公开(公告)号：CN119268576A

公开(公告)日：2025-01-07

申请号：CN202411488878.4

申请日：2024-10-24

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  褚燕武 ,  龚天诚 ,  赵承伟 ,  贾桂园 ,  何颖 ,  王彦钦 ,  王长涛

IPC: G01B11/14 ,  G01N21/27 ,  G01N21/55

Abstract: 本公开提供了一种间隙测量控制系统、间隙测量系统、标定方法及测量方法，间隙测量控制系统包括：光谱矫正模块，被配置为基于预先获得的背景光谱和参考光谱，计算干涉光谱反射率，对干涉光谱反射率进行归一化处理；参数优化模块，被配置为基于归一化处理后的干涉光谱反射率对图案形成装置的反射膜层厚度和介电常数进行优化，得到优化后的反射膜层厚度和优化后的介电常数；光程差解析模块，被配置为基于优化后的反射膜层厚度和优化后的介电常数仿真得到仿真干涉光谱，基于仿真干涉光谱对获取的待测样品对应的干涉光谱进行光程差计算，获取间隙测量数据。

公开(公告)号：CN117518312A

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202311614862.9

申请日：2023-11-28

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  赵承伟 ,  贾桂园 ,  龚天诚 ,  何颖 ,  王彦钦 ,  王长涛

IPC: G02B3/14 ,  G02B13/00

Abstract: 本公开提供一种基于液体透镜的变倍光学系统，该系统沿光轴从物侧至像侧依次包括：第一透镜组(I)，具有正屈光力，用于使光路收束；第一液体透镜组(IV‑1)，为可变焦透镜组，用于改变系统的放大倍率；第二透镜组(II)，具有正屈光力，用于平衡系统的像差；第二液体透镜组(IV‑2)，为可变焦透镜组，用于补偿变倍过程中系统的焦面变化；第三透镜组(III)，具有正屈光力，用于使光路会聚。本公开的系统利用液体透镜代替传统变倍透镜组，无需在系统结构上加工凸轮曲线，在保证系统使用要求的同时，降低了系统的加工精度要求，提高了系统的稳定性。

公开(公告)号：CN119468065A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202510034894.4

申请日：2025-01-09

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  赵承伟 ,  任传鑫 ,  何颖 ,  龚天诚 ,  张文豪 ,  王彦钦 ,  王长涛

IPC: F17D1/04 ,  F17D3/01 ,  F17D5/00 ,  B01D35/02

Abstract: 本公开提供了一种高速高精度气压控制系统及控制方法，该高速高精度气压控制系统包括：气源（1）；至少两条供气通路，供气通路之间并联，每条供气通路沿气路依次包括：压力控制器（3），包括比例溢流阀（31），用于控制相应供气通路的气压；储气装置（4），用于储气以预调相应供气通路的气压；调控电磁阀岛（5），包括至少一路电磁阀（51），用于向填充腔室（6）注入气体以调控填充腔室（6）的气压；填充腔室（6）；压力传感器（7），用于向压力控制器（3）反馈填充腔室（6）的气压。本公开的气压控制系统在压力控制器之后设置储气装置进行增流，结合优化控制策略开启调控电磁阀岛，可以实现高精度、高速、高稳定的气压调控。