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发明授权
铝系合金靶材的制造方法及用该方法得到的铝系合金靶材失效

公开(公告)号：CN1179061C

公开(公告)日：2004-12-08

申请号：CN02118135.7

申请日：2002-04-19

Applicant: 三井金属鉱业株式会社

Inventor： 久保田高史 , 渡边弘 , 松前和男 , 加藤和照

IPC: C22C21/00 , C23C14/34 , C23C14/14

Abstract: 提供一种铝合金靶材的制造技术。它能够容易地使铝母相中的铝-碳相无大的偏析，微细析止。在该铝中含碳的铝系合金靶材的制造方法中，将铝投入碳坩埚中，加热至1600℃-2500℃，将铝熔化，在碳坩埚中生成铝-碳合金，使该熔液冷却凝固，由此形成铝-碳相均匀微细地分散在铝母相中的铝-碳合金。或者，将该铝-碳合金再熔化，加入镁等添加元素，搅拌后进行铸造。

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