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公开(公告)号:CN112556601A
公开(公告)日:2021-03-26
申请号:CN202011377723.5
申请日:2020-11-30
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 公开了基于深度学习的单幅闭合条纹干涉图解相方法及装置,具有结构简单、精度高、可动态测量的优点,而且显著降低了干涉图解相所需的时间,并降低了干涉图解相所需的硬件要求和成本,使得本方法可以在便携设备上运行。方法包括:(1)建立神经网络并初始化;(2)干涉图预处理,对输入的干涉图进行灰度范围归一化,得到灰度范围归一化的干涉图;(3)神经网络处理干涉图,将灰度范围归一化的干涉图输入神经网络,神经网络输出包裹相位;(4)对包裹相位进行相位解包裹,获取干涉图的绝对相位。
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公开(公告)号:CN112344878A
公开(公告)日:2021-02-09
申请号:CN202011254418.7
申请日:2020-11-11
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 偏振同步移相干涉测量装置及方法,解决了非球面在位测量中灵活性和准确性之间的平衡性问题,在保证面形测量精度的同时提高测量的灵活性。装置包括:激光器(1)、扩束镜(2)、准直镜(3)、第一分光棱镜(4)、第一偏振分光棱镜(5)、第一四分之一波片(6)、线偏振器(7)、空间光调制器(8)、参考镜(9)、第二偏振分光棱镜(10)、第二四分之一波片(11)、第一成像透镜(12)、第一偏振CCD相机(13)、被测镜(14)、第三四分之一波片(15)、第二分光棱镜(16)、第四四分之一波片(17)、第二成像透镜(18)、第二偏振CCD相机(19)。
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公开(公告)号:CN111895934A
公开(公告)日:2020-11-06
申请号:CN202010757803.7
申请日:2020-07-31
Applicant: 北京理工大学 , 中国人民解放军国防科技大学
Abstract: 一种光学元件表面局部陡度面形误差干涉测量方法及装置,在不改变原干涉仪光路的前提下实现之前不可测量的局部陡度面形误差的测量。利用双光楔补偿器,放置在在局部陡度面形误差的区域,旋转双光楔补偿器的相对转角和整体绕光轴滚转角,产生方向可调的附加倾斜补偿相位,使局部测量光束与局部面形匹配,干涉条纹变稀疏,利用干涉仪测量局部相位;根据双光楔补偿器的旋转角度计算其引入的相位,输入虚拟干涉仪模型,计算得到局部面形误差;对被光学元件所有无法直接测量的局部依次进行上述测量过程,直到所有局部陡度面形误差均完成测量;将局部面形误差与光学元件全口径面形误差数据进行拼接,完成测量。
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公开(公告)号:CN110686618B
公开(公告)日:2020-09-15
申请号:CN201911159776.7
申请日:2019-11-22
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24 , G01B11/255 , G01B11/02
Abstract: 结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统,通过结合全反射角定位系统建立非球面参数误差干涉测量系统,不需要搭建复杂的激光差动共焦系统,避免了激光差动共焦系统装调误差对测量精度的影响,进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度,且能够实现非接触、全口径、精度高的测量,具有结构简单、装调方便的优点。
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公开(公告)号:CN111238396A
公开(公告)日:2020-06-05
申请号:CN202010085157.4
申请日:2020-02-10
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种瞬态数字莫尔移相干涉测量装置及方法,其解决了使用两步载波拼接法时需要牺牲瞬时抗振性换取测量范围的缺陷,扩展了传统的数字莫尔移相方法的测量范围,同时也保留了数字莫尔移相方法的瞬时抗振特性。装置包括:光源(1)、第一分光镜(2)、参考镜(3)、偏振光栅(4)、被测镜(5)、λ/4波片(6)、第二分光镜(7)、第一线偏器(8)、第一成像物镜(9)、第一相机(10)、第二线偏器(11)、第二成像物镜(12)和第二相机(13);通过偏振光栅的分光性能加载不同载波,使用偏振光栅将两束干涉光分离,同时获取两幅实际干涉图。
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公开(公告)号:CN110686617A
