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公开(公告)号：CN113788452B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202111014187.7
申请日：2021-08-31
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种精细微纳米玻璃结构的加工方法，包括如下步骤：准备玻璃基片，并进行清洗吹干；当掩膜材料为非光刻胶材料，将掩模薄膜沉积到玻璃基片上，再涂覆光刻胶；当掩膜材料为光刻胶材料，在玻璃基片上涂覆光刻胶；采用光刻的方式，将待加工的结构转移至基片表面的光刻胶上；当掩膜材料为非光刻胶材料，先对掩膜材料进行刻蚀，再对玻璃基片进行刻蚀；当掩膜材料为光刻胶材料，仅对玻璃基片进行刻蚀即可；利用干法刻蚀或湿法腐蚀的方法去除光刻胶及掩膜材料，形成最终的玻璃器件结构。采用本发明的制备工艺，可使得刻蚀玻璃速率达到了710nm/min，粗糙度降低到40nm以下，侧壁垂直度接近90°。
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公开(公告)号：CN114924341B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202210488488.1
申请日：2022-05-06
Applicant: 上海交通大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明提供一种提高FIB刻蚀超浅光栅结构侧壁垂直度的方法及系统，涉及离子束加工技术领域，包括：步骤S1：在目标材料上制备掩膜层；步骤S2：根据需要刻蚀的光栅结构设计优化FIB刻蚀参数；步骤S3：利用FIB刻蚀参数从掩膜层表面开始刻蚀，刻蚀深度至目标材料表面以下；步骤S4：去除掩膜层，在目标材料表面形成高侧壁垂直度的超浅光栅结构。本发明能够在铌酸锂等非导电材料表面实现刻蚀深度100nm以下、深度可控精度小于10nm、侧壁垂直度80°以上的超浅光栅结构。
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公开(公告)号：CN113933941A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202111242481.3
申请日：2021-10-25
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于二元闪耀亚波长光栅的、垂直耦合的光栅耦合器，自上而下的功能层、键合层和衬底层。功能层为脊型结构，包括输入/出光耦合器、光子波导器件区域。输入与输出光耦合器呈对称设置，内均设有周期性排布的二元亚波长闪耀光栅阵列，每个周期中设置有一个不同宽度的主级和次级亚波长光栅，相邻亚波长光栅之间形成宽度不一的间隔槽，最后一个次级亚波长光栅与中间的光波导区域相临近。本发明在降低器件设计复杂度的同时优化设计出一种基于二元闪耀亚波长光栅的光栅耦合器，以实现最大的光耦合效率，垂直耦合还极大地方便了器件的测试和后期芯片的封装。本发明所设计的光子器件结构较紧凑、制备工艺简单、可重复性好。
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公开(公告)号：CN104535769B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201410768633.7
申请日：2014-12-12
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N33/68 , G01N33/577 , G01N33/543
Abstract: 本发明公开一种高密度生物大分子单分子芯片的制作技术，该方法可将单个生物大分子固定于纳米阵列，从而制备成单分子芯片。首先制备能扦插入单个生物大分子的纳米坑阵列；并对纳米坑阵列底部进行选择性表面修饰而活化，以确保单个生物大分子能够固定到纳米坑阵列中；因基片表面的其他区域未被活化，不能绑定目标分子；最后清洗基片，获得高通量的单分子生物芯片。本发明获得的目的生物芯片主要特征是单分子、高通量、多功能，未来可用于超灵敏单分子酶联免疫吸附分析、基于杂交的DNA变异检测、单分子DNA合成和连接测序以及单细胞RNA测序等领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103217311B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201310101228.5
申请日：2013-03-26
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开一种生物技术领域的生物复合物的分离与收集方法，该方法采用一内部有溶液通道的流室，该流室溶液通道上游有进样口和电泳缓冲液填充口；将含有目的复合物的混合物通过进样口注入流室，同时将电泳缓冲液通过电泳缓冲液填充口注入流室，流室下游有目的复合物收集口和空微纳米珠出口，流室上下游之间的通道两侧有电极连接通道，在电极连接通道处安装正负电极对，正极与目的复合物收集口位于一侧，负极与空微纳米珠出口位于同一侧；所述电极对连接连续直流电源或单极性矩形脉冲电源，在外加电场力作用下，使携带净负电荷的目的复合物进入目的复合物收集容器。本发明获得的目的复合物纯度高、数量多。
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公开(公告)号：CN103196725A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310101285.3
申请日：2013-03-26
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N1/28 , G01N33/531
Abstract: 本发明公开一种生物技术领域的制备与富集单个微纳米珠携带单根多聚物分子的方法，该方法采用一内部有溶液通道的流室，该流室溶液通道上游设有进样口和电泳缓冲液填充口；将含有目的复合物的混合物通过进样口注入流室，同时将电泳缓冲液通过电泳缓冲液填充口注入流室，流室下端有目的复合物收集口和空微纳米珠出口，连接目的复合物收集口的容器连接电源正极，与目的复合物收集容器对应的流室溶液通道另一处连接电源负极；利用外加电场，使目的复合物进入目的复合物收集容器。本发明获得的目的复合物纯度高、数量多，可用于在单分子水平的核酸-蛋白质相互作用动力学研究、免疫学观察、单分子核酸测序以及新一代测序仪的样品制备等。
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公开(公告)号：CN119179138A
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202411402035.8
申请日：2024-10-09
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种基于随机结构光栅的垂直入射铌酸锂光栅耦合器及制备方法，包括：硅衬底、埋氧层、铌酸锂层以及二氧化硅上包层；埋氧层一侧连接硅衬底，另一侧连接铌酸锂层；铌酸锂层包括随机结构光栅、锥形体以及直波导；直波导通过两侧锥形体连接两侧对称的随机结构光栅。本发明在不引入额外金属反射镜的条件下设计出了一种基于随机结构光栅的垂直入射铌酸锂光栅耦合器，极大降低了背反射从而提升了耦合效率，并且垂直耦合更易于芯片后道的封装。
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公开(公告)号：CN115343788B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202210994615.5
申请日：2022-08-18
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种基于循环刻蚀工艺的石英微透镜制备方法及石英微透镜，包括：光刻步骤：在石英表面上制备光刻胶柱体；热熔步骤：对带有光刻胶柱体的石英表面进行热熔处理，将光刻胶柱体转变为光刻胶透镜体；刻蚀步骤：对石英表面的光刻胶透镜体进行循环刻蚀处理，直至光刻胶完全消失，从而获得石英微透镜阵列。本发明方法操作简单，便于在工艺上实现。
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