12)供给无氧生物处理槽(10)内的污泥,第一生物处理槽(12)的MLSS负荷高于第二生物处理槽(14)的MLSS负荷。

    废液的处理方法及处理设备

    公开(公告)号:CN1939841B

    公开(公告)日:2012-12-12

    申请号:CN200610142195.9

    申请日:2006-09-27

    Inventor: 立石文则

    CPC classification number: C02F1/008 C02F2103/346 C02F2209/02

    Abstract: 本发明目的是在对废液进行冷却时,提供通过冷却来安全处理废液的机制,且不增加成本,不使用大的设备的。提出废液的处理方法,该方法中,将化学液体从化学液体供应部分供给化学处理部分;水从水供应部分供给水处理部分;使从化学液体处理部分排出的第一废液通过废化学品部分流入内管,同时从水处理部分排出的第二废液流经废水处理部分进入外管,所述外管在内管的外部;第二废液的温度低于第一废液的温度。

    电去离子装置
    54.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101541686B

    公开(公告)日:2012-11-07

    申请号:CN200780032921.4

    申请日:2007-07-31

    Abstract: 本发明提供一种电去离子装置。该电去离子装置1是在阴极11和阳极12之间,交替排列多个阴离子交换膜13和阳离子交换膜14交替形成浓缩室15和脱盐室16而成;在浓缩室15种设置双极性膜20将浓缩室15内间隔成阴极侧和阳极侧,自被处理水的流动方向的上游侧将脱盐室16分割为第一层16A及第二层16B的至少二层,填充由阴离子交换体30A和阳离子交换体30B构成的离子交换体30,填充在第一层16A的离子交换体30含有50体积%以上的阳离子交换体30B,填充在第二层16B的离子交换体30含有超过50-80体积%的阴离子交换体30A,由此,可以在浓缩室及脱盐室防止水垢的发生,长时期稳定地运转。

    含有唑系铜用防腐蚀剂的水的处理方法

    公开(公告)号:CN102216226A

    公开(公告)日:2011-10-12

    申请号:CN200980146183.5

    申请日:2009-10-21

    CPC classification number: C02F1/5245 C02F1/78 C02F2101/38 C02F2103/346

    Abstract: 有效地除去半导体设备制造工艺中的CMP工序的排水等含有唑系铜用防腐蚀剂的水中的唑系铜用防腐蚀剂的方法。在含有唑系铜用防腐蚀剂的水中添加亚铁离子,将生成的不溶性的铁•唑系络合物分离。将不溶性的铁•唑系络合物分离后,对残留的TOC成分进行臭氧分解。通过亚铁离子,可以有效地使唑系铜用防腐蚀剂以铁•唑系络合物的形式不溶化,以进行凝聚·固液分离处理。除去由添加亚铁离子而生成的不溶物之后的水由于不仅除去了唑系铜用防腐蚀剂,还除去了悬浊物质,因此在利用臭氧进行高级氧化分解处理时,可以防止臭氧的无谓消耗,以少的臭氧注入量高度地分解除去含有残留的唑系铜用防腐蚀剂的TOC成分。

    纯水供应系统和清洗系统和使用纯水的清洗方法

    公开(公告)号:CN101037251B

    公开(公告)日:2011-09-14

    申请号:CN200710005340.3

    申请日:2007-02-14

    Inventor: 段畠政善

    Abstract: 提供一种系统,该系统在不增加批量生产半导体工厂中制造的纯水量的条件下能够提供几乎不包含溶解气体的纯水和包含溶解气体的纯水。在本发明中,使用纯水供应系统提供纯水,该纯水供应系统包括:用于制造具有0.4ppm或0.4ppm以下的溶解气体浓度的纯水制造装置;能够从纯水制造装置提供纯水的第一纯水供应装置;经由耦合部分耦合到纯水制造装置并在经由耦合部分从纯水制造装置传送的纯水中溶解气体的溶解装置;以及能够提供其中通过溶解装置溶解气体的纯水的第二纯水供应装置。

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