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公开(公告)号：CN107153231B
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN201710563610.6
申请日：2017-07-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B5/20
Abstract: 本发明公开了一种具有中波红外截止功能的远红外光学薄膜窗口，该光学薄膜窗口以碲化铅(PbTe)和碘化铯(CsI)为高低折射率薄膜材料，在1‑2×10‑3Pa真空环境、180±2℃沉积温度下，采用阻蒸热蒸发沉积方法在CVD金刚石基底两侧分别沉积多层膜而成；该远红外光学薄膜窗口能够实现对中波红外5微米前的光波截止，截止后其平均透过率低于0.5％，对5‑50微米波段的光增透，平均透过率大于76.8％。本发明专利的远红外波段光学薄膜窗口可应用于深空探测、远红外目标识别和地球辐射探测等领域。
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公开(公告)号：CN106048527B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201610405808.7
申请日：2016-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种制备柔性热敏薄膜的方法，该方法以MnCO3、Co2O3、Ni2O3粉末为原料经研磨、过筛、合成、细磨、预压成型、在富氧氛围下烧结成陶瓷靶材，然后以聚对苯二甲酸乙二醇酯和聚酰亚胺薄片为衬底片，采用射频磁控溅射方法室温下溅射沉积MCNO薄膜。本发明优点在于：1.在室温下完成溅射沉积，实现在聚对苯二甲酸乙二醇酯和聚酰亚胺等有机柔性衬底上沉积MCNO热敏薄膜。2.该方法制备的MCNO薄膜电阻率低，而负温度电阻系数高，有利提高器件的响应率和降低器件噪声。3.常温下制备，无需高温热处理，耗能低、节能环保。4.溅射沉积温度低，易于与Si基半导体工艺兼容，可以实现在Si基读出电路芯片上直接制备热敏元件，大大降低制作热敏型非制冷红外焦平面阵列成本。
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公开(公告)号：CN106395728A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610893671.4
申请日：2016-10-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
CPC classification number: B81B1/00 , B81C1/00476 , G01J5/20
Abstract: 本发明公开了一种微桥结构锰钴镍氧薄膜红外探测器件及其制备方法。探测器的微桥结构为一平台，将锰钴镍氧薄膜材料沉积在该平台上制作红外探测器，其微桥结构的牺牲层采取直接加热的方式去除，而无需在锰钴镍氧探测元上再沉积一层钝化层，且牺牲层可以在内部形成拱形的支撑结构，也简化了制作流程，节约了成本，提高了器件之作的成功率，同时由于其平台结构强度较高，在红外器件的诸如涂黑漆、封装等步骤中不易受损。
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公开(公告)号：CN103855238A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201410020924.8
申请日：2014-01-17
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
CPC classification number: G01J5/0878 , H01L31/0232 , H01L31/02327 , H01L31/09
Abstract: 本发明公开了一种背入射浸没式热敏薄膜型红外探测器，所述的红外探测器衬底背面上集成一能会聚红外信号的锗单晶半球透镜，探测器的敏感元和起补偿作用的补偿元分别位于锗透镜聚光中心焦点位置和边缘区域。该专利的优点在于：能有效消除热敏器件中因衬底效应而引起的等效热容、信号串扰对器件响应率的影响；利用锗透镜的聚光作用，从薄膜衬底背面入射到敏感元上的方式实现浸没式探测，大幅提高了热敏薄膜型红外探测器的响应率和探测率。本发明的公开，对于发展高性能、非制冷热敏薄膜型红外探测器件有一定的指导作用，并可用于单元浸没式红外探测器件的批量生产。
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公开(公告)号：CN103855237A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201410020865.4
申请日：2014-01-17
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/09 , H01L31/0232 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/0232 , H01L31/02327 , H01L31/09
