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公开(公告)号：CN118575488A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202380017458.5
申请日：2023-02-09
Applicant: 日清纺微电子株式会社
IPC: H04R19/04
Abstract: 一种MEMS元件，该MEMS元件具备：基板(1)，其具备后腔室(9)；振动膜(3)，其包含接合在基板(1)上的可动电极；以及背板(7)，其包含与可动电极相对配置的固定电极(5)，在振动膜(3)形成有与背板(7)连结的壁(10A)、狭缝(11a、11b)以及多个振动部(12A、12B)，多个振动部(12A、12B)存在于由壁(10A)与振动膜(3)的接合部包围的区域或壁(10A)与振动膜(3)的接合部和振动膜(3)的周缘部之间的区域中的任一个，至少一个振动部存在于壁(10A)与振动膜(3)的接合部和振动膜(3)的周缘部之间的区域。
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公开(公告)号：CN116368094A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202180070043.5
申请日：2021-10-28
Applicant: 日清纺微电子株式会社
Inventor： 本木直幸
IPC: B81B3/00
Abstract: 一种能够输入MEMS换能器的信号的半导体集成电路装置，其包括：MEMS换能器(2)用的电源电路(11)；输入放大器(12)，其输入MEMS换能器(2)的信号并进行放大；线路驱动器(13)，其具有输入端，对输入放大器(12)的输出进行放大，并且，能够驱动与输出端子(T3)连接的负载；以及输出端子(T3)，其输出线路驱动器(13)的输出，电源电路(11)、输入放大器(12)以及线路驱动器(13)一体地形成于半导体基板，并且，在线路驱动器(13)的输入端连接有确定线路驱动器(13)的增益和输出端子(T3)的直流电位的增益设定电路(14)。
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公开(公告)号：CN119404113A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202280097417.7
申请日：2022-12-01
Applicant: 日清纺微电子株式会社
Inventor： 及川和夫
Abstract: 一种电波传感器装置，其具备产生高频信号的振荡器、发送天线(10)、接收天线(11)、混频器以及信号处理装置，发送天线(10)具有发送天线部(21)和发送喇叭部(22A)，接收天线(11)具有接收天线部(23)和接收喇叭部(24A)，发送天线部(21)和接收天线部(23)在同一平面上分开配置，发送喇叭部(22A)的内壁和接收喇叭部(24A)的内壁具有将发送天线(10)和接收天线(11)分离的壁部(27)，该壁部(27)具有从发送喇叭部(22A)和接收喇叭部(24A)的开口端侧分别朝向发送天线部(21)和接收天线部(23)而与平面垂直的壁面区域，并且发送喇叭部(22A)和接收喇叭部(24A)隔着壁部(27)相邻配置。
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公开(公告)号：CN119213301A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202380041127.5
申请日：2023-05-02
Applicant: 日清纺微电子株式会社
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明提供的气体传感器，包括：基板(1)；设置于基板1的开口部(6)；覆盖开口部(6)的薄膜(3)；搭载于薄膜(3)的开口部(6)上的检测气体的传感器部(4)；搭载于薄膜(3)的开口部(6)上的加热传感器部(4)的加热器(4d)；以及配置于传感器部(4)和加热器(4d)的外周的薄膜(3)的至少一个狭缝(5)。
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公开(公告)号：CN118339854A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202280078883.0
申请日：2022-02-22
Applicant: 日清纺微电子株式会社
Inventor： 福留隆雄
IPC: H04R19/04
Abstract: 一种MEMS元件，在具备后腔(9)的基板(1)上，包括固定电极(5)的背板(7)和包括可动电极的振动膜(3)隔着垫片(4)相对配置，在振动膜(3)具备与背板(7)连结的柱(11)、柱侧狭缝(12)以及周缘部侧狭缝(13)，在振动膜(3)形成有多个振动部(14)。振动膜(3)的中央部通过柱(11)与背板(7)连结，因此能够抑制振动膜(3)中央部的振幅。多个振动部分别在柱(11)与振动膜(3)的接合部侧设置有柱侧狭缝(12)，在周缘部设置有周缘部侧狭缝(13)，由此振动膜(3)的中央部与周缘部的振幅量的差变小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119096371A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202280095471.8
