公开(公告)号：CN106956211B

公开(公告)日：2019-05-14

申请号：CN201710136968.0

申请日：2017-03-09

Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司

Inventor： 刘南柳 ,  陈蛟 ,  胡楚雄 ,  付松 ,  张国义

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/005 ,  B24B37/34 ,  B24B39/06

Abstract: 本发明公开了一种单面抛光装置，包括下抛光盘和设在该下抛光盘内的游星轮，下抛光盘通过下转轴与驱动机构连接，游星轮内设有用于放置待抛光材料的通孔，所述游星轮的通孔中活动放置有压住待抛光材料的压重块，该压重块上装设有压重控制系统，该压重控制系统包括竖杆、横杆和上旋转轴，竖杆的下端与压重块连接、上端与横杆一端连接，横杆另一端与上旋转轴连接。本发明通过压重控制系统，调节压重块的位置与重心，来控制待抛光材料的抛光表面各处的压力值，从而得到良好的抛光后表面质量。

公开(公告)号：CN106956211A

公开(公告)日：2017-07-18

申请号：CN201710136968.0

申请日：2017-03-09

Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司

Inventor： 刘南柳 ,  陈蛟 ,  胡楚雄 ,  付松 ,  张国义

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/005 ,  B24B37/34 ,  B24B39/06

CPC classification number: B24B37/10 ,  B24B37/005 ,  B24B37/34 ,  B24B39/06

Abstract: 本发明公开了一种单面抛光装置，包括下抛光盘和设在该下抛光盘内的游星轮，下抛光盘通过下转轴与驱动机构连接，游星轮内设有用于放置待抛光材料的通孔，所述游星轮的通孔中活动放置有压住待抛光材料的压重块，该压重块上装设有压重控制系统，该压重控制系统包括竖杆、横杆和上旋转轴，竖杆的下端与压重块连接、上端与横杆一端连接，横杆另一端与上旋转轴连接。本发明通过压重控制系统，调节压重块的位置与重心，来控制待抛光材料的抛光表面各处的压力值，从而得到良好的抛光后表面质量。