公开(公告)号：CN117716292A

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202280052657.5

申请日：2022-07-05

Applicant: 亚历克斯·P·G·罗宾逊 ,  爱德华·杰克逊 ,  约翰·罗斯 ,  汤姆·拉达 ,  格雷格·奥卡拉汉

Inventor： 亚历克斯·P·G·罗宾逊 ,  爱德华·杰克逊 ,  约翰·罗斯 ,  汤姆·拉达 ,  格雷格·奥卡拉汉

IPC: G03F7/004

Abstract: 本专利申请公开了一种物质组合物，其包含溶剂；和具有选自(I)的化学结构的酯，其中X和Y相同或不同，其中X、Y和R1至R4为具有1至24个碳原子的支链或非支链的、经取代或未经取代的烷基链，其具有取代到链中的0至16个杂原子；为经取代或未经取代的苯基基团、杂芳族基团，或者稠合芳族基团或稠合杂芳族基团或两者的组合。#imgabs0#

公开(公告)号：CN107087426A

公开(公告)日：2017-08-22

申请号：CN201580002527.0

申请日：2015-12-15

Applicant: 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 ,  艾伦·布朗 ,  安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 ,  汤姆·拉达

Inventor： 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 ,  艾伦·布朗 ,  安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 ,  汤姆·拉达

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/16

Abstract: 本披露涉及新颖的两步光致抗蚀剂组合物和工艺。这些工艺涉及在步骤一中移除对酸敏感的基团以及在步骤二中使该剩余的材料与它们自身或添加的交联体系交联。将多步途径结合到抗蚀剂催化链中增加了在接收低剂量辐射的区域中的化学梯度，有效地充当内置的取决于剂量的淬火模拟，并且从而提高化学梯度以及因此的分辨率。这些光致抗蚀剂组合物以及方法对于使用例如紫外线辐射、超越极端紫外线辐射、极端紫外线辐射、X射线和带电粒子射线的精细图案处理是理想的。还披露了双官能光敏组合物以及方法。

公开(公告)号：CN107207259A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201580054194.6

申请日：2015-12-04

Applicant: 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 ,  安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 ,  艾伦·布朗 ,  汤姆·拉达

Inventor： 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 ,  安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 ,  艾伦·布朗 ,  汤姆·拉达

IPC: C01B32/156 ,  C07C69/616 ,  H01L21/308 ,  B05D3/02 ,  B82Y30/00

CPC classification number: H01L21/0274 ,  B05D1/005 ,  B05D3/002 ,  B05D3/0254 ,  C01B32/152 ,  C09D163/04 ,  C09D177/00 ,  H01L21/02115 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/02318 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/31122 ,  H01L21/31138

Abstract: 本文公开并且要求保护的是用于形成旋涂硬掩膜的组合物，其具有富勒烯衍生物和交联剂。还公开了用于形成硬掩膜的工艺。