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公开(公告)号：CN103048062B
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201210523847.9
申请日：2012-12-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01K11/00
Abstract: 本发明属于光学测量技术领域，涉及的是测量脉冲放电等离子鞘层温度的方法，该方法结合光谱法与激波波速测量，首先利用光谱法准确的测量出正柱区的气体温度，再利用小孔光阑阴影法，准确的测量放电后激波的波速，再用正柱区温度与激波波速计算出薄鞘层温度。本发明克服了放电等离子鞘层厚度薄、发光总量弱、无法直接测量的缺点，利用了正柱区体积大、发光强、利于收集，以及激波波速恒定，易于测量的特点，通过运用激波管的近似原理，准确的测量放电等离子鞘层的气体温度。
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公开(公告)号：CN103149804A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310022423.9
申请日：2013-01-22
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于径向偏振激光驱动的极紫外光源产生装置及方法，包括径向偏振脉冲激光器、激光放大器、收集镜和液滴发生器；径向偏振脉冲激光器输出低功率高重复率的径向偏振脉冲激光，激光放大器将低功率高重复率的径向偏振脉冲激光进行放大后输出高功率高重复率的径向偏振脉冲激光；高功率高重复率的径向偏振脉冲激光经过聚焦后照射液滴并产生极紫外光。本发明使用径向偏振激光经聚焦后在焦点处具有纵向场分量，纵向场分量所携带的能量不会传播，被Sn吸收后有利于激发到高价态的离子，有效辐射出13.5nm的EUV；同时径向偏振激光束在聚焦时可获得更小的聚焦光斑，聚焦的光斑越小，激光的能量密度越高，产生更强能量的EUV辐射。
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公开(公告)号：CN103094823A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310034367.0
申请日：2013-01-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/08
Abstract: 本发明公开了一种准分子激光功率振荡器谐振腔，包括45°底角的等腰梯形棱镜、压电陶瓷、第一等腰直角棱镜、第二等腰直角棱镜、放大腔，第一、第二等腰直角棱镜斜面朝向放大腔，等腰梯形棱镜底边与第一等腰直角棱镜直角边平行紧靠放置，压电陶瓷的位移量由精密位移控制器的输出电压控制，可以实现纳米级的调节。在压电陶瓷的作用下等腰梯形棱镜底边与第一等腰直角棱镜直角边之间的空气厚度d可调，空气d决定了入射光与出射光的耦合率。该谐振腔结构耦合率的变化不需要更换耦合镜，腔长短，能够有效提取放大器能量。
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公开(公告)号：CN103075365A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201310027684.X
申请日：2013-01-24
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明一种用于横流放电激光器的风轮及装配方法。风轮包括扇叶、法兰、弹性薄钢片；首先将法兰套于单片扇叶外；再将扇叶由内插入到法兰的扇叶槽内，法兰对准凹槽的中心位置；依次将所有扇叶插入；再将弹性薄钢片首尾相交叠弯成圆周状放入法兰内，将条形槽的间距对准扇叶的凹槽，同时条形槽对准法兰的两个扇叶槽之间的突出位置，依靠弹性薄钢片自身的弹性抵住扇叶，依次在每个法兰的位置装配弹性薄钢片。本发明装配的风轮在使用过程中，扇叶、法兰、弹性薄钢片任何一个部件出现磨损及其他问题，均可方便的进行拆卸，更换部件后继续使用，极大的延长了风轮的使用寿命。
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公开(公告)号：CN103064259A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210531921.1
申请日：2012-12-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种极紫外激光等离子体光源碎屑的隔离方法及系统，该方法包括步骤S1：将靶体所在的腔体抽成真空；S2：从进气口导入缓冲气体，使得缓冲气体覆盖收集镜并沿收集镜表面流动形成气流层；S3：从出气口导出缓冲气体；S4：待腔体内的气流稳定后，使用激光照射靶体，产生极紫外辐射的同时产生了向四周运动的等离子体碎屑；S5：保持缓冲气体持续的导入和导出，气流层使所述等离子体碎屑的运动减缓，等离子体碎屑随着气流从出气口导出。本发明适用于CO2激光锡滴等离子体碎屑的隔离；使用的设备简单、易于操作控制，可有效解决激光照射液滴靶体所产生的碎屑对光学系统的污染和破坏，对提高极紫外光刻系统的寿命有重要意义。
