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公开(公告)号:CN106823525A
公开(公告)日:2017-06-13
申请号:CN201710179098.5
申请日:2017-03-23
Applicant: 三井金属矿业株式会社
CPC classification number: B01D29/52 , B01D19/0005 , B01D19/0042
Abstract: 本发明涉及金属熔液过滤装置和金属熔液用脱气装置。该金属熔液过滤装置具有:槽体,该槽体用于储存金属熔液;入液部,该入液部用于上述金属熔液供给到上述槽体内;和出液部,该出液部用于经过配置在上述槽体内的过滤单元过滤后的金属熔液从上述过滤单元或槽体内流出,其中,上述入液部和上述出液部的至少一者具有用于将储存在上述槽体内的金属熔液的液面与外气隔绝的拼装型结构体。上述金属熔液用脱气装置与上述金属熔液过滤装置相比,还具有用于将储存的上述金属熔液进行搅拌的搅拌体和/或气泡生成机。根据本发明,通过基于熔液处理的具体情况而变更和调整拼装型结构体的构成部件,由此制成适宜的外气隔绝结构体,从而有效地隔绝外气。
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公开(公告)号:CN106943784A
公开(公告)日:2017-07-14
申请号:CN201710178580.7
申请日:2017-03-23
Applicant: 三井金属矿业株式会社
CPC classification number: Y02P10/234 , B01D29/52 , B01D35/18 , C22B9/023
Abstract: 本发明提供了在对熔液进行加热时不会产生氧化物等夹杂物的熔液过滤装置。本发明的熔液过滤装置在收纳熔液的罐体(1)中具备不能浸渍于所述熔液的第一加热器(6)和能够浸渍于所述熔液的第二加热器单元(7)。第一加热器(6)和第二加热器单元(7)优选分别通过同一控制装置或不同控制装置来进行温度控制。根据本发明,在对熔液进行加热时不会产生氧化物等夹杂物,因此能够提高整体的过滤效率。
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公开(公告)号:CN1984855B
公开(公告)日:2010-05-12
申请号:CN200580023674.2
申请日:2005-09-29
Applicant: 三井金属矿业株式会社
CPC classification number: C23C14/3414 , C04B35/01 , C04B35/453 , C04B35/457 , C04B35/64 , C04B2235/3217 , C04B2235/3284 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/3294 , C04B2235/656 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/661 , C04B2235/77 , F27B9/2407 , F27B9/36
Abstract: 本发明公开一种靶材的制造方法,是利用粉末冶金法制造溅射靶的靶材的方法,其包括:对于每一个成型后的被烧结体,从该被烧结体的一端开始进行烧结的加热工序;该加热工序优选为,对每一个所述被烧结体,使该被烧结体同时跨过两个以上的设为不同温度的相邻区域、一边搬送一边加热的工序。根据本发明,在加热工序中,对于每一个被烧结体,升温时通过在其两端设定温度差,可以从一端开始顺序加热,从而进行烧结,即,在制造长尺寸以及大型的靶材时,也可以使烧结工序从被烧结体的一端开始顺序进行,使该烧结体的由烧结引起的收缩也顺序产生,因此,可以提高最终获得的靶材的密度,改善密度不均的同时还可以防止发生弯曲变形以及裂纹。
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公开(公告)号:CN114729442A
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN202080079773.7
申请日:2020-07-02
Applicant: 三井金属矿业株式会社
Inventor: 高井惠一
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明在将圆筒形陶瓷成型体以直立状态进行烧成而得到圆筒形陶瓷烧结体时,抑制圆筒形陶瓷成型体大幅倾斜或翘曲,提高未大幅倾斜或翘曲的优质的圆筒形陶瓷烧结体的成品率。本发明提出在对圆筒形陶瓷成型体以直立状态进行烧成时,在被该圆筒形陶瓷成型体的内周面包围的内部空间内,按照在烧成夹具的支撑面、支撑部或支撑片部与上述圆筒形陶瓷成型体的内周面之间产生间隙的方式配置该烧成夹具。
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公开(公告)号:CN1984855A
公开(公告)日:2007-06-20
申请号:CN200580023674.2
申请日:2005-09-29
Applicant: 三井金属矿业株式会社
CPC classification number: C23C14/3414 , C04B35/01 , C04B35/453 , C04B35/457 , C04B35/64 , C04B2235/3217 , C04B2235/3284 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/3294 , C04B2235/656 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/661 , C04B2235/77 , F27B9/2407 , F27B9/36
Abstract: 本发明公开一种靶材的制造方法,是利用粉末冶金法制造溅射靶的靶材的方法,其包括:对于每一个成型后的被烧结体,从该被烧结体的一端开始进行烧结的加热工序;该加热工序优选为,对每一个所述被烧结体,使该被烧结体同时跨过两个以上的设为不同温度的相邻区域、一边搬送一边加热的工序。根据本发明,在加热工序中,对于每一个被烧结体,升温时通过在其两端设定温度差,可以从一端开始顺序加热,从而进行烧结,即,在制造长尺寸以及大型的靶材时,也可以使烧结工序从被烧结体的一端开始顺序进行,使该烧结体的由烧结引起的收缩也顺序产生,因此,可以提高最终获得的靶材的密度,改善密度不均的同时还可以防止发生弯曲变形以及裂纹。
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公开(公告)号:CN207024767U
公开(公告)日:2018-02-23
申请号:CN201720290163.7
申请日:2017-03-23
Applicant: 三井金属矿业株式会社
Abstract: 本实用新型涉及金属熔液过滤装置和金属熔液用脱气装置。该金属熔液过滤装置具有:槽体,该槽体用于储存金属熔液;入液部,该入液部用于上述金属熔液供给到上述槽体内;和出液部,该出液部用于经过配置在上述槽体内的过滤单元过滤后的金属熔液从上述过滤单元或槽体内流出,其中,上述入液部和上述出液部的至少一者具有用于将储存在上述槽体内的金属熔液的液面与外气隔绝的拼装型结构体。上述金属熔液用脱气装置与上述金属熔液过滤装置相比,还具有用于将储存的上述金属熔液进行搅拌的搅拌体和/或气泡生成机。根据本实用新型,通过基于熔液处理的具体情况而变更和调整拼装型结构体的构成部件,由此制成适宜的外气隔绝结构体,从而有效地隔绝外气。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN206676074U
公开(公告)日:2017-11-28
申请号:CN201720289723.7
申请日:2017-03-23
Applicant: 三井金属矿业株式会社
Abstract: 本实用新型提供了在对熔液进行加热时不会产生氧化物等夹杂物的熔液过滤装置。本实用新型的熔液过滤装置在收纳熔液的罐体(1)中具备不能浸渍于所述熔液的第一加热器(6)和能够浸渍于所述熔液的第二加热器单元(7)。第一加热器(6)和第二加热器单元(7)优选分别通过同一控制装置或不同控制装置来进行温度控制。根据本实用新型,在对熔液进行加热时不会产生氧化物等夹杂物,因此能够提高整体的过滤效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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