公开(公告)号：CN101871950B

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN201010210072.0

申请日：2010-06-21

Applicant: 中北大学

Inventor： 熊继军 ,  严英占 ,  闫树斌 ,  王红亮 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  薛晨阳 ,  吉喆 ,  王丽 ,  张宇光 ,  徐鹏飞 ,  刘正 ,  赵敏

IPC: G01P15/03 ,  G02B6/34

Abstract: 本发明涉及基于集成输入输出端的光学谐振腔微加速度计，包括光学谐振腔、悬臂梁、基底、质量块、输入光栅、输出光栅、输入光波导和输出光波导；所述悬臂梁的一端与基底相连，另一端与质量块连接，悬臂梁用刻蚀形成，光学谐振腔被刻蚀在悬臂梁的上表面，光学谐振腔为平面跑道形的形状；其特点是该光学谐振腔微加速度计由上而下有三层结构，光学谐振腔是集成输入输出端的，光学输入口与输出口通过光栅结构与光学谐振腔集成一体；输入光波导与输出光波导与光学谐振腔成也为一体；本发明是利用现代MEMS加工技术制成的，可适用于磁场环境复杂，真空环境中的振动，冲击等加速度的测量。

公开(公告)号：CN102435348B

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201110363600.0

申请日：2011-11-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 闫树斌 ,  杨玉华 ,  朱平 ,  熊继军 ,  严英占 ,  刘俊 ,  薛晨阳 ,  徐鹏飞 ,  孟祥然

IPC: G01K11/32

Abstract: 本发明基于高Q光学微腔的温度传感器及其分布式传感网络。传感器包括激光光源、分束器、参考微腔测试系统、探测器、以及参考微腔测试系统；所述的参考微腔系统由耦合器及光学微腔构成，其特点是该系统被低折射率封装起来，并通过温度控制单元实现了该系统的温度的恒定。所述的测试微腔由耦合器以及高Q光学微腔构成，其特点是该系统被低折射率封装起来。本发明提出的传感网络有两种并联和串联构建形式。本发明是利用光学微腔的高Q特性实现的温度的高分辨测试，具有结构简单，分辨率高、成本低等特点。

公开(公告)号：CN101858745B

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN201010210155.X

申请日：2010-06-21

Applicant: 中北大学

Inventor： 熊继军 ,  严英占 ,  闫树斌 ,  沈三民 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  薛晨阳 ,  吉喆 ,  王丽 ,  张宇光 ,  王晓倩 ,  徐鹏飞 ,  孟祥然 ,  李鹏 ,  邹江

IPC: G01C19/56 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明涉及基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺，包括垂直腔面发射激光器、共振腔增强型探测器、输入光栅、输出光栅、环形谐振腔、输入和输出光波导、分光隔离器；所述垂直腔面发射激光器集成在SOI材料顶层硅层，利用硅基与III-V族化合物半导体基芯片间的键合技术形成；所述共振腔增强型探测器集成在SOI材料上硅层，应用键合技术键合到InGaAs等探测物质的有源区上；其特点是所述环形谐振腔为圆环形形状，所述输入光栅，通过分光隔离器，输入和输出光波导与环形谐振腔，输出光栅集成一体。本发明基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺主要应用在外部角速度的测量，可应用于小卫星甚至微型卫星中。

公开(公告)号：CN102435348A

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN201110363600.0

申请日：2011-11-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 闫树斌 ,  杨玉华 ,  朱平 ,  熊继军 ,  严英占 ,  刘俊 ,  薛晨阳 ,  徐鹏飞 ,  孟祥然

IPC: G01K11/32

Abstract: 本发明基于高Q光学微腔的温度传感器及其分布式传感网络。传感器包括激光光源、分束器、参考微腔测试系统、探测器、以及参考微腔测试系统；所述的参考微腔系统由耦合器及光学微腔构成，其特点是该系统被低折射率封装起来，并通过温度控制单元实现了该系统的温度的恒定。所述的测试微腔由耦合器以及高Q光学微腔构成，其特点是该系统被低折射率封装起来。本发明提出的传感网络有两种并联和串联构建形式。本发明是利用光学微腔的高Q特性实现的温度的高分辨测试，具有结构简单，分辨率高、成本低等特点。