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公开(公告)号：CN103063289A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210533922.X
申请日：2012-12-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开了一种脉冲气体激光器腔内风机叶轮扰动测量系统，它包括激光光源、象限光电探测器和信号处理子系统；探测激光光源和四象限探测器分别用于放置在被测流场区域的两端，探测激光光源用于测量时发出的激光光束同风机的转轴平行，并且光束通过风机流道的流场，探测激光光源产生的激光穿过被测流场区域后直接照射在四象限光电探测器的光敏面上；四象限光电探测器用于采集信号，并提供给信号处理子系统进行处理，得到风机叶轮扰动信号。本发明能很好的对脉冲气体激光器风机叶片的微小扰动进行测量，具有较好的准确性和较高的精度，并具有测量装置简单、方法简便等一系列优点。
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公开(公告)号：CN103042221A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210545951.8
申请日：2012-12-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: B22F9/08
Abstract: 本发明公开了一种用于极紫外光源的高熔点材料液滴靶产生装置，包括激光、透镜、颗粒进料装置、喷嘴和管道。激光与所述喷嘴同轴，并通过透镜聚焦进入喷嘴中，用于加热进入喷嘴的靶材固体颗粒；颗粒进料装置通过管道与喷嘴连接，用于将靶材固体颗粒连续匀速投送至喷嘴中。当靶材固体颗粒进入到喷嘴，激光对靶材固体颗粒进行加热并使其熔化成液体，液体通过喷嘴喷出并形成均匀液滴靶。本发明产生的液滴靶均匀、稳定，大小可控，方法简单可靠；另外靶材在喷射时周围包裹一层稀薄气体，这层稀薄气体的存在能抑制激光与液滴靶材作用后形成的中性或带点的粒子碎片四处飞溅。
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公开(公告)号：CN102323445A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110160097.9
申请日：2011-06-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01P5/26
Abstract: 本发明属于速度光学测量技术领域，涉及的是测量流场速度的方法。本发明通过配备增强型电荷耦合(ICCD)成像器件，结合干涉法或纹影法装置系统来拍摄流场的分布规律，通过控制器的延时控制功能，拍摄得到热气团的发生及演化过程，将获得的图像进行数字图像处理，根据图像的特征得到热气团的中心线，对多帧图像处理得到热气团中心线随时间的变化规律，采用最小二乘法进行数据处理和误差估计，得到一维流场的速度分布信息，本方法采用非接触测量方法，能对流场速度进行实时测量，并得到整个一维速度分布信息，克服了现有技术中的不足和缺陷，具有很强的进步及实用性。
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公开(公告)号：CN117826168A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311874261.1
申请日：2023-12-29
Applicant: 广东省智能机器人研究院 , 华中科技大学
Abstract: 本申请涉及一种激光等离子体极紫外光源的液滴检测装置，包括：探测激光器，用于输出探测光束；偏振分束镜，偏振分束镜的透射p偏光偏振方向与探测光束的偏振方向一致；第一透镜，用于将探测光束汇聚在液滴流所在的位置，形成照明区域；其中，当液滴流中的某一液滴经过照明区域时，被该液滴后向反射的探测光束经第一透镜准直为平行光束，平行光束经1/4波片后，转变为偏振分束镜的反射s偏光；光电探测器，用于接收反射s偏光，并生成目标光电信号；信号处理电路，用于对目标光电信号进行处理，得到液滴流中被检测该液滴对应的到达时刻信息和液滴流的侧向偏移信息。本申请能够减少真空腔室的窗口使用量。
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公开(公告)号：CN111413321A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN202010367086.7
申请日：2020-04-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种光纤拉曼光谱气体分析装置，属于气体分析技术领域，该装置包括：激光器、光束耦合装置、气体样品室、准直分束装置和光电成像接收装置；光束耦合装置将激光耦合进气体样品室中；激光与空芯光纤纤芯中的待测气体作用产生拉曼散射；准直分束装置将混合光束准直后分离出激光，将只含散射信号的光束输送至光电成像接收装置；光电成像接收装置对前向散射信号进行数字空间滤波，获得待测气体的拉曼光谱。本发明通过在空芯光纤中将待测气体与激光作用产生增强的拉曼散射信号，利用光电成像接收装置收集前向信号，并实施数字空间滤波，降低气体样品室的背景信号，解决了拉曼气体分析中微量成分检测困难的问题，提高了系统检测的灵敏度。
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