公开(公告)日:2020-01-14
申请号:CN201911158883.8
申请日:2019-11-22
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24 , G01B11/255 , G01B11/02
Abstract: 结合像散法定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统,通过结合像散定位系统建立非球面参数误差干涉测量系统,不需要搭建复杂的激光差动共焦系统,避免了激光差动共焦系统装调误差对测量精度的影响,进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度,且能够实现非接触、全口径、精度高的测量,具有结构简单、装调方便的优点。
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公开(公告)号:CN110455216A
公开(公告)日:2019-11-15
申请号:CN201910747167.7
申请日:2019-08-14
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的一种基于互相关的评价面形测量方法有效性的方法,属于面形测量技术领域。本发明选取成熟的面形测量方法对一个光学表面测量P次,测量结果记为S1(m,n);使用被评价面形测量方法测量对同一个光学元件测量P次,测量结果记为S2(m,n);以S1(m,n)作为参照,对使用被评价面形测量方法得到的测量结果S2(m,n)进行位置匹配;将S1(m,n)和S2(m,n)分别代入归一化互相关关系数公式、衰减率公式,得到归一化互相关系数ncc和得到衰减率A,并将归一化互相关系数ncc和衰减率A相乘得到误差一致性系数SECC;根据误差一致性系数SECC评价面形误差一致性,SECC越趋近于100%,被评价面形测量方法与选取的成熟的面形测量方法越接近一致,则被评价面形测量方法有效性越好。
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公开(公告)号:CN107764203B
公开(公告)日:2019-08-23
申请号:CN201711019962.1
申请日:2017-10-27
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明属于光学精密测试技术领域,涉及一种基于部分补偿法的双波长相移干涉方法及实现装置。该方法构建部分补偿法双波长相移干涉仪,获取两个单波长的被测波前包裹相位;建模部分补偿法双波长理想干涉仪,获得两个单波长的剩余波前和包裹相位;采用误差分离和消除算法消除被测波前包裹相位中的已知及未知波前变化量,最后采用逆向迭代优化重构被测非球面的面形误差。装置包括第一激光器和第二激光器、第一狭缝和第二狭缝、第一平面镜和第二平面镜、第一分束镜和第二分束镜、扩束镜、准直镜、标准平面镜、移相器、部分补偿镜、被测非球面、成像镜头和含稀疏阵列传感器的干涉图采集组件。本发明特别适用于小面形误差的陡度非球面,以及大面形误差的模压非球面和自由曲面的加工质量测量。
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公开(公告)号:CN110060214A
公开(公告)日:2019-07-26
申请号:CN201910292963.6
申请日:2019-04-12
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种用于傅里叶叠层显微成像技术的图像增强方法,属于显微成像领域。本发明实现方法为,基于FPM系统选择照明光源及照明光源控制平台,根据不同的观察需求确定不同角度入射光的光强大小,并用相应的控制平台调整光强,实现照明光强不均匀误差补偿、提高采集图像的信噪比、增强图像细节等不同目的。本发明通过硬件调控不同位置照明光光强大小,代替了算法补偿或图像校正的过程,在图像采集之前提高了图像的信噪比。此外,本发明能任意调节不同位置照明光光强大小,可以根据观察者的不同需要增强或抑制图像不同频率成分,能满足不同的观察需求。
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公开(公告)号:CN109946829A
公开(公告)日:2019-06-28
申请号:CN201910343204.8
申请日:2019-04-26
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉一种变焦稳像一体化成像系统中变形镜变焦面形设计方法,属于光电技术领域。首先建立变形镜变焦面形模型。然后建立变形镜变焦面形与光学系统焦距之间的求解关系。最后根据成像系统变焦需求,计算变形镜变焦面形,根据计算结果调整实现所需的变形镜面形。本发明方法能够在变形镜动态范围内生成适合的面形,以满足光学成像系统变焦的需要。
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