申请日：2022-07-22
Applicant: 日清纺微电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种MEMS元件，在具备后腔(9)的基板(1)上，包括固定电极(5)的背板(7)和包括可动电极的振动膜(3)隔着垫片(4)相向配置，在振动膜(3)具备与背板(7)连结的柱(10)和柱侧狭缝(11)以及周缘部侧狭缝(12)，在振动膜(3)形成有多个振动部(13)和与振动部(13)相向的多个固定电极部(14)。振动膜(3)的中央部通过柱(10)与背板(7)连结，因此，能够抑制振动膜(3)中央部的振幅。多个振动部分别在柱(10)与振动膜(3)的接合部侧设置有柱侧狭缝(11)，在周缘部设置有周缘部侧狭缝(12)，从而振动膜(3)的中央部与周缘部的振幅量的差变小。
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公开(公告)号：CN117044240A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202180095677.6
申请日：2021-03-23
Applicant: 日清纺微电子株式会社
IPC: H04R19/04
Abstract: 一种MEMS元件，包括：基板(1)，其包括开口部(1a)；振动膜(3)，其隔着绝缘膜(2)形成在基板(1)上，在周缘部沿着端部间歇形成有狭缝(3a)；以及背板(5)，其固定形成于垫片(4)，并在中心部具有多个声孔(5b)，所述垫片(4)形成于基板(1)的周缘部。背板(5)在多个声孔(5b)的外周部且俯视观察时比振动膜(3)的狭缝的最外周端靠端部侧的位置具有蚀刻孔(5c)，狭缝(3a)以位于基板(1)的未形成开口部(1a)的部分之上的方式形成。振动膜(3)的端部(3d)以及振动膜(3)的下层的绝缘膜(2)与垫片(4)的下端部分离，并且振动膜(3)的下层的绝缘膜被从振动膜(3)的端部(3d)以及狭缝(3a)蚀刻至振动膜(3)之下。
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公开(公告)号：CN110007308B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN201811465408.0
申请日：2018-12-03
Applicant: 日清纺微电子株式会社
IPC: G01S15/931 , B60W30/06
Abstract: 本发明提供一种超声波传感器，其能降低制造成本，并且能抑制有损设置超声波传感器的部位的外观设计的情况。本发明的超声波传感器具备超声波发送器、超声波接收器和检测部。超声波发送器发送脉冲状的超声波而激励薄板。超声波接收器接收直达波和反射波，其中，直达波是在被脉冲状的超声波激励后的薄板中传输的超声波之中仅在薄板中传输的超声波，反射波是在该被激励后的薄板中传输的超声波之中向外部散射并被物体反射后返回薄板的超声波。检测部基于超声波接收器接收到直达波的时间与超声波接收器接收到反射波的时间之差来检测薄板附近存在的物体。
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公开(公告)号：CN112086331B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202010536688.0
申请日：2020-06-12
Applicant: 日清纺微电子株式会社
Abstract: 本发明的电子枪具备：具有电子发射面且平面形状为圆形的阴极、加热器、与阴极对向地配置的阳极、以及耐热构件。阳极是施加对阴极为正的电位，以固定方向取出电子。阴极在其中心部具有沿着阴极中心轴的贯通孔。耐热构件具有封闭该贯通孔的第一部分、及位于阴极与加热器之间的第二部分。
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公开(公告)号：CN111262437B
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN201911219307.X
申请日：2019-12-03
Applicant: 日清纺微电子株式会社
Abstract: 本申请涉及一种开关电源装置，其使所需的辅助绕组仅为一个。当输出电压Vout为输出电压Vout2以下时，电流限制反馈电路通过辅助绕组的电压生成反馈电流Ifb1～Ifb3。在输出电压Vout超过电压Vout1时，使导通期间控制电路取入感测电压Vs1和光电耦合器电流Ipc1，并且使截止期间控制电路取入通过恒流Ioff进行充电的电容器的电压Vc4和光电耦合器电流Ipc2。在输出电压Vout低于电压Vout2时，使导通期间控制电路取入感测电压Vs1和反馈电流Ifb1，并且使截止期间控制电路取入通过恒流Ioff与反馈电流Ifb3的差分电流进行充电的电容器的电压Vc4和反馈电流Ifb2。
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