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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115469515A
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202211332385.2
申请日：2022-10-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本公开提供一种紫外发光二极管曝光装置及系统，涉及曝光处理技术领域，装置包括：紫外发光二极管光源，包括阵列贴片式的紫外发光二极管灯珠，紫外发光二极管灯珠用于发射紫外光束；准直镜组，用于对紫外光束进行收光准直；复眼镜组，用于对收光准直后的紫外光束进行匀光；聚光镜组，用于对匀光后的紫外光束进行聚光；曝光面，用于利用聚光后的紫外光束进行曝光的工作面；控制模块，用于通过高频开关模式，独立控制每个紫外发光二极管灯珠的开关。该紫外发光二极管曝光装置及系统有效地提高了光源输出功率的稳定性及能量的利用率，减少了发热和提高散热效果，实现了紫外光束的高效准直，并且，满足设备框架和其他部件空间限制要求。
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公开(公告)号：CN115727883A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211534663.2
申请日：2022-12-01
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本公开提供一种F‑P传感器探头、绝对距离测量装置及方法，涉及非接触式绝对距离测量技术领域。该结构包括第一N+1芯多模光纤头(9)、光纤套筒(10)、成像镜组(11)和标准镜(12)，其中：沿F‑P传感器探头向样品(8)的方向，所述光纤套筒(10)内部依次固定有所述第一N+1芯多模光纤头(9)、成像镜组(11)和标准镜(12)；所述第一N+1芯多模光纤头(9)包括N根第一多模光纤(16)和1根第二多模光纤(17)，N≥2，所述N根第一多模光纤(16)围绕所述第二多模光纤(17)排布。
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公开(公告)号：CN119268576A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411488878.4
申请日：2024-10-24
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本公开提供了一种间隙测量控制系统、间隙测量系统、标定方法及测量方法，间隙测量控制系统包括：光谱矫正模块，被配置为基于预先获得的背景光谱和参考光谱，计算干涉光谱反射率，对干涉光谱反射率进行归一化处理；参数优化模块，被配置为基于归一化处理后的干涉光谱反射率对图案形成装置的反射膜层厚度和介电常数进行优化，得到优化后的反射膜层厚度和优化后的介电常数；光程差解析模块，被配置为基于优化后的反射膜层厚度和优化后的介电常数仿真得到仿真干涉光谱，基于仿真干涉光谱对获取的待测样品对应的干涉光谱进行光程差计算，获取间隙测量数据。
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公开(公告)号：CN117518312A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311614862.9
申请日：2023-11-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本公开提供一种基于液体透镜的变倍光学系统，该系统沿光轴从物侧至像侧依次包括：第一透镜组(I)，具有正屈光力，用于使光路收束；第一液体透镜组(IV‑1)，为可变焦透镜组，用于改变系统的放大倍率；第二透镜组(II)，具有正屈光力，用于平衡系统的像差；第二液体透镜组(IV‑2)，为可变焦透镜组，用于补偿变倍过程中系统的焦面变化；第三透镜组(III)，具有正屈光力，用于使光路会聚。本公开的系统利用液体透镜代替传统变倍透镜组，无需在系统结构上加工凸轮曲线，在保证系统使用要求的同时，降低了系统的加工精度要求，提高了系统的稳定性。
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公开(公告)号：CN116007515A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211742364.8
申请日：2022-12-30
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/14 , G06F18/10 , G06F18/2131 , G06F18/24
Abstract: 本公开提供了一种白光干涉检焦系统和解调方法，该系统包括：白光光源；模板，其上制备有图形；基板，放置于承片台上；光谱仪，用于透过图形采集模板与基板之间的白光干涉信号；控制系统，用于根据干涉信号采用傅里叶变换解调方法、互相关计算解调方法或模型传递解调方法计算模板与基板之间的间隙值。本公开利用该检焦系统，在较大的距离测量范围内，根据反射光谱的不同形状，采取不同的解调方法，该间隙解调方法消除了图形化表面对检焦光谱的影响，突破了因检焦窗口导致的对模板图形布局的限制。
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