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公开(公告)号：CN117214231A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311174228.8
申请日：2023-09-12
Applicant: 苏州市计量测试院
IPC: G01N25/20
Abstract: 本发明提供一种碳材料复合薄膜热导率测量装置及方法，涉及热导率测量技术领域。测量装置包括温控系统和真空系统，为薄膜导热系数测量提供了一个无空气自然对流及环境温度波动影响的测试环境，提升了测量准确度。测量方法包括：采用双桥法测量碳材料复合薄膜沿平行薄膜面方向的热导率，采用3ω法测量碳材料复合薄膜沿垂直薄膜面方向的热导率。本方法通过结合3ω法和双桥法热导率测量原理，可以实现平行薄膜和垂直薄膜两个方向热导率的准确测量，本方法测量快速、测量结果准确，测得实验数据可以有效反映碳材料复合薄膜热导率，为该类材料的推广应用数据支撑。
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公开(公告)号：CN118999372A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411109607.3
申请日：2024-08-13
Applicant: 苏州市计量测试院
Abstract: 本发明提供晶圆厚度无损测量装置及测量方法。测量装置包括支架、样品座、标准厚度片、上丝杆升降驱动机构、上激光位移传感器、下丝杆升降驱动机构、下激光位移传感器和控制器。本发明借助于已溯源的标准厚度片，通过比较测量，避免了单头测量中硅片与大理石之间的空隙引起的误差；也避免了接触式测量带来的对晶圆造成损伤的可能。通过上、下丝杆升降驱动机构预先将上、下激光位移传感器将其测距范围调节至其焦点距离，这样对晶圆测量读数就充分利用了上、下激光位移传感器测量精度最高的测距量程，实现了对晶圆非接触式的高精度测量。
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公开(公告)号：CN118816728A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410727784.1
申请日：2024-06-06
Applicant: 苏州市计量测试院
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明提供一种硅片厚度测量装置及测量方法，测量装置包括样品架、标准厚度片、上位移传感器、下位移传感器和计算机，标准厚度片的厚度值为已溯源的标准值h；上位移传感器用于采集计算其与标准厚度片上表面接触位置点和其与待测硅片上表面接触位置点之间的位移值h1；下位移传感器用于采集计算其与标准厚度片下表面接触位置点和其与待测硅片下表面接触位置点之间的位移值h2；待测硅片厚度为h+h1+h2。本发明借助于已溯源的标准厚度片，通过比较测量，仅使用上位移传感器和下位移传感器上较小一段作为测量行程，避免了接触式传感器测量大行程时的精度差问题，同时避免了单头测量中硅片与大理石之间的空隙引起的误差，实现硅片厚度的高精度测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN214333693U
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202023126234.0
申请日：2020-12-22
Applicant: 苏州市计量测试院
Abstract: 本实用新型涉及一种用于三维显微镜横向示值误差校准的标准器，包括循迹结构和工作区域，所述循迹结构位于所述工作区域的外侧，所述工作区域包括多个子区域，所述子区域包括矩阵二维栅格结构，多个所述子区域中至少二个矩阵二维栅格的计量尺寸不同，所述循迹结构包括循迹标识，所述循迹标识位于所述工作区域外侧，所述循迹标识用于辅助引导操作者定位所述矩阵二维栅格结构位置。通过提供了不同计量尺寸的矩阵二维栅格结构，扩大了标准器可适用的仪器型号范围；解决了现有技术中在校准不同倍率镜头时需要多次更换标准器，测量效率低，影响测量结果准确性的问题。
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公开(公告)号：CN219589638U
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202320536677.1
申请日：2023-03-20
Applicant: 苏州市计量测试院
IPC: G01B15/00
Abstract: 本实用新型提供一种用于校准工业CT空间分辨率的标准器，包括底座、封装罩和芯片，芯片竖直设置在底座顶部，封装罩可拆卸地安装在底座上，芯片位于封装罩内腔；芯片上蚀刻有指引标识和栅格图形，指引标识位于栅格图形的外围，指引标识包括方框指引标识、三角形指引标识和尺寸指引标识。封装罩采用可拆卸结构，在用标准器校准工业CT设备时不需要拆下封装罩，能够有效防止芯片污染；当需要对芯片上的栅格图形结构尺寸数据进行溯源时，将封装罩拆卸取出芯片，使用扫描电镜对其标准值进行高精确溯源。芯片上在栅格图形的外围增加了指引标识，可以在校准过程中更加便捷高效地找到芯片核心区域，提高了校准效率。
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公开(公告)号：CN219589579U
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202320536526.6
申请日：2023-03-20
Applicant: 苏州市计量测试院
IPC: G01B5/02 , G01N23/046
Abstract: 本实用新型提供一种用于工业CT检测的调心预对中装置，包括底座、旋转台、XY轴调节载物台、支撑柱、十字激光发射器、距离测量机构和升降驱动机构。通过XY双向调节，最终使样品的最大外轮廓的中心与旋转中心重合；完成预对中的样品和XY轴调节载物台一起从旋转台上取出，安装在工业CT设备转台上即可进行工业CT扫描检测。本实用新型使用十字激光定位和距离测量机构测量调整，可以精确地使样品最大外轮廓中心与旋转台的回转中心重合。只需要预先在本装置上调整好位置，不需要频繁开关工业CT设备进行调整，检测更为方便快捷；无需频繁开关工业CT设备的X射线管和灯丝，延长了设备易损耗部件的使用寿命。
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公开(公告)号：CN220913034U
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202322362273.8
申请日：2023-08-31
Applicant: 苏州市计量测试院
IPC: G01N25/20
Abstract: 本实用新型提供一种薄膜导热系数测量装置，包括放样机构、真空泵、铂电阻温度计、导热系数测量用电控设备和控制器；放样机构包括真空腔上壳体、密封垫圈、真空腔底座和放样台，真空腔上壳体和真空腔底座之间形成用于放样的真空腔体，放样台安装在真空腔体内，待测的薄膜放置在所述放样台上；真空计用于检测真空腔体内的真空度值。通过铂电阻温度计进行真空腔体内温度的检测和维持；通过真空泵对真空腔体抽真空，达到设定的真空度值；然后再通过导热系数测量用电控设备对薄膜进行导热系数的测定采集。采用本实用新型技术方案，为薄膜导热系数测量提供了一个无空气自然对流及环境温度波动影响的测试环境，提升了测量准确度。
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公开(公告)号：CN211783367U
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202020383065.X
申请日：2020-03-25
Applicant: 苏州市计量测试院
IPC: G01B21/02
Abstract: 本申请提供一种线缆计米器在线校准装置，包括测量机构、固定机构和数据显示机构；测量机构与固定机构连接；测量机构包括测量轮和光电编码器，光电编码器与测量轮连接；数据显示机构包括控制仪表和显示仪表；控制仪表与光电编码器连接；控制仪表与显示仪表能够通过无线进行数据传输。本申请提供的线缆计米器在线校准装置，将测量轮、光电编码器、固定机构和数据显示机构整合在一起，本校准装置的光电编码器能够将数据传递给数据显示机构的控制仪表，控制仪表与显示仪表能够通过无线进行数据传输，无需每次都要停顿计数，简单方便，集成化程度高，且本申请提供的线缆计米器在线校准装置能够在线检测，测量精度更高。
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