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公开(公告)号：CN109955148A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201910204249.7
申请日：2019-03-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，该装置搭载在磨削机床上，将待测光学元件放置磨削机床的工作台上，通过调节倾角调节装置使平面标准镜沿待测轮廓的倾斜角度等于待测轮廓的弦倾角，位移传感器一从待测轮廓的起始点运动至终止点，同时位移传感器二从平面标准镜的起始端运动至终端，将两位移传感器采集的数据输送至数据处理系统，通过数据处理系统计算得到待测轮廓的全频段误差，去除待测轮廓的非球面理论形貌、低频形状误差和高频粗糙度误差，得到中频波纹误差。该检测装置实现了在原有加工成形磨削机床上的在位检测，无需购置专用高精密测量仪器，也无需拆装元件，节约检测成本和检测时间。
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公开(公告)号：CN109794825A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201910157298.X
申请日：2019-03-01
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 上海中晶企业发展有限公司
IPC: B24B13/00 , B24B13/005 , B24B13/01 , B24B41/02 , B24B51/00 , B24B47/12 , B24B49/00 , B24B53/12 , B24B1/00
Abstract: 本发明涉及一种智能环抛机床，包括基座，其顶部支撑转台底部；转台顶面浇注有一层沥青胶形成抛光盘；转台顶部架设有多工位桥架机构；多工位桥架机构的多个横梁处对应有元件加工工位、抛光盘检测工位及修正盘工位；元件加工工位对应的第一横梁上设置有第一直线滑动导轨，元件加工装置与第一直线滑动导轨可滑动连接；抛光盘检测工位对应的第二横梁上设置有气浮直线导轨，抛光盘检测装置与气浮直线导轨可滑动连接；修正盘工位对应的第三横梁上设置有第二直线滑动导轨，抛光盘修正装置与第二直线滑动导轨可滑动连接；元件加工装置、抛光盘检测装置及抛光盘修正装置均与控制终端电性连接，控制终端内预设有元件加工、抛光盘检测及抛光盘修正的程序。
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公开(公告)号：CN113686903B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202111094288.X
申请日：2021-09-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/958
Abstract: 本发明公开了一种光学元件缺陷检测系统及检测方法，包括床身支撑模块、隔振模块、定位夹持模块、缺陷检测模块、缺陷分析模块、扫描运动模块和电气控制模块，每个模块完成相应的功能，具体工作步骤包括：开启设备及软件、系统初始化设置、设置系统参数、放置被测样品、设置测量参数、样品扫描测试、检测数据采集、缺陷类型分析、缺陷特性评价和结果输出系统关闭。本发明解决了人工检验可能由于某些人员原因导致的缺陷形貌误判和缺陷定位错误，降低了缺陷定位错误发生率，进一步提高了大口径光学元器件的缺陷检测准确率。
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公开(公告)号：CN115922567B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202211268735.3
申请日：2022-10-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种金属基金刚石砂轮多能场复合修整装置，包括：底座（1），工作台（2），修整器（3），立柱（4），主轴（5），金刚石砂轮（6）；所述工作台（2）设置在所述底座（1）上，所述修整器（3）通过多个调平机构（9）设置在所述底座（1）上，所述底座（1）上还设置有所述立柱（4），所述主轴（5）设置在所述立柱（4）的一侧，所述金刚石砂轮（6）设置在所述主轴（5）上，且与所述工作台（2）垂直，所述主轴（5）为所述金刚石砂轮（6）提供转动力。
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公开(公告)号：CN117001467A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202310669577.0
申请日：2023-06-07
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B13/00 , B24B13/005 , B24B55/00 , B24B55/02
Abstract: 本发明涉及轻量化结构的反射镜磨削热膨胀抑制装置，包括安装基体，其顶部对应轻量化结构的反射镜上的减重孔设置有热空气疏散通道，热空气疏散通道与外界连通，反射镜的磨削累积热量使减重孔内的空气膨胀，膨胀后的空气通过热空气疏散通道排出，始终保持减重孔与机床工作台处于非封闭状态；装夹机构，安装基体位于反射镜周围设置有多组弹性夹持机构，装夹机构用于弹性夹持反射镜稳定固定于安装基体顶部。本发明实现了带有轻量化结构反射镜高刚度装夹，降低了装夹应力，避免了因磨削热累计引起的弹性空气薄膜对元件加工精度和加工确定性的影响，提高了元件的加工精度和全流程加工效率，对实现大口径反射镜元件超精密光学制造具有重要的作用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109799138B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN201910127368.7
