-
公开(公告)号：CN113508189B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN201980088099.6
申请日：2019-11-27
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
Abstract: 一种用于GaN材料生长的线性喷头，包括第一气座(1)、第二气座(2)和第三气座(3)，第一气座(1)的中部设置有第一中心气道(11)，相邻第一中心气道(11)之间设置有第一间隙(12)，第一中心气道(11)的底部设置有第一喷嘴(13)；第二气座(2)位于第一气座(1)的上方，第二气座(2)的中部设置有第二中心气道(21)，相邻第二中心气道(21)之间设置有第二间隙(22)，第二中心气道(21)的两侧设置有第二喷嘴(23)；第三气座(3)包括多个第三中心气道(31)，第三中心气道(31)贯穿第一间隙(12)和第二间隙(22)，第三中心气道(31)的底部设置有第三喷嘴(32)。该喷头在工艺过程中能够有效隔离反应气体，避免反应气体因提前混合而在喷嘴处出现预反应；同时能够在生长区域提供稳定的层流流场和均匀分布的反应气体浓度场。
-
公开(公告)号：CN114197037A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111554333.5
申请日：2021-12-17
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种气相外延生长装置，包括：第一容器，内部具有第一密闭空间；第二容器，设置在第一密闭空间内，第二容器内设有金属液态源；导体结构，设置在第一密闭空间内，并具有第二密闭空间或者与第一容器的底部形成第二密闭空间；托盘，设置在第二密闭空间内，并用于放置籽晶；气体输运系统，设置在第一容器外，并通过多个进气管将气体输送至托盘处，其中一个进气管连通第二容器。本发明通过导体结构可以将第一密闭空间划分为两个部分，导体结构既作为晶体生长的热源部件，又作为生长区域的密封隔离部件，使得整个气相外延生长装置的结构简化，同时感应加热方式具备可以根据设计温度曲线调控温度的优点，可以实现温度的快速变化。
-
公开(公告)号：CN112864791A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110023785.4
申请日：2021-01-08
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: H01S5/00 , H01S5/02253 , H01S5/02257 , H01S5/024 , H01S5/026
Abstract: 本发明公开了一种复合式TO封装的半导体激光器，其包括内管壳及外管壳，所述外管壳用于遮覆内管壳，所述外管壳与内管壳之间围设形成容置空间，所述内管壳内用于放置激光器芯片。本发明通过在内管壳外罩设外管壳，使得外管壳与内管壳之间围设形成容置空间，配合在容置空间内设置连接片，将内管壳上的热量导送至外管壳上并由外管壳散发出来，增加散热面积，增强散热能力；另外，利用在内管壳的内光窗处设置第一透镜或在外管壳的外光窗处设置第二透镜，改变激光器芯片发出光的特点；另外，配合在内管壳与外管壳之间设置不同功能的元件，以满足用户对产品的不同需求；利用在容置空间内设置不同的功能结构，以实现产品的多功能封装效果。
-
公开(公告)号：CN111607784A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010566659.9
申请日：2020-06-19
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: C23C16/458 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种引流旋转式基片承载装置及气相外延设备，装置包括：气源装置，用于提供气相外延的源气体，源气体的流动方式包括旋转流动；母盘，位于气源下方；转动装置，连接于母盘，以为母盘提供旋转动力；子盘，用于承载基片，子盘通过旋转轴连接于母盘上，子盘边缘具有涡形流道，用于引导旋转流动的源气体在涡形流道内流动，从而带动子盘旋转。本发明利用源气体在子盘表面以涡状线流动方式推动子盘旋转，实现装置的行星式旋转。本发明无需对子盘额外注入气体，因此，既不会有多余的气体破坏基片边缘的气氛，提高外延片的良率，同时也能节省高纯气体流量及相关气体控制元器件，大大降低设备的成本。
-
公开(公告)号：CN108048901A
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201711372847.2
申请日：2017-12-19
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种氢化物气相外延用的喷头结构，包括围合封闭的圈壁和喷管，所述圈壁的上端和下端均为开口结构，圈壁内设置至少一块隔板，该隔板将圈壁的内部空间分隔成至少两个腔体，喷管设在圈壁内且从上往下穿过隔板延伸至喷头反应腔，喷头的底面延伸至反应腔，隔板上设有若干通气孔，隔板上设置通气孔后形成为喷头。本发明控制GaCl在反应腔衬底上方形成均匀的浓度场，从而生长出均匀性好，质量高的氮化镓晶片。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113013724A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202110389055.6
