公开(公告)号：CN1304826C

公开(公告)日：2007-03-14

申请号：CN200410101006.4

申请日：2004-12-01

Applicant: 中国电子科技集团公司第二十四研究所

Inventor： 张正元 ,  徐世六 ,  刘玉奎 ,  杨国渝 ,  税国华

IPC: G01L1/18 ,  H01C7/00 ,  H01L29/84

Abstract: 本发明涉及一种提高单梁结构微机械谐振压力传感器激励性能的方法。该方法是将该传感器的谐振梁表面上制作的激励电阻用铂制成铂薄膜电阻。用本发明方法可提高单梁结构谐振压力传感器的谐振单梁激励的可靠性和稳定性。

公开(公告)号：CN1472556A

公开(公告)日：2004-02-04

申请号：CN03135291.X

申请日：2003-06-24

Applicant: 重庆大学 ,  中国电子科技集团公司第二十四研究所

Inventor： 罗元 ,  张正元 ,  黄尚廉 ,  徐世六

IPC: G02B6/35 ,  G02B6/136 ,  H04B10/12

Abstract: 本发明涉及一种利用金属材料制作的微机械光开关，属于光电子器件领域，该结构由基板、微镜、通孔、V形槽、双侧悬臂梁、临时支撑梁、下电极、止动结构和防击穿层等构成，其中微镜的设计为水平结构，以金属为材料，通过在静电驱动下，其双侧的悬臂梁发生扭转，使微镜旋转为垂直状态插入光路，起到改变光路从而实现开关的作用。本结构可以作为光开关单元，有效地制作1×1、1×2、2×2...N×N等多种类型MEMS光开关及阵列。本发明具有结构简单，成品率高，工艺简单，可批量生产等优点，在全光通信网络中的光交叉连接(OXC)、光分插复用(OADM)中可发挥重要作用，同时在全光网络测试设备中也有重要的应用。