申请日：2019-02-20
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及全口径抛光中抛光盘弹性模量和蠕变特性在位测量装置，包括固定于抛光机床横梁顶部的控制器；与控制器通信连接的显示终端；固定于横梁上的加载力执行器，且与控制器电性连接；测试板，其为圆形板；其顶部与加载力执行器铰接，其底部与抛光机床的抛光盘抵接；及位移传感器，其通过连接件固定于加载力执行器上，与控制器通信连接，且位移传感器的检测方向指向测试板的顶部。本发明还提供了测量方法，实现了抛光盘弹性模量或蠕变特性的在位测量，无需拆卸抛光盘，操作简单，精度高；同时无需购买专用测量设备，测试成本得到降低；由于测量时无需拆卸抛光盘，防止了抛光盘的形状精度的改变，进而延长了抛光盘的使用寿命。
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公开(公告)号：CN108426665B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201810462724.6
申请日：2018-05-15
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种基于磨削阻力矩实时测量的砂轮磨损在线监测与报警装置，包括电流传感器、电压传感器、数据采集转换系统、工业PC机、声光报警器、主轴转速传感器、进给速度传感器和网络传输系统。本发明通过对数控系统运行参数的读取，获得光学元件的磨削加工工艺参数，通过对光学元件磨削加工过程中，机床主轴伺服电流、电压的测量，获得主轴的有功功率，结合对主轴转速的测量，得到磨削过程中砂轮受到的磨削阻力矩，从而间接反映在当前磨削工艺条件下砂轮的磨损状态。当磨削阻力矩大于该工艺条件下设定的报警阈值时，发出声光报警，提醒操作人员及时更换或修整砂轮。
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公开(公告)号：CN115922567A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211268735.3
申请日：2022-10-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种金属基金刚石砂轮多能场复合修整装置及其修整方法，包括：底座(1)，工作台(2)，修整器(3)，立柱(4)，主轴(5)，金刚石砂轮(6)；所述工作台(2)设置在所述底座(1)上，所述修整器(3)通过多个调平机构(9)设置在所述底座(1)上，所述底座(1)上还设置有所述立柱(4)，所述主轴(5)设置在所述立柱(4)的一侧，所述金刚石砂轮(6)设置在所述主轴(5)上，且与所述工作台(2)垂直，所述主轴(5)为所述金刚石砂轮(6)提供转动力。
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公开(公告)号：CN112098417B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202010930626.8
申请日：2020-09-07
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种环形抛光中沥青抛光盘表面钝化状态在线监测装置与方法，沥青抛光盘表面的浅纹线槽具有规则的纹理结构和纹路特征，随着沥青抛光盘表面的逐渐钝化，其纹理结构和纹路特征也会随之减弱，因此可以通过沥青抛光盘表面的纹理分析来监测沥青抛光盘表面的钝化状态。本发明提出采集沥青抛光盘表面图像，采用灰度共生矩阵法来监测沥青抛光盘表面的纹理，采用灰度共生矩阵的特征参数定量地表征沥青抛光盘表面的钝化状态，从而实现沥青抛光盘表面钝化状态的实时在线监测。
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公开(公告)号：CN113275977B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202110632150.4
申请日：2021-06-07
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B13/00 , B24B49/12 , B24B51/00 , G01B11/24 , G05B19/404
Abstract: 本发明公开了非球面光学元件加工机床导轨形状误差的确定性补偿方法，包括以下步骤：仿真分析机床导轨受力变形；实测导轨形状误差；计算加工工况下导轨形状误差分布；根据非球面方程，获取非球面光学元件表面各点坐标，结合非球面平行磨削砂轮运动控制点坐标传递函数模型，获取磨削过程中砂轮运动控制点阵坐标；叠加导轨形状误差，得到具有误差修正的砂轮运动控制点阵坐标；按照修正后的砂轮运动控制点坐标形成的加工轨迹进行磨削加工，实现导轨形状误差的确定性控制。本发明可以实现非球面成形加工过程中对机床导轨形状误差的确定性补偿控制，消除导轨形状误差与磨削力引起导轨变形而对元件最终加工精度的影响，提高元件的成形加工精度。
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