公开(公告)号：CN117490852A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202210874513.X

申请日：2022-07-25

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 段嘉欣 ,  黄志明 ,  周炜 ,  江林 ,  郑国彬 ,  周强国 ,  李永振 ,  吴吞炭 ,  高艳卿 ,  吴敬 ,  姚娘娟 ,  褚君浩

IPC: G01J5/10 ,  G02B1/118

Abstract: 本发明公开了一种宽波段红外探测器及其制备方法。本发明在硅衬底上依次构筑介质微桥，镍酸镧导电氧化物底电极，锰钴镍氧金字塔结构表面探测元，锰钴镍氧补偿元，NiCr顶电极和补偿元顶电极，实现了宽波段红外探测。本发明器件设计大大减少了敏感元与空气界面的红外反射损失；结合镍铬吸收层顶电极与镍酸镧吸收层底电极，实现了器件光敏元对0.3‑30μm的宽波段的近完美吸收(90％以上)。本发明有效提高了锰钴镍氧器件宽波段光吸收效率，并可应用于阵列探测器件。

公开(公告)号：CN115172506B

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202210874512.5

申请日：2022-07-25

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 周炜 ,  江林 ,  段嘉欣 ,  黄志明 ,  郑国彬 ,  高艳卿 ,  吴敬 ,  周强国 ,  李永振 ,  姚娘娟 ,  褚君浩

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/024 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种中红外探测器及其制备方法。本发明基于SiGe介质‑周期金属方块的磁共振吸收结构提供中红外吸收，利用Si‑SiO2微桥上的锰钴镍氧敏感元将入射红外光转换为电学信号。具体结构为：Si‑SiO2衬底上制备有绝热微桥，微桥上方依次制备有氧化铝缓冲层，锰钴镍氧敏感元，Cr/Au周期金属方块，双层SiGe介质‑周期金属方块吸收结构，锰钴镍氧薄膜敏感元两侧制备有外接电极及引线。双层SiGe介质‑周期金属方块吸收结构主要针对8‑12μm中红外窗口设计，可在降低锰钴镍氧敏感元电阻、热容的同时实现中红外高吸收，且探测器具备‑40～120℃宽温度区间范围内电阻温度系数较为稳定的优势特点，可应用于环境监测、夜视成像、工业测温等方面。

公开(公告)号：CN115172506A

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN202210874512.5

申请日：2022-07-25

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 周炜 ,  江林 ,  段嘉欣 ,  黄志明 ,  郑国彬 ,  高艳卿 ,  吴敬 ,  周强国 ,  李永振 ,  姚娘娟 ,  褚君浩

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/024 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种中红外探测器及其制备方法。本发明基于SiGe介质‑周期金属方块的磁共振吸收结构提供中红外吸收，利用Si‑SiO2微桥上的锰钴镍氧敏感元将入射红外光转换为电学信号。具体结构为：Si‑SiO2衬底上制备有绝热微桥，微桥上方依次制备有氧化铝缓冲层，锰钴镍氧敏感元，Cr/Au周期金属方块，双层SiGe介质‑周期金属方块吸收结构，锰钴镍氧薄膜敏感元两侧制备有外接电极及引线。双层SiGe介质‑周期金属方块吸收结构主要针对8‑12μm中红外窗口设计，可在降低锰钴镍氧敏感元电阻、热容的同时实现中红外高吸收，且探测器具备‑40～120℃宽温度区间范围内电阻温度系数较为稳定的优势特点，可应用于环境监测、夜视成像、工业测温等方面。