间隙配置部件
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114630921B

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202080076435.8

    申请日:2020-08-06

    Abstract: 本发明涉及由层叠结构构成的间隙配置部件,提供不易因加热而发生层间剥离的新型的间隙配置部件。本发明的间隙配置部件的特征在于,其是在溅射靶的基材(简称为“基材”)的表面侧配置多个靶部件时,沿着相邻的靶部件之间的间隙、介于上述靶部件与基材之间的间隙配置部件,其中,上述间隙配置部件形成在厚度方向上层叠三层以上而成的多层结构,在靶部件侧的层(也称为“表面层”)与基材侧的层(也称为“背面层”)之间具有中间层,构成上述中间层的材料的线膨胀系数在构成上述表面层的材料的线膨胀系数与构成上述背面层的材料的线膨胀系数之间的范围内。

    间隙配置部件
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114630921A

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN202080076435.8

    申请日:2020-08-06

    Abstract: 本发明涉及由层叠结构构成的间隙配置部件,提供不易因加热而发生层间剥离的新型的间隙配置部件。本发明的间隙配置部件的特征在于,其是在溅射靶的基材(简称为“基材”)的表面侧配置多个靶部件时,沿着相邻的靶部件之间的间隙、介于上述靶部件与基材之间的间隙配置部件,其中,上述间隙配置部件形成在厚度方向上层叠三层以上而成的多层结构,在靶部件侧的层(也称为“表面层”)与基材侧的层(也称为“背面层”)之间具有中间层,构成上述中间层的材料的线膨胀系数在构成上述表面层的材料的线膨胀系数与构成上述背面层的材料的线膨胀系数之间的范围内。

    烧结窑具
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110081708A

    公开(公告)日:2019-08-02

    申请号:CN201910092120.1

    申请日:2014-02-25

    Abstract: 本发明提供一种能够容易地制作并且提高自身生产效率的烧结窑具。为了解决该问题,烧结窑具具有:框体,其在中央侧具有形成为圆弧状的多个中空部;多个架桥部,其从框体连续地形成并且架设在框体的中空部中,在中空部中相互交叉;支承部,其与框体的下表面一体成形,支承框体;以及承托部,其形成于框体的上表面,在层叠有多个框体的情况下,承托在铅直方向上位于上方的框体的所述支承部,框体与架桥部一体成形,支承部形成为宽度随着远离框体的下表面而变小的倾斜状,承托部是从框体的上表面凹陷规定深度的坑且形成为能够载置支承部的形状,在作为承托部的坑的侧壁中,框体不形成外周侧的侧壁而形成有内周侧的侧壁。

    分割溅射靶
    8.
    发明公开
    分割溅射靶 审中-实审

    公开(公告)号:CN113811633A

    公开(公告)日:2021-12-17

    申请号:CN202080035149.7

    申请日:2020-07-30

    Abstract: 本发明提供在溅射处理时可抑制背板的构成材料混入到成膜的薄膜中的分割溅射靶。[解决手段]所述分割溅射靶具备:基体;相邻的靶构件彼此空开间隙地被配置于上述基体的表面上的多个靶构件;设置于上述基体的表面与上述多个靶构件之间的接合材;和保护构件,其按照下述方式被设置于上述基体的表面上:至少覆盖彼此相邻的靶构件的间隙,以使上述基体表面不会从上述间隙被溅射,其中,上述保护构件具有:沿第1方向延伸的第1部分;沿与上述第1方向交叉的方向延伸的第2部分;和连接上述第1部分及上述第2部分的第3部分。

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