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公开(公告)号：CN107207259A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201580054194.6
申请日：2015-12-04
Applicant: 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 艾伦·布朗 , 汤姆·拉达
Inventor： 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 艾伦·布朗 , 汤姆·拉达
IPC: C01B32/156 , C07C69/616 , H01L21/308 , B05D3/02 , B82Y30/00
CPC classification number: H01L21/0274 , B05D1/005 , B05D3/002 , B05D3/0254 , C01B32/152 , C09D163/04 , C09D177/00 , H01L21/02115 , H01L21/02282 , H01L21/02318 , H01L21/3065 , H01L21/3081 , H01L21/31122 , H01L21/31138
Abstract: 本文公开并且要求保护的是用于形成旋涂硬掩膜的组合物，其具有富勒烯衍生物和交联剂。还公开了用于形成硬掩膜的工艺。
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公开(公告)号：CN107087426A
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：CN201580002527.0
申请日：2015-12-15
Applicant: 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 艾伦·布朗 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 汤姆·拉达
Inventor： 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 艾伦·布朗 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 汤姆·拉达
Abstract: 本披露涉及新颖的两步光致抗蚀剂组合物和工艺。这些工艺涉及在步骤一中移除对酸敏感的基团以及在步骤二中使该剩余的材料与它们自身或添加的交联体系交联。将多步途径结合到抗蚀剂催化链中增加了在接收低剂量辐射的区域中的化学梯度，有效地充当内置的取决于剂量的淬火模拟，并且从而提高化学梯度以及因此的分辨率。这些光致抗蚀剂组合物以及方法对于使用例如紫外线辐射、超越极端紫外线辐射、极端紫外线辐射、X射线和带电粒子射线的精细图案处理是理想的。还披露了双官能光敏组合物以及方法。
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公开(公告)号：CN109562944A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780032612.0
申请日：2017-05-22
Applicant: 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 托马斯·拉达 , 约翰·L·罗斯 , 艾伦·布朗 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 爱德华·A·杰克逊
Inventor： 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 托马斯·拉达 , 约翰·L·罗斯 , 艾伦·布朗 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 爱德华·A·杰克逊
IPC: C01B32/156 , C08K9/04 , C09C3/08 , C09D161/14 , H01L21/00 , H01L21/02
Abstract: 本文公开且要求保护的是用于形成旋涂硬掩模的组合物，该组合物具有富勒烯衍生物和交联剂。还公开了用于形成硬掩模的工艺。
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公开(公告)号：CN109562944B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN201780032612.0
申请日：2017-05-22
Applicant: 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 托马斯·拉达 , 约翰·L·罗斯 , 艾伦·布朗 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 爱德华·A·杰克逊
Inventor： 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 托马斯·拉达 , 约翰·L·罗斯 , 艾伦·布朗 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 爱德华·A·杰克逊
IPC: C01B32/156 , C08K9/04 , C09C3/08 , C09D161/14 , H01L21/00 , H01L21/02
Abstract: 本文公开且要求保护的是用于形成旋涂硬掩模的组合物，该组合物具有富勒烯衍生物和交联剂。还公开了用于形成硬掩模的工艺。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104884423A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201380069217.1
申请日：2013-11-01
Applicant: 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 乔恩·安德鲁·普利斯 , 理查德·爱德华·帕尔默 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 杨东旭 , 亚历山德拉·麦克莱兰德 , 杜鲁·阿希斯 , 薛祥
Inventor： 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 乔恩·安德鲁·普利斯 , 理查德·爱德华·帕尔默 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 杨东旭 , 亚历山德拉·麦克莱兰德 , 杜鲁·阿希斯 , 薛祥
IPC: C07C69/753 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , H01L21/027 , B82Y30/00
CPC classification number: G03F7/027 , C07C69/753 , C07C69/96 , C07C2604/00 , G03F7/0046 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/20 , G03F7/325 , G03F7/38 , H01L51/0047
