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公开(公告)号：CN114986325B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202210657794.3
申请日：2022-06-10
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及光学元件全口径抛光局部区域恒温加工装置及抛光机，抛光局部区域恒温加工装置包括：环形工件盘，所述环形工件盘中部贯通有作业区，其靠近所述作业区形成有限位台；分离部，所述分离部放置于所述限位台上，且位于所述作业区上方，其中部开设有工件孔，所述工件孔用于放置光学元件；以及分离罩，所述分离罩罩设所述光学元件，其用于和所述分离部配合隔离外部温度。本发明公开提供了光学元件全口径抛光局部区域恒温加工装置，通过分离部和分离罩将光学元件与加工车间环境隔离，车间温度的波动不会影响光学元件周围的温度，从而避免了车间温度波动造成光学元件温度波动进而引起光学元件产生变形，保证了光学元件的加工精度。
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公开(公告)号：CN109333234B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN201811476382.X
申请日：2018-12-03
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B13/005 , B24B13/00 , B24B37/27
Abstract: 本发明提供一种稳定性好的小口径光学元件的装夹装置及其方法。小口径光学元件的装夹装置，包括基板、陶瓷环、之形连接板、挡块、调节螺钉、陪抛片和分离器，所述陪抛片的数量与元件的侧面数量相匹配；所述挡块的数量与所述陪抛片的数量一致；所述陪抛片平放在基板上；所述挡块侧面设置有调节螺钉，用于固定陪抛片与元件的相对位置；所述陶瓷环和分离器通过之形连接板连接在一起；所述分离器的中心开孔，用以放置所述挡块。本发明通过陪抛片将元件紧密联合，可以实现小口径元件的快速装夹，能够适应不同外形及尺寸的元件，稳定性好，改善了小口径元件加工精度控制难、效率低的问题。
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公开(公告)号：CN109676155B
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201910079068.6
申请日：2019-01-28
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B23B1/00
Abstract: 本发明提供一种高精度的大口径金属锡盘的位移补偿车削方法。金属锡盘的位移补偿车削方法，车刀在平移过程中增加竖直方向的位移，并通过位移补偿来实现车削结果的主动控制。本发明针对一般精度的平面研磨抛光设备，通过增加车刀在竖直方向的位移功能，实现车刀进给过程中的位移补偿，进而实现车削结果的主动控制，能通过2‑3次迭代实现盘面的高精度车削；低精度的平面研磨抛光设备可以达到和高精度设备同等的车削精度，并能够适应不同尺寸抛光盘的车削要求，车削原理简单，效率较高。
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公开(公告)号：CN109333234A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811476382.X
申请日：2018-12-03
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B13/005 , B24B13/00 , B24B37/27
Abstract: 本发明提供一种稳定性好的小口径光学元件的装夹装置及其方法。小口径光学元件的装夹装置，包括基板、陶瓷环、之形连接板、挡块、调节螺钉、陪抛片和分离器，所述陪抛片的数量与元件的侧面数量相匹配；所述挡块的数量与所述陪抛片的数量一致；所述陪抛片平放在基板上；所述挡块侧面设置有调节螺钉，用于固定陪抛片与元件的相对位置；所述陶瓷环和分离器通过之形连接板连接在一起；所述分离器的中心开孔，用以放置所述挡块。本发明通过陪抛片将元件紧密联合，可以实现小口径元件的快速装夹，能够适应不同外形及尺寸的元件，稳定性好，改善了小口径元件加工精度控制难、效率低的问题。
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公开(公告)号：CN118832490A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410997559.X
申请日：2024-07-24
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B13/005
Abstract: 本发明涉及一种用于抛光机床的超大尺寸重型高精度气浮转台，包括转台基座，其中部竖直布置有第一安装孔；转台转盘中部竖直布置有第二安装孔，所述转台转盘底部具有凸台；中空式中心轴穿过第一安装孔和第二安装孔；中心供气件为环形，套设于中空式中心轴下部外壁上，位于第一安装孔内，且其顶面与转台基座顶面齐平；中心供气件顶面具有第一气流分配结构，转台基座顶面具有与第一气流分配结构对应的第二气流分配结构；第二安装孔内安装有径向气浮轴承组件，且套设于中空式中心轴上部外壁上。本发明实现了超大尺寸重型气浮转台的支撑和高精度旋转运动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111156235B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202010095830.2