申请日：2021-04-12
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: H01S5/024 , H01S5/02212 , H01S5/02315
Abstract: 本发明提供了一种激光器封装结构，包括管舌、安装于所述管舌的贴合层、安装于所述贴合层的激光二极管、及安装于所述管舌的散热组件，所述贴合层位于所述管舌和所述激光二极管之间，所述贴合层具有多个间隔设置的凸起部，所述激光二极管设有多个间隔设置的第一凹槽，所述凸起部与所述第一凹槽匹配设置；所述管舌设有散热腔，所述散热组件包括安装于所述散热腔的配合件和磁性件，所述配合件与所述散热腔的侧壁之间形成有移动通道，所述磁性件位于所述移动通道中；通过提高激光二极管和贴合层之间的接触面积来提高激光二极管的散热效果，有利于激光二极管在大功率条件下的工作。
-
公开(公告)号：CN110085537A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910300683.5
申请日：2019-04-15
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种温度可控的用于高温激光剥离的装置，包括：腔体模块，包括若干腔体单元，腔体单元用于承载衬底或晶片及对衬底或晶片密封；加热模块，用于提供衬底或者晶片进行剥离时所需要的温度；冷却模块，用于降低所述腔体模块及所述加热模块在工作时的温度；窗口模块，用于提供激光进入腔体单元内的通道；运动模块，用于将腔体单元移至激光剥离的工作区域；气体保护及排放模块，用于提供衬底或晶片的工艺气氛；控制模块，用于控制上述各模块的工作。本发明的装置设置有多个腔体单元，通过采用加热模块对多个腔体单元内的衬底或晶片同时加热升温或降温，或以一定的时间差进行加热升温或降温，可以在相同时间内剥离更多的片数。
-
公开(公告)号：CN114197037B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202111554333.5
申请日：2021-12-17
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种气相外延生长装置，包括：第一容器，内部具有第一密闭空间；第二容器，设置在第一密闭空间内，第二容器内设有金属液态源；导体结构，设置在第一密闭空间内，并具有第二密闭空间或者与第一容器的底部形成第二密闭空间；托盘，设置在第二密闭空间内，并用于放置籽晶；气体输运系统，设置在第一容器外，并通过多个进气管将气体输送至托盘处，其中一个进气管连通第二容器。本发明通过导体结构可以将第一密闭空间划分为两个部分，导体结构既作为晶体生长的热源部件，又作为生长区域的密封隔离部件，使得整个气相外延生长装置的结构简化，同时感应加热方式具备可以根据设计温度曲线调控温度的优点，可以实现温度的快速变化。
-
公开(公告)号：CN113206438A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110484087.4
申请日：2021-04-30
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC: H01S5/0225 , H01S5/02257 , H01S5/023 , H01S5/0233 , H01S5/0239
Abstract: 本发明涉及半导体器件技术领域，具体涉及一种混合波长半导体激光器TO封装结构，所述管壳罩设于所述管座、并与所述管座相配合形成一容置腔，所述管舌设于所述容置腔内，并与所述管座连接，若干所述激光器、若干所述合束器和所述光传输装置分别设于所述容置腔内，且若干所述激光器分别与所述管舌、所述合束器及所述光传输装置连接，所述光传输装置沿所述合束器出射光光路方向设置，所述管壳设有用于所述光传输装置的输送光束穿过的输出窗口，本发明结构简单合理，通过设置若干合束器，将若干激光器的出射光进行多波长耦合，并经光学窗口输出若干束混合波长，其输出了混合波长光束，并有效提升了光束质量，可以满足激光显示光源的使用需求。
-
公开(公告)号：CN109468680A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201811558883.2
申请日：2018-12-19
Applicant: 东莞市中镓半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种应用于氢化物气相外延设备的气体预热装置,包括内设有镓舟的外管，所述外管内设有螺旋管，螺旋管沿着镓舟外围螺旋缠绕，螺旋管一端与进口管连接，螺旋管另一端与过渡连接管连接，该过渡连接管与喷淋头连接，螺旋管从镓舟上方开始以螺旋方式缠绕延伸至镓舟下方，使镓舟位于螺旋管内部。本发明通过螺旋管具有的较长传输路径，延长气体通过路径，使气体尽可能吸收热量升温至需要的温度，有效提升气体从喷淋头喷出来时的温度，提升热效率。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
19
records
(took 0.042 seconds)