Abstract: 本披露涉及新颖的亚甲基富勒烯衍生物，由其制备的负型光致抗蚀剂组合物以及使用它们的方法。这些衍生物、它们的光致抗蚀剂组合物以及方法对于使用例如紫外线辐射、超越极端紫外线辐射、极端紫外线辐射、X射线和带电粒子射线的精细图案处理是理想的。
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公开(公告)号：CN107548473A
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201680023321.0
申请日：2016-04-26
Applicant: 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 亚历山德拉·麦克莱兰德 , 托马斯·拉达 , 约翰·罗斯
Inventor： 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 亚历山德拉·麦克莱兰德 , 托马斯·拉达 , 约翰·罗斯
IPC: G03F7/004
Abstract: 本公开内容涉及新的正性光致抗蚀剂组合物和负性光致抗蚀剂组合物以及使用这些组合物的方法，该正性光致抗蚀剂组合物和负性光致抗蚀剂组合物包含基于一种或更多种特定金属、金属盐和/或金属络合物的组分。光致抗蚀剂组合物和方法对于使用例如紫外线辐射、极端紫外线辐射、超极端紫外线辐射、X射线、电子束和其他带电荷的颗粒射线的高速的精细图案处理是理想的。金属的特征在于高吸收截面和选择的弹性和非弹性电子截面。
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公开(公告)号：CN107406392A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201580070057.1
申请日：2015-12-21
Applicant: 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 杨冬旭 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 托马斯·拉达 , 约翰·罗斯 , 薛湘 , 爱德华·A·杰克逊
Inventor： 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 杨冬旭 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 托马斯·拉达 , 约翰·罗斯 , 薛湘 , 爱德华·A·杰克逊
IPC: C07D245/02 , C07D487/04 , C07D487/08 , G03F7/004
CPC classification number: G03F7/027 , C07D245/02 , C07D487/14 , C07D498/14 , G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/20 , G03F7/38 , H01L51/0018 , H01L51/0047
Abstract: 本发明申请公开了一种物质组合物，其包含：包含溶剂；以及具有选自(I)、(II)或(III)的化学结构的酯；其中X和Y相同或不同，其中X和Y中的至少一个包含酸不稳定基团，其中R1是具有1-4个碳原子的饱和或不饱和的基团，R2选自氢或具有1-4个碳原子的饱和或不饱和的基团，R3是具有1-4个碳原子的饱和或不饱和的基团，并且R4是具有1-4个碳原子的饱和或不饱和的基团，并且A-是阴离子。
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公开(公告)号：CN104884423B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201380069217.1
申请日：2013-11-01
Applicant: 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 乔恩·安德鲁·普利斯 , 理查德·爱德华·帕尔默 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 杨东旭 , 亚历山德拉·麦克莱兰德 , 杜鲁·阿希斯 , 薛祥
Inventor： 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 乔恩·安德鲁·普利斯 , 理查德·爱德华·帕尔默 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 杨东旭 , 亚历山德拉·麦克莱兰德 , 杜鲁·阿希斯 , 薛祥
IPC: C07C69/753 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , H01L21/027 , B82Y30/00
CPC classification number: G03F7/027 , C07C69/753 , C07C69/96 , C07C2604/00 , G03F7/0046 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/20 , G03F7/325 , G03F7/38 , H01L51/0047
Abstract: 本披露涉及新颖的亚甲基富勒烯衍生物，由其制备的负型光致抗蚀剂组合物以及使用它们的方法。这些衍生物、它们的光致抗蚀剂组合物以及方法对于使用例如紫外线辐射、超越极端紫外线辐射、极端紫外线辐射、X射线和带电粒子射线的精细图案处理是理想的。
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公开(公告)号：CN106170736A
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201480040591.3
申请日：2014-05-21
Applicant: 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 理查德·爱德华·帕尔默 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 杨东旭
Inventor： 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊 , 理查德·爱德华·帕尔默 , 安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德 , 杨东旭
IPC: G03F7/004 , C01B31/02 , C07C62/34 , C07C209/70
CPC classification number: G03F7/0042 , C07C69/753 , C07C69/96 , C07C2604/00 , C07D401/04 , C07D401/14 , G03F7/0043 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/027 , G03F7/0382 , G03F7/0392 , H01L51/0047
Abstract: 本披露涉及新颖的富勒烯衍生物，由其制备的正性和负性光致抗蚀剂组合物以及使用它们的方法。这些衍生物、它们的光致抗蚀剂组合物以及方法对于使用例如紫外线辐射、极端紫外线辐射、超越极端紫外线辐射、X射线、电子束以及其他带电粒子射线的高速、精细图案处理是理想的。
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