申请日：2020-02-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种超薄光学元件弱变形点胶上盘装置及其方法。超薄光学元件弱变形点胶上盘装置，旋转台设置在箱体内部，在旋转台上设置有支撑杆，在支撑杆上设置有背板，在背板上表面设置粘结胶点；在旋转台上设置有多个挡块，挡块的一端与背板侧面贴靠在一起，挡块的另一端与旋转台连接；驱动电机驱动旋转台匀速旋转；在箱体内部设置有散热器、加热器和风机，散热器与制冷机相连。本发明可以实现对超薄光学元件点胶上盘过程温度场的精确控制，防止加热及冷却时背板‑胶点‑元件系统温度不均匀造成的热应力，减轻超薄光学元件下盘后的不规则变形现象，从而提高超薄光学元件的面形加工精度。
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公开(公告)号：CN109676155A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201910079068.6
申请日：2019-01-28
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B23B1/00
Abstract: 本发明提供一种高精度的大口径金属锡盘的位移补偿车削方法。金属锡盘的位移补偿车削方法，车刀在平移过程中增加竖直方向的位移，并通过位移补偿来实现车削结果的主动控制。本发明针对一般精度的平面研磨抛光设备，通过增加车刀在竖直方向的位移功能，实现车刀进给过程中的位移补偿，进而实现车削结果的主动控制，能通过2-3次迭代实现盘面的高精度车削；低精度的平面研磨抛光设备可以达到和高精度设备同等的车削精度，并能够适应不同尺寸抛光盘的车削要求，车削原理简单，效率较高。
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公开(公告)号：CN118123727A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410437554.1
申请日：2024-04-12
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24D13/14
Abstract: 本发明公开了一种高精度低缺陷环形抛光用复合抛光盘及其加工方法，复合抛光盘包括：抛光盘基盘，其上设置有沥青层，沥青层表面开设沟槽，形成布满其表面的沥青块结构后，采用大尺寸修正盘修整沥青层的表面获得加工光学元件面形精度符合要求的基面，在此时获得的沥青层表面对应干净的沥青块结构上粘结阻尼布抛光垫，使阻尼布抛光垫与沥青块结构协同抛光光学元件。本发明采用阻尼布抛光垫代替沥青层与光学元件直接接触和抛光，能够实现无缺陷或低缺陷加工，避免沥青抛光盘直接接触和抛光光学元件时容易产生划痕等缺陷的问题。阻尼布抛光垫粘贴在沥青层上，沥青层具有良好的柔性，通过调整修正盘的径向位置来改变复合抛光盘或沥青层的凹凸形状，改善元件抛光精度。
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公开(公告)号：CN114986325A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210657794.3
申请日：2022-06-10
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及光学元件全口径抛光局部区域恒温加工装置及抛光机，抛光局部区域恒温加工装置包括：环形工件盘，所述环形工件盘中部贯通有作业区，其靠近所述作业区形成有限位台；分离部，所述分离部放置于所述限位台上，且位于所述作业区上方，其中部开设有工件孔，所述工件孔用于放置光学元件；以及分离罩，所述分离罩罩设所述光学元件，其用于和所述分离部配合隔离外部温度。本发明公开提供了光学元件全口径抛光局部区域恒温加工装置，通过分离部和分离罩将光学元件与加工车间环境隔离，车间温度的波动不会影响光学元件周围的温度，从而避免了车间温度波动造成光学元件温度波动进而引起光学元件产生变形，保证了光学元件的加工精度。
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公开(公告)号：CN111156235A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010095830.2
申请日：2020-02-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种超薄光学元件弱变形点胶上盘装置及其方法。超薄光学元件弱变形点胶上盘装置，旋转台设置在箱体内部，在旋转台上设置有支撑杆，在支撑杆上设置有背板，在背板上表面设置粘结胶点；在旋转台上设置有多个挡块，挡块的一端与背板侧面贴靠在一起，挡块的另一端与旋转台连接；驱动电机驱动旋转台匀速旋转；在箱体内部设置有散热器、加热器和风机，散热器与制冷机相连。本发明可以实现对超薄光学元件点胶上盘过程温度场的精确控制，防止加热及冷却时背板-胶点-元件系统温度不均匀造成的热应力，减轻超薄光学元件下盘后的不规则变形现象，从而提高超薄光学元件的面形加工精度。
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