Abstract: 本发明公开了一种正入射浸没式非制冷薄膜型红外探测器，所述的红外探测器敏感元薄膜表面有一能会聚红外信号的锗单晶半球透镜，探测器的敏感元薄膜位于锗透镜聚光中心焦点位置。本发明设计的器件结构制备工艺简单，只需进行一次图形光刻，两次切片和两次掩膜镀金，即能将薄膜型红外探测器的电极由薄膜表面引到衬底背面，实现了红外敏感元薄膜的正入射浸没式探测，避免了背入射条件下红外辐射信号因衬底反射和吸收而造成的光损失，大幅提高了薄膜型红外探测器的响应率和探测率，降低了器件的响应时间；且所设计的器件结构利于引线和封装，可用于正入射浸没式薄膜型红外探测器的批量生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103495529A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201310469862.4
申请日：2013-10-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有预退火功能的匀胶机，它包括注胶装置，加热装置，散热装置和匀胶机四部分。注胶装置将手动滴胶过程简化为常闭型水阀的简单开关动作的控制过程，提高了滴胶效率，避免经验化滴胶可能带来的问题。加热装置用于对样品进行加热，实现薄膜的低温预退火功能。散热装置用于为匀胶机内胆降温，并促进加热装置内外的热量和气体交换，排出经加热后逸出的有机物质。匀胶机用于实现薄膜制备时的甩胶操作。本发明装置可将溶胶-凝胶法的滴胶-甩胶-低温预退火制备薄膜的实验流程，简化为多次重复滴胶-甩胶-低温预退火后使用快速退火炉集中高温热处理制备薄膜的实验流程，缩短制膜时间，大幅提高了制膜效率。
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公开(公告)号：CN102544221A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210019094.8
申请日：2012-01-20
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种基于蓝宝石衬底的宽波段薄膜型光电探测器的制备方法。其中包括：衬底的清洗，薄膜的生长，电极的制备。其特征在于采用湿化学法制备Mn-Co-Ni-O薄膜，选取醋酸锰、醋酸钴、醋酸镍为原料，以冰醋酸作溶剂，分别配制导电类型是n和p的前驱体溶液，然后使用匀胶机和快速退火炉来制备薄膜材料。采用本方法制备的探测器可以实现紫外-可见-红外宽波段探测。
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公开(公告)号：CN102354897A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110252744.9
申请日：2011-08-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01S1/02
Abstract: 本发明公开一种外部二次级联差频太赫兹光源发生装置及实现方法，它首先利用1064nm主泵浦激光与其自倍频532nm激光泵浦的双波长谐振腔产生的两路近简并点双波长激光分别进行差频，产生两路高功率的8-18μm范围内的中红外激光，然后将这两路中红外激光进行差频来产生高功率的太赫兹波，通过二次级联差频的方式提高了转换效率，并设计合理可行的光学结构，利用计算机进行精准控制，从而实现一种具有功率高，单色性好，调谐范围宽，结构紧凑，可全固态集成的太赫兹光源。
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公开(公告)号：CN119987012A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202311511680.9
申请日：2023-11-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本申请提供了一种机械式光脉冲调制器和调制方法。机械式光脉冲调制器包括：光源；电机飞轮；至少一个楔形镜，设置于电机飞轮的外边缘上，楔形镜被配置为，在楔形镜旋转至与电机飞轮的圆心和光源位于同一条直线且面向光源的情况下，将光源出射的光进行反射；微反射镜，位于楔形镜的反射光出射方向，用于反射由楔形镜反射而来的光，其中，微反射镜包括光反射部件和光吸收部件，光吸收部件用于吸收光反射部件周围的光。本申请提供的机械式光脉冲调制器解决了现有技术中光脉冲调制设备存在的成本较高、调节方法较为复杂的问题。
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公开(公告)号：CN114039201B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202111324626.4
申请日：2021-11-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种分形蝶形太赫兹天线。所述的天线通过类似鱼骨结构一样的天线臂对所捕获的电磁波进行有效的辐射，已达到更好的耦合光波能量。在天线的尖端部位，采用了锥形汇聚沟道，使天线的反射能量得到二次耦合的机会。本发明结构中，采用了引流‑分流‑再汇聚的结构特点。当电磁波初步到达天线表面的时候，第一次通过梯形的天线尾引如第一波能量；当电磁能量进入天线内部的时候，在通过两侧的鱼骨通道分流，增加电流的流通路径；最终通过尖端汇聚到敏感源上。这一发明对于提升太赫兹探测器的探测率和目标识别准确率上有着重要意义，可以提升探测器在太赫兹领域的更高工作频段。
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